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[发明专利]一种用于半导体设备的快速加热装置-CN202310727122.X有效
发明人：何金群;贾海立;于小杰;刘闻敏 -专利权人：盛吉盛半导体科技（北京）有限公司
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于半导体设备的快速加热装置，属于半导体设备技术领域，其通过灯具对半导体设备中的晶圆进行加热；用于半导体设备的快速加热装置包括有中间灯箱和设置于中间灯箱外围的边缘灯箱，中间灯箱中设有若干中间灯具，边缘灯箱中设置有若干边缘灯具；边缘灯具与晶圆所在平面的垂直距离小于中间灯具与晶圆所在平面的垂直距离。本发明解决了现有整体式灯箱制造困难的问题，降低了灯箱加工和焊接的工艺风险，并且在保证晶圆加热温度及加热效果均匀性基本不变的情况下，减少了加热灯具的数量，有助于降低设备制造和维护成本，更有助于优化缩小腔室和机台的占地空间，提高机台的竞争优势。
一种用于半导体设备快速加热装置

[发明专利]一种具有应用于集成电路设备的反射部件的测温装置-CN202310978853.1在审
发明人： 于小杰;贾海立;张受业;王璐瑶 -专利权人：盛吉盛半导体科技（北京）有限公司
申请日： 2023-08-04 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具有应用于集成电路设备的反射部件的测温装置，其属于半导体集成电路技术领域，其包括底座，所述底座的上端表面固定连接有操作架，所述操作架的一端设置有真空抽气口，所述操作架远离真气抽气口的一端设置有晶圆传输口，所述操作架的上端设置有加热灯壳体，所述操作架的内部设置有反射板。本发明解决了半导体晶圆制造过程中需要对晶圆进行快速热处理，而晶圆的实际发射率可以通过两个接收一次辐射和多次反射辐射的红外测温计接收的辐射信号计算测得，但晶圆的实际发射率往往较低，而介质膜虽然可以实现较高反射率，但带宽较窄，进而导致需设置膜系及其复杂膜层多达数十层，造成制作难度和成本极高的问题。
一种具有应用于集成电路设备反射部件测温装置

[发明专利]一种制冷系统和两级节流阀的控制方法-CN202011540366.X有效
发明人：程振军;李根源;徐晓明;禹志强;王军骅;于小杰 -专利权人：青岛海信日立空调系统有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： F25B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种制冷系统和两级节流阀的控制方法，该制冷系统包括，压缩机，经济器，用于将气态和液态冷媒分离，气态冷媒沿补气管道进入所述压缩机，液态冷媒进入蒸发器内；一级节流阀，设置于所述冷凝器与所述经济器之间，用于对冷媒进行节流；二级节流阀，设置于所述经济器与所述蒸发器之间，用于对冷媒进行节流；控制器，被配置为：获取所述经济器的液位高度和所述蒸发器的液位高度；基于所述经济器的液位高度、所述蒸发器的液位高度以及蒸发器目标液位高度控制所述一级节流阀与所述二级节流阀的开度，从而实现两级节流阀的协调控制，有效减少了吸气带液和补气带液的风险。
一种制冷系统两级节流阀控制方法

[实用新型]一种网格输送带浸渍装置-CN202320166953.X有效
发明人：徐卫兵;沈建国;于小杰 -专利权人：江苏永盛氟塑新材料有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B05C3/09 文献下载
摘要：本实用新型涉及网格输送带浸渍技术领域，具体为一种网格输送带浸渍装置，包括底板，底板的顶端靠中间的位置安装有浸渍箱，且底板的顶端靠两端的位置分别与安装架的对应一端相安装，安装架的顶端内壁靠两端的位置均安装有电动推杆，且两组电动推杆的底端均与安装板的顶端相固定安装，安装板的底端靠四角的位置均安装有连接杆，且四组连接杆的底端均与放置板的顶端相固定安装。通过电动推杆、安装板、连接杆、电动伸缩杆、压板、放置板、放置槽、漏水孔、烘干箱和烘干管等零部件设置可有效解决现有网格输送带进行浸渍操作时，容易发生漂浮的现象，从而影响浸渍操作，同时还存在网格输送带浸渍操作完毕后，无法快速的将其进行烘干的问题。
一种网格输送带浸渍装置

