专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]膜层沉积设备-CN201920970118.5有效
  • 林立;俞雷;张雷;曾圣翔;郭松辉;林宗贤 - 德淮半导体有限公司
  • 2019-06-25 - 2020-03-31 - C23C16/44
  • 该实用新型涉及一种膜层沉积设备,包括:腔室;晶圆放置位,设置于腔室内;泵口,设置于腔室内,位于晶圆放置位旁,连通至泵,用于抽取腔室内的气体;泵罩,罩设于泵口,且泵罩顶面密封,侧面设置有通孔,泵通过通孔抽取腔室内的气体。由于在腔室内的泵口处罩设了一个泵罩,在通过泵对腔室内的气体进行抽取时,气流要经过泵罩侧边设置的通孔进入泵口,因此被泵罩所缓冲,不会被泵直接大流量的一次性所抽取,气流更加平缓均匀,因此在这样的腔室内沉积的晶圆表面的膜层,不会由于泵的过猛的抽气作用而使得沉积气体向晶圆边缘分布,不会出现沉积的膜层边缘厚、中心薄的现象,能够沉积出平整度理想的膜层,从而提高晶圆进行膜层沉积加工时的良率。
  • 沉积设备

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