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[发明专利]一种陶瓷表面碳化硅涂层的工艺-CN202210601996.6在审
发明人：鞠德胜;朱建中;万荣群 -专利权人：无锡海飞凌半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C04B41/87 文献下载
摘要：本发明涉及一种陶瓷表面碳化硅涂层的工艺，涉及半导体行业碳化硅烧结陶瓷加工技术领域。陶瓷表面碳化硅涂层的工艺，包括以下步骤：(1)预处理：将陶瓷送入沉积炉系统，通过抽真空系统将沉积炉系统内部抽成真空状态；沉积炉系统升温至1200‑1400℃；(2)原料准备：将原料甲基三氯硅烷和气化氢气通入原料气化混合系统中得到混合气体；(3)反应沉积：原料气化混合系统将混合气体、氛围氢气、氩气通入到沉积炉系统中反应，即可在陶瓷表面沉积碳化硅涂层，得到成品。本工艺利用甲基三氯硅烷在高温、真空中的分解反应，减少陶瓷杂质逸出，提高陶瓷表面纯度，在陶瓷表面沉积一层致密的碳化硅涂层。
一种陶瓷表面碳化硅涂层工艺

[发明专利]一种HCVD用氯硅烷汽化器-CN202210572262.X在审
发明人：朱建中;鞠德胜;万荣群 -专利权人：无锡海飞凌半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： F28D21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种HCVD用氯硅烷汽化器，其包括：汽化罐，设置于所述汽化罐外部的加热马夹，设置于所述汽化罐内的石墨发热体以及设置所述汽化罐的顶部的雾化喷射器，其中，所述汽化罐的侧壁上还设有混合气出口和正极法兰组件和负极法兰组件，所述雾化喷射器用于将待汽化的气体喷射至所述石墨发热体，所述正极法兰组件和所述负极法兰组件均电连接于所述加热马夹和所述石墨发热体。其通过将发热体采用石墨材质，并通过结构创新设计，增大了发热面积，发热体表面温度恒定，使进入的气体混合汽化效果更好，经过该HCVD用氯硅烷汽化器处理的氯硅烷能以有效计量、恒温的气相状态送入HCVD，保证了化学气相沉积炉的气场均一平稳。
一种 hcvd 硅烷汽化器

[发明专利]一种尾气高效除氯系统-CN202210554111.1在审
发明人：鞠德胜;朱建中;万荣群 -专利权人：无锡海飞凌半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本发明提供了一种尾气高效除氯系统，其包括：一号填料吸收塔、一号喷淋组件、二号填料吸收塔、二号喷淋组件以及药剂配制罐，所述一号填料吸收塔用于对含氯尾气进行酸雾净化；所述二号填料吸收塔用于将经所述输气管输送酸雾处理后的尾气再次进行氯还原处理，所述药剂配制罐用于配制碱液和亚硫酸钠溶液并分别供给所述一号喷淋组件和二号喷淋组件。其通过在一号填料吸收塔和二号填料吸收塔中分别设置湍流通道机构，对通入的尾气进行导流扩散，使尾气输入更均匀，流速更稳定，从而提高了净化效率和质量，进一步提高了尾气中除氯处理效果，减少了尾气对环境的损害。
一种尾气高效系统

[发明专利]一种石墨螺母的高温固定方法-CN202210591639.6在审
发明人：朱建中;鞠德胜;万荣群 -专利权人：无锡海飞凌半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： F16B39/02 文献下载
摘要：本发明公开一种石墨螺母的高温固定方法，涉及材料领域，所述的高温固定方法包括以下步骤：S1：石墨螺母的侧面设有一注入孔；S2：将α型碳化硅粉、硅粉、酚酫树脂胶联剂及碳粉充分搅拌，得到固定剂；所述的固定剂中α型碳化硅粉与硅粉、酚酫树脂胶联剂、碳粉的质量比为1：(0.5—4):(1—5)：(0.5—4)；S3:将S1处理后的石墨螺母旋入安装到适配件后，将S2的固定剂注入至注入孔内，直至溢出螺纹槽内；S4:将S3处理后的石墨螺母在250℃—350℃停留1h‑3h；S5:将S4处理后的石墨螺母升温至1400℃—1800℃，在注入孔处形成高于螺纹的凸点。本发明的高温固定方法可以解决的真空炉中因螺母松动虚接频繁闪弧的问题，保证了真空炉运行平稳。
一种石墨螺母高温固定方法

[实用新型]一种原水处理系统-CN202220102361.7有效
发明人：徐夷;万荣群;符小宏;沈娟 -专利权人：深圳恒通源环保科技有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种原水处理系统，涉及原水处理技术领域。原水处理系统，包括管式混合器(1)、一体化净水器(2)和加药装置(3)；所述管式混合器(1)通过管道b与一体化净水器(2)相连，加药装置(3)通过管道e与管式混合器(1)相连。本实用新型的原水处理系统，能够对河水、湖水等来源的原水进行处理，去除原水中的悬浮物、杀灭原水中的细菌，使原水的水浊度下降，保证处理后的原水的水质，原水处理效率高且产水量大；同时，原水处理系统包含一体化净水器，一体化净水器具有混凝、沉淀、过滤、反水洗等多重功效，能够减少原水处理系统中的絮凝系统、过滤系统、絮凝池、沉淀池的设置，在保障原水处理效果的同时显著降低成本。
一种水处理系统

