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[发明专利]一种碳化硅晶圆单面抛光自动化产线-CN202210984269.2在审
发明人：黄家剑;贺贤汉;胡烺 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化硅晶圆单面抛光自动化产线，包括以下步骤：步骤一，将上一工序检验合格并厚度分档好的SIC晶圆在贴片机上贴附，并冷却到40度后通过滚筒传到干式传送机，步骤二，干式传送机满盘后，通过移动式智能机器人搬运到相应的抛光机，抛光机包括粗抛机和精抛机，待粗抛机完成工艺制程后，通过移动式智能机器人从抛光机上抓取陶瓷盘，并在水槽中冲洗，然后放到相应的精抛机，步骤三，精抛工艺制程结束后，通过移动式智能机器人把陶瓷盘搬运到下片机上，晶圆与陶瓷盘分离后，陶瓷盘通过滚动传到湿式传送机，然后依次进入陶瓷盘清洗机，然后到贴片机，根据工艺流程形成循环工作的全自动化产线。
一种碳化硅单面抛光自动化

[发明专利]一种熔融机的石英坩埚模具自动加砂装置及加砂工艺-CN202210988407.4在审
发明人：刘伟;贺贤汉;夏孝平;徐淑文 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明提供一种熔融机的石英坩埚模具自动加砂装置，包括加砂装置本体，加砂装置本体包括上下升降机构的移动部，上下升降机构的移动部与纵向旋转移动机构连接；纵向旋转移动机构上设置有纵向移动机构，纵向移动机构通过横向移动机构连接出料机构，出料机构包括多个料仓，多个料仓均通过各自的管夹阀与下方的导管连接，导管的出口与石英坩埚模具对应布置。本发明的出料机构在XYZ三轴方向做一定范围内的移动，并可沿Z轴可做一定角度的旋转；采用多个料仓，可分别对应石英坩埚外层、中间层、内层的自动装料成型。
一种熔融石英坩埚模具自动装置工艺

[发明专利]一种炉底盘开闭机构-CN202211003506.9在审
发明人：赖章田;贺贤汉;陈有生;夏孝平;徐淑文;唐明 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅长晶设备技术领域。一种炉底盘开闭机构，包括炉体，炉体的底部设有上下设置的下法兰以及炉底盘；还包括用于锁定炉底盘以及松开炉底盘的旋转开闭组件，旋转开闭组件包括旋转定位环，下法兰与旋转定位环转动连接；旋转开闭组件包括驱动旋转定位环周向转动的驱动机构，驱动机构与旋转定位环传动连接；旋转定位环的内侧安装有周向排布的滚轮传动组件；炉底盘的下侧面设有相邻设置的开口槽以及导向斜面，导向斜面从邻近开口槽处至远离开口槽处倾斜向下。本发明将上开盖的形式，改良为下开盖形式。通过旋转开闭机构的旋转定位环的旋转进而实现炉底盘的锁定以及松开的切换。
一种底盘开闭机构

[发明专利]一种用于平面加工研磨抛光设备的螺纹升降机构-CN202210840441.7在审
发明人：冯博;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B24B47/04 文献下载
摘要：本发明提供一种用于平面加工研磨抛光设备的螺纹升降机构，底座的顶部设置有向上布置的主轴，主轴的外圈固定有螺纹套，螺纹套的外圈中部通过螺母连接外齿轮升降套的内圈，螺纹套与螺母采用梯形螺纹旋合，外齿轮升降套的外圈上部通过轴承与外齿轮座连接，外齿轮座上安装有外齿轮，外齿轮通过第一电机驱动；外齿轮升降套的底面与外齿轮升降齿轮连接，外齿轮升降齿轮通过第二电机驱动。本发明通过第二电机驱动外齿轮升降齿轮，从而带动外齿轮升降套及螺母沿着螺纹套的螺纹段进行螺纹升降，螺纹套与螺母采用梯形螺纹传动，加工精度高，承载能力好，使用寿命长，可测量性好，传动平稳性高，满足了功能和精度要求。
一种用于平面加工研磨抛光设备螺纹升降机构

