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[发明专利]一种碳化硅晶须增强铜基复合材料的制备方法-CN202310922721.7在审
发明人：赖丽燕;毕愈潇;王桂莲;张炎鑫;丁桂甫;李以贵 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2023-08-22 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C25D9/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化硅晶须增强铜基复合材料的制备方法，包括如下步骤：将SiCw粉体加入电镀液中，搅拌，制备得到含SiCw的电镀液；将阴极极板、阳极极板插入含SiCw的电镀液中，搅拌下进行电沉积，在阴极极板上沉积得到碳化硅晶须增强铜基复合材料，其中阳极极板为电解铜阳极板。本发明制备过程大多在水溶液中进行，无需高温，避免了传统高温工艺中的剧烈界面反应，且电沉积过程中的液相体系持续搅拌使SiCw均匀分散，可有效地避免SiCw的二次团聚，保持SiCw在Cu基体中分布均匀，解决了复合材料孔隙率高的问题。本发明的碳化硅晶须增强铜基复合材料，SiCw在Cu基体中分布均匀、界面致密无孔，具有较好的力学性能。
一种碳化硅增强复合材料制备方法

[发明专利]一种滑块冲击过载响应原位观测装置及观测方法-CN202310396336.3在审
发明人：戴旭涵;武强;王怀治;高宇帆;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01M7/08 文献下载
摘要：本发明提供一种滑块冲击过载响应原位观测装置及观测方法，该装置包括：落锤试验台，包括载物台；观测夹具，固定于载物台上，包括底座、侧盖板和上盖板，底座侧面切边后形成的平面上设有凹槽，侧盖板盖合于凹槽，其上开设第一观察孔，上盖板盖合于底座和侧盖板上方；定制样品，竖直位于侧盖板和凹槽与载物台围成的空间内；定制样品包括底板、滑块层和观测盖板，滑块层包括沿定制样品的长度方向运动的滑块，观测盖板上开设第二观察孔；加速度传感器，用于实时获取冲击过程中对定制样品施加的冲击载荷；高速图像获取装置，用于通过第一观察孔和第二观察孔获取滑块的实时运动图像。本发明可以直接观察器件在冲击过程中的响应情况，降低测试成本。
一种冲击过载响应原位观测装置方法

[实用新型]一种使用辅助阴极的微电镀装置-CN202223272641.1有效
发明人：尹谭;王艳;孙云娜;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C25D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种使用辅助阴极的微电镀装置，包括：电镀池；阳极金属板，其位于所述电镀池的顶部；金属电镀液，其分布于所述电镀池中；片外辅助阴极，其设置在所述电镀池的下部，且被配置为分散阴极基板的电流；阴极基板，其位于所述电镀池的底部，并且其上具有器件微结构图形；片内辅助阴极，其设置在所述器件微结构图形的拐角处，且被配置为分散器件微结构图形拐角处的电流。通过在该装置中添加片内和片外辅助阴极，分散阴极表面和电镀池内部的电流，提升电镀的器件微结构的镀层均匀性。
一种使用辅助阴极电镀装置

[发明专利]一种SU-8微透镜阵列的光刻-抛光直接成型制造方法-CN202211147350.1在审
发明人： 丁桂甫;张清泽;孙云娜;石现;张炎鑫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种SU‑8微透镜阵列的光刻‑抛光直接成型制造方法，包括：在基片上布置光刻胶SU‑8，然后通过光刻工艺，使其成型为SU‑8微柱阵列；以及利用化学机械抛光技术，对SU‑8微柱阵列抛光，使其成型为SU‑8微透镜阵列。该方法适用于将微透镜阵列直接原位集成制造在已成型的器件上，无需额外的对准、转移、键合步骤，制备出的SU‑8微透镜阵列具有形貌良好、尺寸可控、化学稳定性和热稳定性好等优点。
一种 su 透镜阵列光刻抛光直接成型制造方法

[发明专利]一种高深宽比三维银基微结构的电化学制备方法-CN202210976087.0在审
发明人：蔡涵;丁桂甫;孙云娜;吴永进 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C25D1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高深宽比三维银基微结构的电化学制备方法，包括：交替进行第一阶段电镀和第二阶段电镀填充三维微结构模具以形成三维银基微结构，其中第一阶段电镀沉积的镀层的晶粒的尺寸大于第二阶段电镀沉积的镀层的晶粒的尺寸。该方法通过低应力电镀体系与高整平性电镀体系周期性交替变换沉积的无氰电镀银工艺填充三维微结构模具，能够制备高深宽比的三维银基微结构。
一种高深三维微结构电化学制备方法