[实用新型]一种用于CVD反应器的喷嘴装置及CVD反应器-CN202120890855.1有效
发明人：于伟华;朱建中;鞠德胜;万荣群 -专利权人：宜兴市海飞陵电子科技有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种用于CVD反应器的喷嘴装置及CVD反应器，涉及CVD反应设备技术领域。该喷嘴装置包括第一喷嘴以及第二喷嘴；第一喷嘴的底部设有第一空腔，第一喷嘴的顶部设有多个连通第一空腔的气体流出通道；第二喷嘴的顶部设有第二空腔，第二喷嘴的底部设有多个连通第二空腔的气体流入通道；第一喷嘴的底部与第二喷嘴的顶部可拆卸连接，且在第一喷嘴的底部与第二喷嘴的顶部连接后，第一空腔与第二空腔合并为气体混合室。本实用新型一方面，可确保反应气体能够在气体混合室内混合均匀，另一方面可确保混合气体能够均匀排出。同时，原料气体在进入到气体混合室之前还未接触，不会发生反应，可有效避免气体流入通道的堵塞。
一种用于 cvd 反应器喷嘴装置

[实用新型]一种支撑装置及CVD反应器-CN202120891234.5有效
发明人：朱建中;于伟华;鞠德胜;万荣群 -专利权人：宜兴市海飞陵电子科技有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种支撑装置及CVD反应器，涉及产品放置架技术领域。所述支撑装置包括多个支撑柱，多个圆形骨架，第一支撑架以及第二支撑架；多个支撑柱呈圆形布置；多个圆形骨架间隔设置在多个支撑柱上；第一支撑架设置在圆形骨架内，用于支撑产品；第二支撑架设置在支撑柱上，用于固定各支撑柱。本实用新型实施例提出的支撑装置中，多个圆形骨架间隔设置在多个支撑柱上，每个圆形骨架内均设有用于支撑产品的第一支撑架，从而极大提高了空间利用率，使得支撑装置能够放置更多产品。进一步地，圆形骨架稳定性好，并且，通过第二支撑架能够更好固定支撑柱，使得支撑更加稳定，支撑性更好，有助于上下层空间的气流均匀分布。
一种支撑装置 cvd 反应器

[实用新型]一种氮气制备装置-CN202120898303.5有效
发明人：鞠德胜;于伟华;朱建中;万荣群 -专利权人：宜兴市海飞陵电子科技有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： C01B21/04 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种氮气制备装置，涉及电子高纯辅助材料制备技术领域。氮气制备装置包括空气净化单元、变压吸附单元以及加碳脱氧单元，空气净化单元与变压吸附单元连接，变压吸附单元与加碳脱氧单元连接；变压吸附单元包括吸附塔，吸附塔内放置有吸附剂；加碳脱氧单元包括脱氧器，脱氧器内放置有碳催化剂。本实用新型实施例提出的氮气制备装置能够同时生产仪表风、低纯氮以及高纯氮等不同纯度的氮气，满足用户对不同纯度氮气的用气需求，同时，仪表风、低纯氮以及高纯氮之间的产量能够相互协调补充，使得氮气资源能够得到最大程度的利用。
一种氮气制备装置

[实用新型]一种精准测温的反应器-CN202023024079.1有效
发明人：于伟华;鞠德胜;朱建中;万荣群 -专利权人：宜兴市海飞陵电子科技有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种精准测温的反应器，涉及反应器技术领域。该精准测温的反应器包括壳体，所述壳体的内壁设置有测温管；测温管与壳体的内壁垂直；测温管的第一端与壳体连接，测温管的第二端封口，且设置有测温装置；测温装置靠近壳体的一侧设置有垫片；测温管的第一端与垫片之间填充有密封胶；壳体开设有出线孔，出线孔位于测温管正对壳体的位置上。测温管伸入反应器的物料内，使得测温装置同样伸入到物料内，从而实现精准测温。同时，垫片将密封胶与测温装置分隔，避免测温装置被埋没而导致测温不准。
一种精准测温反应器

[发明专利]一种碳化硅涂层及其过渡层和制备方法-CN202110448539.3在审
发明人：于伟华;朱建中;鞠德胜;万荣群 -专利权人：宜兴市海飞陵电子科技有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化硅涂层及其过渡层和制备方法，涉及表面处理技术领域。过渡层的制备方法包括：将硅改性酚醛树脂以及活性炭添加到溶剂中，制备混合试剂；将混合试剂均匀涂覆到基材表面，并烘干；将基材放入CVD反应器内，抽真空至0.1‑1mbar；在惰性气体保护下升温至650‑850℃后保温，同时，保持CVD反应器内的压力为80‑200mbar；在保温0.5‑2小时后，保持反应器内压力不变，升温至1300‑1400℃后，保温2.5‑4小时；降温至550‑750℃；在反应器内通入空气进行吹扫，并保温3‑5小时。通过在基材表面设置一层多孔结构的过渡层，可在沉积碳化硅时增加基材与碳化硅之间的结合力，使得碳化硅涂层更加致密，降低涂层表面粗糙度，并且有利于将基材和外部环境隔绝，避免基材的杂质带入后续的系统中。
一种碳化硅涂层及其过渡制备方法

