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[发明专利]一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置-CN202211442651.7在审
发明人：王文杰;贺贤汉;叶国卿 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置，包括上定盘，上定盘还连接一调心机构，调心机构呈圆柱体状结构，且调心机构安装在上吊板的下侧，调心机构的中央设有一心轴，心轴与连接轴套连接，调心机构的调心外环与上吊板通过螺钉连接，调心外环和调心机构的调心中环通过圆周对称分布的两个调心外环销轴连接，调心外环销轴的一端固定在调心外环上，调心外环销轴的另一端插入调心中环滚柱轴承的内孔中，轴向通过销轴台阶与调心外环轴承的内圈固定，调心外环与调心中环之间有间隙；调心中环和调心机构的调心内环通过圆周对称分布的两个调心中环销轴连接，并且这两个调心中环销轴的轴线与调心外环销轴的轴线相互垂直。
一种碳化硅精密双面研磨机上定盘调心装置

[发明专利]一种双室立式真空烧结炉准备室自动门开闭结构-CN202211429630.1在审
发明人：程兵兵;贺贤汉;刘豫新;杜钟魁;费元浩 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： E05F15/614 文献下载
摘要：本发明提供一种双室立式真空烧结炉准备室自动门开闭结构，闭合装置主体，闭合装置主体包括一主轴，主轴上通过联轴器连接电机和减速机，且主轴通过止推平面轴承固定在铰链座上，铰链座固定在门体以及腔体上，当电机运转时，带动主轴和门体旋转，同时通过感应器感知门体打开到90°‑120°时，电机断电停止运转，关闭门体时，达到闭合状态后电机停止运转。本装置通过联轴器将双电机和铰链进行连接，通过垫片调整位置，推力由止推平面轴承无轴向限制，起到将旋转力均匀传递的作用，以确保门在开闭时能顺利旋转。
一种立式真空烧结炉准备自动门开闭结构

[发明专利]一种大平面工件的表面形貌测量装置及其方法-CN202211508935.1在审
发明人：胡烺;贺贤汉;叶国卿;冯博;黄家剑 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种大平面工件的表面形貌测量装置及其方法。表面形貌测量方法，其包括：步骤1：在工件所需测量平面上选取若干特定直线路径作为测量路径，测量每个直线路径的平坦度曲线数据；步骤2：从所述若干测量路径的平坦度曲线数据中筛选出有效数据；步骤3：对所述有效数据依次进行以下处理：发现并填充离群值，删除缺失数据，从数据中去趋势，对含噪声的数据进行平滑处理，以及对数据进行填充与比例缩放；步骤4：在所述若干测量路径间，沿所述若干特定路径进行曲面插值拟合；步骤5：在三维直角坐标系中按照实际位置绘制全平面表面形貌。本发明提供了一种高精度模拟大平面表面形貌的测量方法，从而得到整个平面精度较高的表面形貌。
一种平面工件表面形貌测量装置及其方法

[发明专利]一种研磨液分流装置-CN202211112752.8在审
发明人：冯博;贺贤汉;邵勇;胡烺;叶国卿 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域。一种研磨液分流装置，包括研磨装置，研磨装置包括顺序连接的排液盘以及排液管，还包括分流机构；分流机构包括安装架，安装架可拆卸安装在研磨装置的主机架上；分流机构还包括两个左右并排设置的排液腔，两个排液腔通过隔板分割，两个排液腔分别连接有两个波纹管；分流机构还包括驱动机构，驱动机构带动两个排液腔左右滑动，进而带动两个排液腔与排液管的切换导通。本发明实现了排液盘到两个不同流道的切换导通。避免了手动切换的繁琐性。
一种研磨分流装置

[发明专利]一种研磨液路系统-CN202211189824.9在审
发明人：冯博;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明提供一种研磨液路系统，排液盘上方设置有绕着轴旋转的下盘安装座，下盘安装座的顶面向上依次设置有下盘、工件、上盘，排液盘的底面通过排液管与砂浆桶连接，砂浆桶内设置有抽液泵，抽液泵将砂浆桶内的液体依次通过进液管、液路分配系统从上盘的第一管路流到下盘与上盘之间的空间，液体参与工件的研磨后回流到排液盘；进液管的管路上设置有流量计，流量计、抽液泵均接入PLC控制器，流量计通过PLC控制器调节抽液泵的电机转速来控制流量。本发明采用液路分配系统，在工件研磨时，研磨液路系统通过流量计监控流量大小，使液体流经工件表面时均匀，解决了现有技术单一管路无分流，流经上盘研磨工件时液体分布不均的技术问题。
一种研磨系统