[发明专利]一种单晶炉大直径旋板阀阀芯-CN202211022923.8在审
发明人：夏孝平;贺贤汉;徐淑文;赖章田 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： F16K3/314 文献下载
摘要：本发明提供一种单晶炉大直径旋板阀阀芯，包括旋板阀阀芯，旋板阀阀芯用于大直径半导体单晶炉、硅部件单晶炉，旋板阀阀芯包括气镶焊接组件、上水冷板焊接组件、下水冷板焊接组件、旋转轴、第一支板、第二支板、定位销、通水波纹管和O形密封圈，上水冷板焊接组件和下水冷板焊接组件分别与气镶焊接组件焊接，第二支板与气镶焊接组件焊接，且第二支板的通气孔与气镶焊接组件的气孔相对，旋转轴与第一支板焊接，且第一支板上的气孔与旋转轴上的气孔相对；旋转轴与第一支板焊接好的组件再与气镶焊接组件、水冷板焊接组件、下水冷板焊接组件组合焊接组件进行最后一次的焊接，焊接之前将定位销插入第一支板，从而使第一支板和第二支板的定位孔完整对接。
一种单晶炉大直径旋板阀阀芯

[实用新型]一种可调节测温装置-CN202221384736.X有效
发明人：周旭阳;贺贤汉;赖章田;夏孝平;陈有生;陈士利 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械技术领域。一种可调节测温装置，包括用于安装红外测温仪的支架，还包括安装在炉顶部的固定板；还包括一可前后滑动以及左右滑动的二维直线滑台机构，二维直线滑台机构安装在固定板上，二维直线滑台机构的滑台上安装有手动旋转调节机构；手动旋转调节机构包括固定座，固定座通过转轴与支架旋转连接；支架上开设有定位柱的穿孔；固定座上开设有引导定位柱运动的弧形导向槽；定位柱上连接有锁紧支架与固定座的把手。本实用新型通过二维直线滑台机构实现了红外测温仪的二维调节，通过支架与固定座的摆动，实现了红外侧温仪的摆动。实现测温仪光轴的位置调整。相对于传统固定的形式，大大的扩展了可测温的区域范围。
一种调节测温装置

[实用新型]一种新型皂液箱打胶工装-CN202220970013.1有效
发明人：王日平;贺贤汉;范小辉;郜广玲;谢绍刚 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B05C9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械技术领域。一种新型皂液箱打胶工装，包括一支撑架，支撑架上安装有用于抵住工件的支撑脚，支撑架上还安装有与工件定位的定位销；还包括左右镜像对称设置的打胶组件，打胶组件包括一打胶模具、滑动杆以及把手，滑动杆两端分别连接把手以及打胶模具；打胶模具上开设有用于填充硅胶的容纳槽，容纳槽的一端开口，且两个打胶组件的容纳槽的开口相对设置。支撑架的左右两侧设有滑动连接打胶组件的滑动轴承，滑动轴承与滑动杆滑动连接。本实用新型提供了一种便于左右打胶的工装。
一种新型皂液箱打胶工装

[实用新型]一种水循环冷却装置-CN202221412325.7有效
发明人：周旭阳;贺贤汉;赖章田;夏孝平;陈有生;陈士利 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械技术领域。一种水循环冷却装置，包括罩体以及安装在罩体上的冷却管路，罩体包括顶板、侧板以及底板；顶板、侧板以及底板均为铝合金材质；顶板包括左右设置的第一顶板以及第二顶板，第一顶板与第二顶板可拆卸连接；侧板包括至少两个子侧板，至少两个子侧板可拆卸连接围成侧板；底板包括左右设置的第一底板以及第二底板，第一底板与第二底板可拆卸连接；冷却管路包括可拆卸设置在第一顶板上的第一顶部冷却管、可拆卸设置在第二顶板上的第二顶部冷却管、可拆卸设置在子侧板上的侧板冷却管、可拆卸设置在第一底板的第一底部冷却管以及可拆卸设置在第二底板的第二底部冷却管。本实用新型在保证可靠性的基础上，降低重量。
一种水循环冷却装置