[发明专利]一种用于半导体传输腔机械手位置调试的装置-CN202310738910.9在审
发明人：刘闻敏;于小杰;车涛 -专利权人：盛吉盛半导体科技（北京）有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于半导体传输腔机械手位置调试的装置，包括多个校准组件和模拟硅片工装，模拟硅片工装被配置为通过机械手传输至反应腔室中的承载台上；多个校准组件可拆卸地设置在反应腔室内，且沿承载台的周测相互间隔分布，校准组件能够沿靠近或远离承载台的方向移动，校准组件被配置为获取模拟硅片工装相对于反应腔室的中心的相对位置信息，以使机械手根据位置信息进行调整。通过在反应腔室内可拆卸地设置多个校准组件，利用校准组件位置可调且能够获取位置信息，实现了不同传输腔和反应腔室所需要的机械手位置调试的准确性和一致性，调节简单，同时在整个调节过程中，不会产生人眼等主观因素影响，且成本低，实用性高。
一种用于半导体传输机械手位置调试装置

[发明专利]一种磁控溅射卷绕设备的镀膜室装置-CN202011622918.1有效
发明人：余荣沾;王忠雨;袁世成;张欣;于小杰 -专利权人：广东欣丰科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本公开的实施例提供了一种磁控溅射卷绕镀膜设备的镀膜室。所述镀膜室包括镀膜辊，用于支撑被供给的基材，以进行镀膜处理；输入导辊，其设置在所述镀膜辊的上游侧，基材经所述输入导辊供给至所述镀膜辊；输出导辊，其设置在所述镀膜辊的下游侧，镀膜处理后的基材经所述输出导辊输出；和，腔室，其用于容纳所述镀膜辊、输入导辊和输出导辊，并在其侧壁安装多个朝向所述镀膜辊的阴极，所述输入导辊和输出导辊均设置在所述镀膜辊的下侧。以此方式，可以改善阴极间的隔离效果并防止废渣污染靶材表面；改善磁控溅射卷绕镀膜设备使用维护的便捷性，缩短了维护操作时间，进而提省了生产效率；缩小了腔室容积，节省抽气和布气的时间和能源成本。
一种磁控溅射卷绕设备镀膜装置

[发明专利]一种特氟龙胶带加工用烘干装置以及烘干方法-CN202310691474.4有效
发明人： 于小杰;冯晶;陈风 -专利权人：泰兴市永盛氟塑制品有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： F26B13/04 文献下载
摘要：本发明涉及胶带生产设备技术领域，本发明公开了一种特氟龙胶带加工用烘干装置以及烘干方法，包括下烘干组件、上烘干组件、两对电动推杆、两极结构以及吹风结构；本发明通过使胶带基材穿过第一烘干箱与第二烘干箱，可促进充分受热和排湿，降低热能流失；通过两极结构以及借助第一导辊、第二导辊和第三导辊的导向，使胶带基材充分与两极盒外侧壁贴合接触，采用电烙铁的铁芯进行导热、受热，充分传递热量，使其快速升温烘干，同时有效接触冷风带走水汽并将水汽排出；还能够借助两极结构中半导体制冷片的制冷作用，通过吹风结构产生冷风，对两极盒之间的材料进行降温，进而再受热升温，实现温差作用，将材料上的水分子由内向外移动排出。
一种特氟龙胶带工用烘干装置以及方法