[实用新型]一种碳化硅炉真空压力调控装置-CN202222062784.3有效
发明人：陈士利;贺贤汉;赖章田;夏孝平;陈有生;周旭阳 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种碳化硅炉真空压力调控装置，包括生长炉，生长炉的上方连接一充气系统，生长炉的右侧连接第一抽气支路和第二抽气支路，第一抽气支路包括第一比例控制阀和真空泵，第一比例控制阀和真空泵分别通过真空管路与生长炉连接，真空泵还与一排放管路连接，第二抽气支路包括插板阀、分子泵和第二比例控制阀，第二抽气支路通过真空管路与第一抽气支路和生长炉导通；生长炉的右侧还连接超压保护支路和真空释放支路，超压保护支路包括一单向阀，单向阀的一端通过真空管路连接生长炉，单向阀的另一端与排放管路连接，真空释放支路包括电动加气阀和手动加气阀，电动加气阀和手动加气阀分别安装在真空管路上。
一种碳化硅真空压力调控装置

[发明专利]一种便于装卸料的坩埚旋转升降机构-CN202211087182.1在审
发明人：赖章田;贺贤汉;陈有生;夏孝平;徐淑文;张城 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明提供一种便于装卸料的坩埚旋转升降机构，包括升降机构主体，升降机构主体包括坩埚旋转机构、坩埚升降机构、机架，托盘和升降盘，机架上安装有两组直线导轨，直线导轨上的四组滑块连接升降盘，坩埚旋转机构和坩埚升降机构固定在升降盘上，托盘通过托盘升降机进行上下运动。
一种便于装卸坩埚旋转升降机构

[发明专利]石英坩埚自适应矫正平台-CN202211041344.8在审
发明人：邵勇;贺贤汉;叶国卿;冯博 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B25H1/18 文献下载
摘要：本发明提供一种石英坩埚自适应矫正平台，石英坩埚位于矫正平台组件上，矫正平台组件包括气囊，气囊向上依次连接有万向板，聚氨酯板，气囊通过管路、管路上的电气比例阀连接气源；气囊的外圈向外依次设置有数个框架，数个框架能分别沿着水平面的X和Y方向自由游动。本发明采用将坩埚放置在x、y方向可以任意游动的平台，在z方向可以万向摆动，抓取装置的三爪卡盘在抓取坩埚时，矫正平台可以自适应三爪卡盘对中坩埚并正确抓取坩埚，解决了现有坩埚的抓取装置不能抓取倾斜的坩埚，容易因抓取异常导致坩埚破碎的技术缺陷。
石英坩埚自适应矫正平台

[实用新型]一种炉底盘快速锁紧机构-CN202221932457.2有效
发明人：陈士利;贺贤汉;赖章田;陈有生;夏孝平;周旭阳 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种炉底盘快速锁紧机构，包括炉桶主体，炉桶主体安装在一机架上，炉桶主体是一上下导通的桶状结构，炉桶主体的上端部设有沿着炉桶主体外边缘周向排布的上挡边，上挡边的安装方向朝外，且上档边与炉桶主体的上开口齐平，炉桶主体的下端部设有沿着炉桶主体外边缘周向排布的下挡边，下挡边的安装方向朝外，且下档边与炉桶主体的下开口齐平；下挡边上安装有三个等间距排布的气动夹钳，气动夹钳通过电磁阀控制连接一活塞杆，活塞杆的末端连接一压把，压把上方设置有一炉底盘，炉底盘通过压把与炉桶主体的下开口贴合。本实用新型结构简单，只需安装三台气动夹钳，省去了螺栓孔，电磁阀控制气缸使夹钳压把压紧，锁紧牢固，安全稳定。
一种底盘快速机构

[实用新型]卧式轴套压入装置-CN202221821248.0有效
发明人：张磊;贺贤汉;陆春生;唐明;陆洪飞;王日平 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B23P19/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械领域。卧式轴套压入装置，包括压紧组件，压紧组件包括支撑架、横向滑轨、两个用于压紧工件两侧的压紧板以及驱动压紧板沿着横向滑轨运动的驱动机构；支撑架上安装有横向滑轨，横向滑轨的引导方向为左右方向，压紧板与横向滑轨滑动连接；还包括机架，机架上通过升降机构与压紧组件相连；机架的底部安装有滚轮。本实用新型实现了卧式工件的轴套压入，通过压紧板的作用力实现轴套的压入，避免了人工压入的装配效率低，偏位等问题。通过升降机构，增加了装置的通用性，可以调节压紧板的高度，确保被压制点在压紧板的中央处。
卧式轴套装置