[发明专利]一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构-CN202210595903.3在审
发明人：刘伟;贺贤汉;夏孝平;徐淑文;彭文井 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明涉及机械技术领域。一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，包括旋转轴以及驱动旋转轴转动的驱动机构，还包括籽晶绳升降组件；籽晶绳升降组件包括防护罩、磁流体旋转密封件、球轴承、T形螺母、滑动螺杆、籽晶绳以及缠绕有籽晶绳的绕线轮，绕线轮上开设有螺旋状设置的绕线槽；旋转轴通过磁流体旋转密封件与防护罩相连围成空腔，空腔内安装有支撑球轴承的轴承座；旋转轴上以轴向为滑动方向滑动连接有位于空腔内的滑动螺杆；磁流体旋转密封件的外圈与T形螺母通过螺钉可拆卸连接，T形螺母位于空腔内；T形螺母与滑动螺杆设有相互匹配的螺纹结构，T形螺母与滑动螺杆通过螺纹结构螺纹连接，滑动螺杆上可拆卸连接有绕线轮。籽晶绳可原位置升降。
一种半导体硅单晶炉籽晶机构

[发明专利]一种提高圆锯机送料精度的方法-CN202110836011.3有效
发明人：刘伟;贺贤汉;张城;王文杰 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B23D45/00 文献下载
摘要：本发明涉及圆锯机技术领域。一种提高圆锯机送料精度的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一，锯片切穿棒料后，前水平夹头及顶部夹头松开，切割出的工件掉落；步骤二，送料台夹头夹紧棒料后退一个让刀距离，锯片抬起；步骤三，送料台夹头夹紧棒料向前送料一段距离，前水平夹头及顶部夹头夹紧棒料，开始切割下一个工件，待下一个工件切穿后，继续上面的动作步骤循环。本专利改变了传统的棒料切割方式，实现了送料台夹头始终夹持着棒料，没有松开，也就不用担心因送料台夹头不断松开夹紧而影响棒料的送料精度。
一种提高圆锯机送料精度方法

[发明专利]一种轴向多气流循环的烘干机-CN202210145970.5在审
发明人：刘殷;贺贤汉;杜钟魁;吕崇军;马刚;袁保军 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： F26B11/02 文献下载
摘要：本发明涉及机械领域。一种轴向多气流循环的烘干机，包括烘干机主体，烘干机主体包括外筒，外筒内安装有滚筒；还包括轴向导流系统；轴向导流系统包括加热室，轴向导流系统包括左风道以及右风道，加热室的出风口的左右两端分别与左风道以及右风道对接导通，轴向导流系统还包括下风室，滚筒上开设有导流孔；轴向导流系统还包括过滤组件，过滤组件包括外壳，外壳内设有过滤室、收集室以及洁净室，过滤室的前侧壁开设有风口，风口上安装有一过滤器，洁净室与过滤室之间安装有过滤器；轴向导流系统还包括导流室，导流室与洁净室导通，导流室内安装有导流风机。本发明热风通过轴向直接进入滚筒，无需经过滚筒外壁，从而进风不受滚筒透气性影响。
一种轴向气流循环烘干机