[实用新型]一种高温胶带冷却装置-CN202320216925.4有效
发明人： 于小杰;冯晶;徐爱华 -专利权人：泰兴市永盛氟塑制品有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B29C35/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及胶带冷却技术领域，具体为一种高温胶带冷却装置，包括放置板，所述放置板的底端安装有四组支撑腿，所述放置板的顶端靠边缘的位置均安装有若干组安装板，且对应安装板的对应一侧均开设有安装槽，安装槽的对应两端分别与对应安装杆的对应一端相固定，且对应安装杆的外表面分别通过对应轴承转动连接有铁制杆，四组所述支撑腿的对应一侧均与支撑板的外侧相固定，且支撑板的顶端安装有电机。通过滚动球、铁制杆、电机、承托板、限位柱、螺杆、限位板、散热孔和螺纹帽等零部件设置可有效解决传统的冷却装置无法保证胶带能够均匀的进行冷却，从而会产生松弛的现象，进而影响到胶带的产品质量的问题。
一种高温胶带冷却装置

[实用新型]适用于菌棒注水作业的辅助装置-CN202320489013.4有效
发明人：刘海军;梁晓生;梁宏丽;王帅;王彦玲;孟凡飞;于小杰;隋志远 -专利权人：平泉市希才应用菌科技发展有限公司
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： A01G18/60 文献下载
摘要：本申请提供了一种适用于菌棒注水作业的辅助装置，包括工作台、夹持组件和注水组件；注水组件包括蓄水箱、导水环和针体。蓄水箱滑动设置在工作台上，具有内腔且连接有泵体，泵体具有输水管。针体插接在导水环内，导水环的内壁上具有与输水管连通的进水口，针体具有与进水口连通的注水腔道。针体还具有尖端，其外壁上具有多个出水口，且连接有转动驱动构件。在菌棒注水作业时，首先将菌棒固定在夹持组件上，随后沿左右方向移动蓄水箱，在针体的尖端抵接菌棒时，通过转动驱动组件带动针体旋转，确保针体的尖端能够破开菌棒的端面。本申请提供的适用于菌棒注水作业的辅助装置，确保注水针能够顺利的插入菌棒，以提高菌棒的注水效率和稳定。
适用于注水作业辅助装置

[实用新型]一种旋转平稳的晶圆旋转装置-CN202320170424.7有效
发明人： 于小杰;刘闻敏 -专利权人：盛吉盛半导体科技（北京）有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种旋转平稳的晶圆旋转装置，其属于集成电路设备技术领域，集成电路设备中包括有操作台和晶圆旋转装置，操作台不可旋转，操作台上设置有用于支撑晶圆并进行升降的晶圆升降装置；晶圆旋转装置包括在操作台外侧同轴地套设的支撑筒，支撑筒上端同轴地设置有晶圆支撑环，支撑筒连接有用于控制其旋转的旋转机构。本实用新型的方案将晶圆升降装置与晶圆旋转装置分离，由顶针外的独立设置的晶圆旋转装置控制晶圆旋转，通过晶圆支撑环支撑晶圆，支撑及旋转更为平稳可靠，保证旋转时晶圆不会发生抖动或掉落，提高工艺稳定性及所加工的半导体器件的质量。
一种旋转平稳装置

[实用新型]一种硅胶布压延机-CN202320217451.5有效
发明人：冯晶;于小杰;徐爱华 -专利权人：泰兴市永盛氟塑制品有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B29C43/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅胶布压延机，涉及硅胶布压延技术领域，包括加工箱，所述加工箱侧面底部活动插入有接料抽屉，所述加工箱侧面顶部转动设置有两组压延辊，所述压延辊一端外壁均设置有同步齿轮，其中一组压延辊转轴设置有电机，所述加工箱侧面顶部固定连接有送料箱，所述加工箱于送料箱正下方固定连接有延伸板，所述延伸板顶部固定连接有抽气风机。本实用新型在加工箱直接连接的风机一侧依次固定连通有活性炭箱、臭氧除臭器，风机可在压延机工作时将压延过程中产生的毒气抽至活性炭箱、臭氧除臭器内，对有害气体及时进行处理与回收，从而保证工作人员的健康。
一种硅胶压延机