[实用新型]间歇式毛絮过滤器-CN202221699120.1有效
发明人：袁保军;贺贤汉;杜钟魁 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： D06F39/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械技术领域。间歇式毛絮过滤器，包括排水通道，排水通道内安装有过滤格栅，排水通道内沿着导流方向依次途经间歇给水机构、导流区、沉降区以及储水区；间歇给水机构包括腔体，腔体内转动连接有可摆动的摇摆储水箱，腔体的底部安装有支撑摇摆储水箱的支撑机构，摇摆储水箱通过隔板分隔为左右设置的左槽体以及右槽体；排水通道的进水口与左槽体以及右槽体交替对接；腔体底部的左右两侧均开设有排水孔，腔体通过排水孔与导流区导通，导流区与沉降区之间设有缓冲起浪板，沉降区与储水区通过过滤格栅分隔。通过间歇给水机构实现了途经过滤格栅的水体的间歇提供，便于给予了毛絮的沉降过滤的时间，保证过滤效果。
间歇式毛絮过滤器

[发明专利]一种碳化硅炉腔内用导电结构-CN202210978100.6在审
发明人：徐淑文;贺贤汉;夏孝平 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化硅炉腔内用导电结构，包括结构主体，结构主体用于向密封腔体内接出一电路回路，结构主体包括籽晶杆组件、坩埚轴组件、密封腔体、石墨坩埚组件、籽晶和溶液，籽晶杆组件的上部位于密封腔体的上侧，籽晶杆组件的下部位于密封腔体内部，坩埚轴组件的下部分位于密封腔体的下侧，坩埚轴组件的上部分位于密封腔体的内部，坩埚轴组件在密封腔体内沿轴心方向升降及绕轴心方向旋转；密封腔体上开通用于电流进出的接口，进出接口形式相同。在不影响籽晶和坩埚升降及旋转运动的前提下，对黑盒内的长晶情况进行监测或控制，以配合长晶工艺所需，更好实现碳化硅晶体生长。
一种碳化硅炉腔内用导电结构

[发明专利]一种用于圆锯机垂直锯切的双根管料锯切结构-CN202211220515.3在审
发明人：王文杰;贺贤汉;叶国卿 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B23D47/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于圆锯机垂直锯切的双根管料锯切结构，床身上设置有立柱，立柱上设置有主轴箱进给机构，主轴箱进给机构包括沿着垂直方向布置的第一电机，第一电机的输出端向下布置，第一电机的输出轴与滚珠丝杠连接，滚珠丝杠上设置有第一螺母，立柱上还设置有沿着垂直方向布置的一组第一直线导轨，第一直线导轨通过第一滑块与主轴箱机构连接，第一螺母与主轴箱机构连接，主轴箱机构包括主轴箱、主轴箱上方的第二电机，第二电机通过传动带驱动主轴箱内的锯切主轴转动，锯切主轴上安装有锯片，锯片的下方设置有两根待切割的管料。本发明的锯切机构在锯切料管时，实现了上下垂直进给方式，能同时锯切两根管料，减少了锯切行程，提高了锯切效率。
一种用于圆锯垂直双根管料锯切结

[发明专利]一种用于转角圆锯机的锯切结构-CN202211251949.X在审
发明人：王文杰;贺贤汉;叶国卿 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B23Q11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于转角圆锯机的锯切结构，床身上设置有立柱，立柱内部设置有主轴箱进给机构，主轴箱进给机构与旋转机构连接，旋转机构包括旋转伺服电机，旋转伺服电机的输出端连接旋转轴，旋转轴中部通过键连接与主轴箱机构连接，主轴箱机构包括主轴箱、主轴箱一侧的锯切电机，锯切电机通过传动带驱动主轴箱内的锯切主轴转动，锯切主轴上安装有切割锯片，切割锯片的下方设待切割的材料；旋转伺服电机与PLC控制器及交互屏幕连接。本发明采用旋转伺服电机驱动旋转轴带动主轴箱机构旋转，从而带动切割锯片旋转，切割锯片可在±60°范围内对材料进行任意角度锯切，切割锯片在锯切钢材时，主轴箱进给机构带动切割锯片沿着上下方向锯切。
一种用于转角圆锯切结

[发明专利]一种新型的感应加热结构-CN202210959130.2在审
发明人：赖章田;贺贤汉;夏孝平;陈有生;徐淑文;张磊 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： F27B3/10 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅长晶设备技术领域。一种新型的感应加热结构，包括加热器本体，加热器本体包括线圈组件以及支撑线圈组件的安装底座，安装底座通过对中结构安装在碳化硅长晶炉内；对中结构包括设置在安装底座下侧的外凸的定位台阶以及开设有在碳化硅长晶炉中心位置的内凹的台阶孔，台阶孔用于嵌入定位台阶；安装底座上开设有周向排布的腰形孔，安装底座通过穿过腰形孔的螺丝固定在碳化硅长晶炉内；安装底座上固定有向上延伸的中空柱；线圈组件包括支撑脚，支撑脚上开设有穿过调节螺杆的穿孔，调节螺杆的底部与中空柱螺纹连接，调节螺杆的顶部螺纹连接有锁紧螺母。本发明通过对中结构，实现了线圈组件的快速对中安装以及位置调节。
一种新型感应加热结构