[发明专利]自供能MEMS惯性开关-CN202011207569.7有效
发明人：杨卓青;任超;张鹏磊;李亚辉;张浩东;王凯;连江凯;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-11-03 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H03K17/975 文献下载
摘要：本发明提供了一种自供能MEMS惯性开关，包括：感应上电极，被配置为在惯性的作用下向感应下电极的方向移动；感应下电极，被配置为与壳体固定设置；感应上电极与感应下电极电接触时，形成脉冲感应信号；电荷提供装置，被配置为向感应上电极和感应下电极提供感应电荷；电荷存储装置，被配置为收集感应上电极和感应下电极位置相对变化时，电荷变化生成的电流，并提供脉冲感应信号的能量。
自供 mems 惯性开关

[发明专利]一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法-CN201911197326.7有效
发明人：刘扬;丁桂甫;李红芳;黄建泽;杨卓青 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法，包括：柔性基底；下层电极，所述下层电极设置在所述柔性基底之上；触点阵列，所述触点阵列形成在下层电极之上并与所述下层电极电接触；支撑侧壁及延伸电极层，所述支撑侧壁设置在所述下电极的周围，并且与下电极电隔离；以及悬空网状电极，所述悬空网状电极形成在支撑侧壁上，并通过延伸电极引出，其中在未受外部作用力的情况下，所述悬空网状电极与所述触点阵列间隔开特定距离。本发明导电填料纳米石墨颗粒能均匀分散在PI中，且形成的复合材料具有良好的导电性能和机械性能。本发明具有制备工艺简单、反应灵敏，量程大和成本低的特点。
一种基于离散接触结构柔性压力传感器及其制备方法

[发明专利]阈值可调的MEMS惯性开关-CN202011207970.0有效
发明人：杨卓青;张鹏磊;任超;李亚辉;丁桂甫;张浩东;连江凯 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-11-03 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种阈值可调的MEMS惯性开关，包括：感应上电极，被配置为在惯性的作用下向感应下电极的方向移动，与感应下电极接触时，形成脉冲感应信号；感应下电极，被配置为与壳体固定设置，与感应上电极接触时，形成脉冲感应信号；电磁吸合装置，被配置为通入电流后产生磁场，所述磁场对所述感应上电极产生朝向感应下电极的作用力，所述磁场的强度和方向随着通入电流变化而变化。
阈值可调 mems 惯性开关

[发明专利]一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法-CN201911098509.3有效
发明人：周文文;王惟圣;丁桂甫;高峰;王广元;蔡涵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构及其制作方法。该结构包括：玻璃纤维；以及光刻胶，所述光刻胶包覆所述玻璃纤维。基于本发明的该种基于玻璃纤维的增强型光刻胶结构与现有技术相比具有如下优点：1)提高了光刻胶的拉伸模量与断裂强度，从而扩大光刻胶作为结构材料在MEMS技术中的应用；2)保证了光刻胶对光能量具有较高的利用率，复合结构对光刻胶的光敏特性不造成影响；3)不改变光刻胶的曝光以及显影方式，不影响其光刻成型；4)裸露出来的玻璃纤维可通过氢氟酸湿法去除；5)工艺简单、成本低廉。
一种基于玻璃纤维增强光刻胶结及其制作方法

[发明专利]一种微通道散热器及其制作方法-CN201911278217.8有效
发明人：郭展锋;王艳;丁桂甫;王广元;孙云娜;吴永进 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01S5/024 文献下载
摘要：本发明公开了一种微通道散热器结构，包括：盖板，所述盖板设置有工质入口和工质出口；金属底座，所述金属底座密封设置在所述盖板下方；第一微流道结构，所述第一微流道结构沿第一方向设置在所述盖板和所述金属底座密封体的内部；第二微流道结构，所述第二微流道结构沿第二方向设置在所述盖板和所述金属底座密封体的内部，且与所述第一微流道结构、所述工质入口、所述工质出口连通；以及微流道分流结构，所述微流道分流结构设置在所述盖板和所述金属底座密封体的内部，且与所述第一微流道结构连通。
一种通道散热器及其制作方法