[实用新型]一种空调器-CN202320118090.9有效
发明人： 于小杰;陈见兴 -专利权人：青岛海信日立空调系统有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： F24F5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种空调器，包括压缩机、冷凝器、蒸发器、经济器及多个分配管。蒸发器内形成第一容纳腔，其壳体上设有出气口，出气口与压缩机的吸气口连通。经济器设于第一容纳腔内靠上的位置，其内形成第二容纳腔，其壳体上设有进液口和第二补气口，进液口与冷凝器的出口连通，第二补气口与压缩机的第一补气口连通，经济器的壳体底部设有多个沿其轴向方向间隔布置的出液口。多个分配管与多个出液口一一对应连通，分配管位于第一容纳腔内、并向下延伸，每个分配管上设有多个沿其高度方向布置的分配孔，分配管用于将经济器流出的液态冷媒分配至第一容纳腔中。该方案能够解决空调器中焊点较多，导致冷媒泄漏风险较高的技术问题。
一种空调器

[发明专利]基于CNN卷积神经网络的安全驾驶预警深度学习方法-CN202310222559.8在审
发明人：申亮;杨广智;于小杰;王帅 -专利权人：山东航天九通车联网有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G06V20/56 文献下载
摘要：基于CNN卷积神经网络的安全驾驶预警深度学习方法，所述学习方法包括以下步骤：采集报警装置进入工作状态，通过摄像头、车辆设备、驾驶员手环、资料录入多种方式采集构成信息矩阵；根据信息矩阵和参数偏差矩阵通过逻辑回归得到实时安全驾驶报警结果，以分析司机驾驶车辆是否实时报警；基于报警次数、报警持续时间、报警结束频率和人工报警处置判断指标对实时安全驾驶报警结果进行分析判断；对研判矩阵进行分析判断，逐步调整算法的各个指标，经由数据跟踪，对各个矩阵指标进行调整分析，得到安全驾驶行为与各个指标区间的分析报告，以对驾驶员安全驾驶行为进行评估预警。
基于 cnn 卷积神经网络安全驾驶预警深度学习方法

[实用新型]一种可进行氮气吹扫的晶圆升降装置-CN202320113885.0有效
发明人： 于小杰;贾海立 -专利权人：盛吉盛半导体科技（北京）有限公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可进行氮气吹扫的晶圆升降装置，其属于集成电路设备技术领域，晶圆升降装置共有三个，在集成电路设备的操作台上不共线地均匀分布；晶圆升降装置包括有外套筒，外套筒内可上下滑动地容纳有顶针安装轴，顶针安装轴的外侧面设置有至少一个上下贯通的缺口，顶针安装轴上端连接有顶针；外套筒的底部开设有通孔并设置有VCR接头，VCR接头依次连接有吹扫管路、阀门和氮气源。本方案实现了定期对环境进行氮气吹扫，将工艺环境中的颗粒物清理干净，有助于避免晶圆升降装置卡住或者对晶圆产生污染，保证设备的高质量运行；并且此过程操作简单快捷，无需对晶圆升降装置进行拆卸即可完成。
一种进行氮气升降装置

[实用新型]一种空调器-CN202223385856.4有效
发明人：史金星;冯胜健;刘思聪;于小杰 -专利权人：青岛海信日立空调系统有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： F25B31/00 文献下载
摘要：本申请提供一种空调器，涉及空调技术领域，用于解决当进入离心式油分离器的气体流速低，导致离心式油分离器的油气分离效果差的问题。该空调器包括压缩机、连接管道、离心式油分离器、用于控制压缩机出气口与第一进气通道的连通的第一阀门、用于控制压缩机出气口与第二进气通道的连通的第二阀门、用于检测连接管道内的气体流速的气体流速检测装置和用于根据连接管道内的气体流速控制第一阀门和第二阀门的开启或关闭的控制器，离心式油分离器包括第一进气通道和第二进气通道，第一进气通道沿垂直于延伸方向的截面面积大于第二进气通道沿垂直于延伸方向的截面面积；连接管道的一端与压缩机的出气口连通，另一端与第一进气通道和第二进气通道均连通。
一种空调器

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