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[发明专利]一种版图拆分方法、装置、计算机可读介质及设备-CN202310863720.X在审
发明人：刘思;张逸中;陈钊 -专利权人： 东方晶源微电子科技（上海）有限公司
申请日： 2023-07-13 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明涉及集成电路掩模拆分技术领域，特别涉及一种版图拆分方法、装置、计算机可读介质及设备。所述版图拆分方法包括以下步骤：获取初始版图，根据预设规则将初始版图划分多个初始单元；基于预设标准将初始单元分类为大单元或小单元；对大单元进行再划分处理，获得子单元；对所述小单元及子单元进行运算并输出拆分版图。通过对面积较大、图像复杂的初始版图进行多次划分，将其划分为较小的运算单元再对所述运算单元进行运算，从而可以有效提高计算资源的利用率且有效降低运算时间。
一种版图拆分方法装置计算机可读介质设备

[发明专利]一种运算脚本的优化方法、系统及存储介质-CN202310791370.0在审
发明人：张逸中;郑思琪;邓国贵;诸杰明;丁明 -专利权人： 东方晶源微电子科技（上海）有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G06F8/41 文献下载
摘要：本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种运算脚本的优化方法、系统及存储介质，本发明的运算脚本的优化方法包括以下步骤：提供一运算脚本，获取该运算脚本的所有初始命令并对初始命令进行全局扫描，基于预设构建方式构建运算脚本的有向无环图；基于该图以预设排列方式重排初始命令，获得至少一个执行分支及该分支中的阶段分支；获取设计文本并判断执行分支和/或阶段分支的执行结果是否需要输入到设计文本中，若需要输入则判定为有意义并保留；若不需要输入则判定为无意义并删除；重复对执行分支和/或阶段分支的执行结果判断步骤，直到所有分支的执行结果均有意义时，以预设合并方式合并阶段分支并作为优化运算脚本输出。提升脚本的运算效率。
一种运算脚本优化方法系统存储介质

[发明专利]图像矫正方法及装置-CN202310390514.1在审
发明人：于皓;鄢昌莲;毛礼;张荣佳;甘远;韩春营 -专利权人： 东方晶源微电子科技（上海）有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种图像矫正方法及装置，该方法包括：将待测样片的设计版图与扫描电子显微镜SEM图像进行中心对齐；基于设计版图及所述SEM图像中的图像单元，确定关键点对；基于关键点对，对SEM图像进行矫正，得到矫正后的SEM图像；基于设计版图及所述矫正后的SEM图像，确定畸变量；在畸变量小于预设阈值的情况下，确定SEM图像矫正结束。由此，可以基于设计版图及SEM图像中的图像单元，确定关键点对，再基于该关键点对对SEM图像进行矫正，由于该待测样片的SEM图像中的图像单元与设计版图中的图像单元可以尽量保持一致，从而可使得SEM图像的矫正更为准确可靠，从而提高了SEM图像矫正的准确性和可靠性。
图像矫正方法装置

[发明专利]版图拆分方法及计算机介质-CN202211561794.X在审
发明人：邓星磊;陈钊 -专利权人： 东方晶源微电子科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种版图拆分方法及计算机介质，本发明的拆分方法包括以下步骤：获取初始版图，通过预设方式将获取的初始版图分割成多个预设板块；将预设板块依据空间布局进行判定及定义；采用预设排列方式，基于定义的结果将所述预设板块进行重构，得到重构版图；将重构版图的预设板块基于预设标准进行着色拆分并分组；基于分组结果进行预设排布得到需求版图。通过将初始版图进行分割、重构及分组，使初始版图的间隙扩大，空间周期加倍，进而使得获取的需求版图可以实现图形的转移，更利于工作，提高了拆分的一致性及稳定性，处理速度，同时平衡了预设板块面积的占比。
版图拆分方法计算机介质

[发明专利]SEM图像轮廓提取方法、SEM图像轮廓优化方法及计算机介质-CN202211373771.6在审
发明人：向禹铭 -专利权人： 东方晶源微电子科技（上海）有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G06T7/13 文献下载
摘要：本发明涉及SEM图像提取领域，特别涉及一种SEM图像轮廓提取方法、SEM图像轮廓优化方法及计算机介质，本发明的SEM图像轮廓提取方法，包括以下步骤：获取初始SEM灰度图像；统计SEM图像各像素点的灰度值，计算出各像素点灰度值的均值与标准差；将均值在基于标准差的预设可信范围内覆盖区域定义为置信区间；提取均值在置信区间内的SEM图像的轮廓作为第一次SEM图像提取轮廓。通过此方法，在置信区间外的像素点直接判断为噪声点，能直接在不影响图像点的情况下消除部分噪声点，大大提高了消除噪声的效率，进而使得轮廓能更清晰。
sem 图像轮廓提取方法优化计算机介质

[发明专利]版图提取方法、版图提取系统及计算机介质-CN202211373175.8在审
发明人：桑忠志;陈钊 -专利权人： 东方晶源微电子科技（上海）有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种版图提取方法、版图提取系统及计算机介质，本发明的版图提取方法包括以下步骤：获取初始设计版图，并将初始设计版图进行打断，获取被打断的版图；获取与初始设计版图对应的掩膜版；利用掩膜版进行理想条件曝光得到需求轮廓；对被打断的版图与需求轮廓的相对位置进行分析并沿着预设方向移动被打断的版图直到相对位置差异达到预期效果；将被打断的版图移动后进行提取得到优化版图。对被打断的版图向需求轮廓的移动，满足掩膜版的曝光轮廓与版图之间的一致性，提升最终电路的电学性能，进而保护电路，进一步改善光学临近修正的结果。
版图提取方法系统计算机介质

[发明专利]SEM图像轮廓定位方法、轮廓定位系统及计算机介质-CN202211373206.X在审
发明人：姜鸿;高世嘉;贺佚南 -专利权人： 东方晶源微电子科技（上海）有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G06T7/73 文献下载
摘要：本发明涉及游戏技术领域，特别涉及SEM图像轮廓定位方法、轮廓定位系统及计算机介质，SEM图像轮廓定位方法包括：获取SEM扫描图并提取扫描原图形中轮廓的离散特征点；基于每个离散特征点的初始位置生成与其相连的辅助线段；对每一离散特征点在所处平面内进行预设方向的平移或旋转，直至实现辅助线段与原图形相交并基于每一离散点的总运动距离计算损失值；重复预设次数运动及损失值计算，持续比较每一次得出的损失值的大小直到完成预设次数运动；基于预设次数运动后的最小损失值的一组运动得到每一离散特征点最终位置；基于最终位置调整对应离散特征点，得到SEM扫描图优化轮廓并进行定位。减少计算量，提高运算效率，进而提高SEM图像的轮廓提取效率。
sem 图像轮廓定位方法系统计算机介质

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