[发明专利]复合柔性衬底及其制作方法-CN202110097771.7在审
发明人：杨卓青;连江凯;李亚辉;刘玉;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种复合柔性衬底及其制作方法，包括：包括多个金属基体模块和多个聚合物基体模块，其中：金属基体模块与聚合物基体模块按照规律交错排布，以使任意两个聚合物基体模块被金属基体模块间隔开；金属基体模块与聚合物基体模块的接触面进行固定连接；交错排布的金属基体模块与聚合物基体模块共同构成长方体的金属‑聚合物复合柔性衬底。
复合柔性衬底及其制作方法

[发明专利]一种堆叠型微通道散热装置及其制作方法-CN201911273193.7有效
发明人：王艳;郭展锋;孙云娜;巫永鹏;王广元;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H01L23/367 文献下载
摘要：本发明提供一种堆叠型微通道散热装置，包括：入口卡槽，所述入口卡槽包含工质入口、第一空腔和第一凹槽结构；出口卡槽，所述出口卡槽包含工质出口、第二空腔和第二凹槽结构；以及堆叠型微通道散热器，所述堆叠微通道散热器通过所述第一凹槽结构和所述第二凹槽结构固定设置在所述入口卡槽和所述出口卡槽之间；所述入口卡槽的工质入口、第一空腔、堆叠型微通道散热器、第二空腔和工质出口连通构成流体通道；所述堆叠微通道散热器包括第一盖板、位于所述第一盖板下方的第一通道层、位于所述第一通道层下方的缓冲层、位于所述缓冲层下方的第二通道层和位于所述第二通道层下方的第二盖板。
一种堆叠通道散热装置及其制作方法

[发明专利]一种高灵敏度微型氢气传感器及其制备方法-CN201911273794.8有效
发明人：李红芳;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种高灵敏度微型氢气传感器，包括：悬臂梁支撑结构；微悬臂梁氢敏材料支撑层，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第一端固定设置在所述悬臂梁支撑结构的上方，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第二端为自由端；微悬臂梁氢敏材料层，所述微悬臂梁氢敏材料层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的上方；微悬臂梁引出电极，所述微悬臂梁引出电极设置在所述微悬臂梁氢敏材料层一端的上方；柔性压敏电阻层，所述柔性压敏电阻层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端的下方，且与所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端轻接触；以及柔性压敏电阻电极，所述柔性压敏电阻电极设置在所述柔性压敏电阻层下方。
一种灵敏度微型氢气传感器及其制备方法

[发明专利]一种集成制造的非线性级联多自由度振动能量采集器-CN202010067919.8有效
发明人：戴旭涵;王凯;王广元;丁桂甫;赵小林 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种集成制造的非线性级联多自由度振动能量采集器，其中，内圈永磁体质量块设置于内圈可动平台处，内圈可动平台通过内圈非线性弹簧固定在外圈振子内缘；外圈质量块设置于外圈可动平台处，外圈可动平台通过外圈非线性弹簧固定在支撑块内缘。支撑块上开有贯通的通孔。平面线圈设置于支撑块下表面。内圈永磁体质量块上下运动，改变通过平面线圈的磁通大小，从而实现振动能量到电能的转换。本发明通过独立改变内圈振子与外圈振子参数，可以实现两个非线性模态之间间距与单个非线性模态带宽特性的调整，可以显著增加振动能量采集器工作带宽，且器件易于集成化制造。
一种集成制造非线性级联自由度振动能量采集

[发明专利]一种多维度网状混合微通道流体散热器-CN201910917369.1有效
发明人：孙云娜;宋旭彤;王广元;王艳;丁桂甫;付宇卓 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： H01L23/473 文献下载
摘要：本发明提供了一种多维度网状混合微通道流体散热器，包括上层盖板、下层盖板、内部流道和散热工质，其中，内部流道设置于下层盖板内；内部流道包括若干个扰流柱、若干个网状微结构，若干个扰流柱呈阵列排布，相邻扰流柱侧面之间通过网状微结构连接，若干个扰流柱的侧面通过网状微结构交织连接形成多维度流道；扰流柱侧面上设有凹型和/或凸型结构，使多维度流道的侧壁上形成微流道结构，使呈阵列排布的若干扰流柱之间构成多维度网状混合微通道；工质入口与内部流道接通，散热工质通过工质入口进入内部流道内；上层盖板使热量经内部流道传递至散热工质中，通过散热工质带出，散热工质通过工质出口排出。本发明解决大功率芯片的散热问题。
一种多维网状混合通道流体散热器

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