[实用新型]一种污废水一体化处理装置-CN201921857796.7有效
发明人： 万荣群;徐夷;符小宏;谢衍波;杨海宾 -专利权人：深圳恒通源环保科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种污废水一体化处理装置，涉及污水处理技术领域，包括调节池、缺氧池、接触氧化池、沉淀池、污泥池、清水池以及供气装置；所述调节池与所述缺氧池连接，所述缺氧池与所述接触氧化池连接，所述接触氧化池内设有生物填料，所述接触氧化池与所述沉淀池连接，所述沉淀池分别与所述污泥池以及清水池连接，所述供气装置分别与所述缺氧池以及所述接触氧化池连接，从而能够实现对污水进行净化，减少污水对环境的污染。
一种废水一体化处理装置

[实用新型]一种污废水处理系统-CN201921862592.2有效
发明人： 万荣群;徐夷;符小宏;谢衍波;杨海宾 -专利权人：深圳恒通源环保科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C02F9/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种污废水处理系统，涉及污水处理技术领域，所述污废水处理系统包括调节池、TUF装置、反渗透装置、DTRO装置以及用水池，所述调节池与所述TUF装置连接，所述TUF装置与所述反渗透装置连接，所述反渗透装置分别与所述DTRO装置以及所述用水池连接，所述反渗透装置产生的浓水输送至所述DTRO装置，所述反渗透装置产生的淡水输送至所述用水池。本实用新型实施例提出的污废水处理系统能够对工厂排出的污水起到净化作用，避免工厂污水排放对自然环境造成污染。
一种废水处理系统

[实用新型]一种超纯水制备系统-CN201921880126.7有效
发明人： 万荣群;徐夷;符小宏;谢衍波;杨海宾 -专利权人：深圳恒通源环保科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C02F9/08 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种超纯水制备系统，涉及水净化技术领域，所述超纯水制备系统包括依次连接的预处理单元、反渗透单元、EDI单元以及抛光混床单元；所述反渗透单元包括依次连接的保安过滤器、一级高压泵、一级反渗透装置、一级RO水箱、二级高压泵、二级反渗透装置以及二级RO水箱；所述EDI单元包括依次连接的EDI供水泵、紫外线杀菌器、第一精密过滤器、EDI装置、除盐水箱、纯水泵以及TOC脱除器；所述二级RO水箱与所述EDI供水泵连接，从而能够将自来水净化为超纯水，提升居民用水的品质，提高居民的用水体验。
一种超纯水制备系统

[实用新型]一种垃圾焚烧电站生产废水处理系统-CN201921884159.9有效
发明人： 万荣群;徐夷;符小宏;谢衍波;杨海宾 -专利权人：深圳恒通源环保科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种垃圾焚烧电站生产废水处理系统，所述垃圾焚烧电站生产废水处理系统包括调节池、化学软化反应槽、循环槽、污泥浓缩池、TUF装置、反渗透装置、DTRO装置以及用水池；所述调节池与所述化学软化反应槽连接，所述化学软化反应槽与所述循环槽连接，所述循环槽分别与所述污泥浓缩池以及所述TUF装置连接，所述TUF装置与所述反渗透装置连接，所述反渗透装置分别与所述DTRO装置以及所述用水池连接，从而能够实现对垃圾焚烧电站生产的废水进行净化处理，避免了废水直接排放到自然环境中。
一种垃圾焚烧电站生产废水处理系统

[实用新型]一种垃圾渗滤液处理系统-CN201921874086.5有效
发明人： 万荣群;徐夷;符小宏;谢衍波;杨海宾 -专利权人：深圳恒通源环保科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种垃圾渗滤液处理系统，涉及水净化技术领域所述垃圾渗滤液处理系统包括调节池、过滤装置、渗滤液储罐、反渗透装置、脱气装置、清水池以及浓缩液储存池；所述调节池与所述过滤装置连接，所述过滤装置与所述渗滤液储罐连接，所述渗滤液储罐与所述反渗透装置连接，所述反渗透装置分别与所述脱气装置以及所述浓缩液储存池连接，所述脱气装置与所述清水池连接；其中，所述反渗透装置产生的净水运输至所述脱气装置，所述反渗透装置产生的浓缩液运输至所述浓缩液储存池，从而能够实现对垃圾渗滤液进行净化处理，避免了垃圾渗滤液直接排入到自然环境中，对自然环境造成污染。
一种垃圾渗滤处理系统