[实用新型]熔融成型机加料装置-CN202122535140.7有效
发明人：徐淑文;贺贤汉;夏孝平 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2021-10-21 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B28B13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械技术领域。熔融成型机加料装置，包括一安装板，还包括一离心运动机构，离心运动机构包括砂盘以及带动砂盘旋转的驱动机构，驱动机构安装在安装板上；还包括送料机构，送料机构包括至少两个料筒、汇合筒以及出砂管，所有的料筒通过塑料管与汇合筒导通，塑料管上安装有阀门；汇合筒安装在安装板上，汇合筒与出砂管导通，出砂管竖直设置，且出砂管的出料口位于砂盘的上方，且正对砂盘。本专利通过优化加料装置的结构，便于实现了自动加料。解决了人工加砂繁琐的问题，解决了人工加砂壁厚不均匀的问题，节约了石英砂的使用量。阀门可以是管夹阀。通过管夹阀控制石英砂流量，通过驱动机构控制砂盘匀速加砂。
熔融成型加料装置

[实用新型]一种用于圆锯机圆管锯切的前接料机构-CN202122605514.8有效
发明人：王文杰;贺贤汉;刘伟;叶国卿 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B23Q7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及圆锯机前接料机构领域。一种用于圆锯机圆管锯切的前接料机构，包括机架，还包括用于支撑管材的支撑板以及用于驱动支撑板翻转的伸缩缸；所述支撑板的一侧与所述机架铰接，所述伸缩缸的缸体与所述机架铰接，所述伸缩缸的活塞杆与所述支撑板的另一侧铰接；还包括用于夹持管材的夹持机构，所述夹持机构安装在一驱动夹持机构前后滑动的直线滑动机构上；还包括一吹气机构，所述吹气机构包括两个出气管，所述出气管安装在所述直线滑动机构上。本专利实现了双管材的同时夹持切割，提高了生产效率。通过支撑板实现了管材切割时的支撑，支撑板的倾斜便于管材通过重力进行下料至接料架。通过吹气机构，便于实现对管材内铁屑清理干净。
一种用于圆锯圆管前接料机构

[实用新型]一种用于单晶硅炉热场部套的吊装机构-CN202122173643.4有效
发明人：彭文井;贺贤汉;刘海;夏孝平 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B66C23/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体加工设备技术领域。一种用于单晶硅炉热场部套的吊装机构，包括环链电动葫芦，还包括提升悬臂，提升悬臂包括工字形钢轨；环链电动葫芦在工字形钢轨上水平移动，工字形钢轨上设有限位块，环链电动葫芦上安装有用于感应限位块的第一限位开关；还包括与提升悬臂可转动连接的光轴，光轴通过支座安装在立柱上；还包括用于驱动提升臂旋转的旋转驱动机构，旋转驱动机构包括安装架，安装架安装在光轴上，旋转驱动机构与提升臂传动连接；提升臂的下端可拆卸连接有一限位板，限位板上开设有弧形引导槽，弧形引导槽上可拆卸连接有限位撞块；安装架上安装有用于感应限位撞块的第二限位开关。便于实现对热场部套的对中吊装。
一种用于单晶硅炉热场部套吊装机构

[发明专利]一种抛光盘表面修整装置-CN202210067701.1在审
发明人：黄家剑;贺贤汉;胡烺;王军 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B24B53/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光盘表面修整装置，平台上能够放置可自转的抛光盘；横梁第一端与立柱顶端连接，且横梁能够以立柱为中心旋转至任意角度后固定连接；定位杆第一端与横梁第二端固定连接，定位杆第二端沿定位杆长度方向均匀开设有多个导杆安装孔，每个导杆安装孔自上而下贯穿定位杆；导杆顶端能够穿入任一个导杆安装孔并锁紧固定，导杆底端通过轴承安装有导轮；研磨盘中心开设有定位孔，定位孔的直径大于导轮的外径，当研磨盘放置于抛光盘表面待研磨位置后，导轮插放于研磨盘中心的定位孔内，当抛光盘自转后，研磨盘以抛光盘中心点为中心旋转。可以对安装好的抛光盘整体加工，可以修复抛光盘在搬运以及安装时的变形。
一种抛光表面修整装置