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[发明专利]带电粒子束装置、样本图像取得方法以及程序记录介质-CN201480072130.4有效
发明人：大南佑介;中平健治;田中麻纪;河西晋佐 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-12-03 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明的带电粒子束装置具备数据处理部，其从检测器的信号中除去一次带电粒子束在到达样本以前由于被散射而对一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。例如，在用电子显微镜观察处于非真空气氛中的样本(6)的情况下，从通过检测器取得的信号中除去一次带电粒子束由于隔膜(10)或存在于非真空空间(12)中的气体而散射从而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。由此，能够简便地得到高质量的图像。
带电粒子束装置样本图像取得方法以及程序记录介质

[发明专利]提供深度分辨图像的带电粒子显微镜-CN201310115360.1有效
发明人： F.布格霍贝尔;E.G.T.博施;P.波托塞克;X.朱格;B.H.利希 -专利权人： FEI公司
申请日： 2013-04-03 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤‑ 将样本安置在样本保持器上；‑ 使用粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；‑ 使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤‑ 包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；‑ 使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。
提供深度分辨图像带电粒子显微镜

[发明专利]电子显微镜-CN201480058375.1有效
发明人：久保贵;小林弘幸 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-10-31 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。
电子显微镜

[发明专利]电感耦合等离子体离子源与不主动泵送的液体的高压隔离-CN201280030689.1有效
发明人： S.克罗格;A.B.威尔斯;J.B.麦金;N.W.帕克;M.W.乌特劳特 -专利权人： FEI公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室和和流体，不主动地对该流体进行泵送，该流体包围等离子体室以便在等离子体室与在接地电势下的附近部件之间提供高压隔离，如导电屏蔽。一个或多个冷却装置通过使用蒸发冷却和热管将来自等离子体室的热量消散到周围环境中来对等离子体室进行冷却。
电感耦合等离子体离子源主动液体高压隔离

[发明专利]相关光学和带电粒子显微镜-CN201510040069.1有效
发明人： B.布伊斯塞 -专利权人： FEI公司
申请日： 2015-01-27 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：相关光学和带电粒子显微镜。本发明涉及装配有TEM柱和光显微镜（10）的相关光和电子显微镜（CLEM），所述光显微镜安装在TEM的物镜的极靴（8A、8B）之间。为了扩大针对增强的灵敏度的接受立体角而使用截短的透镜。应注意的是这并不意味着透镜示出像散（其并不是圆筒形透镜）。本发明还教导在样本（1）处于第一方向上的情况下使用光显微镜来制作第一图像。由于两个方向（312x，312y）上的透镜的不同NA，此图像将在一个方向上示出比在与之垂直的方向上更高的（衍射限制）分辨率。通过使样本旋转并制作第二图像，可以形成与在其中其示出低NA的方向上的图像中的任一个相比示出更好分辨率的组合图像。
相关光学带电粒子显微镜

[发明专利]用于高分辨率电子束成像的设备及方法-CN201380025282.4有效
发明人：姜辛容;韩立群 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2013-04-02 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：一个实施例涉及一种用于高分辨率电子束成像的设备。所述设备包含经配置以限制入射电子束中的电子的能量扩散的能量过滤器。所述能量过滤器可使用消像散维恩(Wien)过滤器及过滤器孔口而形成。另一实施例涉及一种形成用于高分辨率电子束设备的入射电子束的方法。另一实施例涉及一种包含弯曲导电电极的消像散维恩过滤器。另一实施例涉及一种包含一对磁轭及多极偏转器的消像散维恩过滤器。本发明还揭示其它实施例、方面及特征。
用于高分辨率电子束成像设备方法

[发明专利]一种透射电子显微镜电子衍射CCD成像装置-CN201410617417.2在审
发明人：黎刚;张同亮;杨永健;李洁;李红华;张庆华 -专利权人：中国科学院生态环境研究中心
申请日： 2014-11-05 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：一种透射电子显微镜电子衍射CCD成像装置，包括：一传动轴，该传动轴的一端为一扩大部，另一端连接一遮挡部；一保护套，固定在真空保护盒的一侧面，保护套和真空保护盒设有一同轴的通孔；传动轴插设在保护套和真空保护盒的通孔内，传动轴的扩大部置于保护套一侧，遮挡部置于真空保护盒一侧；真空保护盒与透射电子显微镜的镜筒相连接，遮挡部伸入透射电子显微镜内部遮挡透射光源。本发明解决了以往电子衍射成像底片拍照繁琐，数据易丢失的问题，也避免了底片室机械泵噪音对透射电子显微镜分辨率的影响，实现了透射电子显微镜电子衍射CCD成像功能。
一种透射电子显微镜电子衍射 ccd 成像装置

[发明专利]带电粒子束调整支援装置以及方法-CN201380022012.8无效
发明人：深谷直彦;北川健二;八木将计;平塚幸惠;小竹航 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-04-04 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明提供一种能够支援具有三维观察功能的带电粒子束装置的调整作业并降低调整值输入所需要的人力资源工时的带电粒子束调整支援装置。调整值获取部根据基于从带电粒子束调整者终端输入的信息而生成的二维调整值信息、和二维一三维调整值对应信息，来生成最佳的三维调整值信息，并发送给带电粒子束装置，进行设定。因此，带电粒子束调整者能降低三维观察所需要的调整作业，能容易地进行三维图像的观察作业。
带电粒子束调整支援装置以及方法

[实用新型]一种透射电子显微镜用可切换CCD的相机结构-CN201420362481.6有效
发明人：张大梁;王义林;周向志 -专利权人：张大梁;王义林;周向志
申请日： 2014-07-01 - 公布日： 2014-11-12 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种透射电子显微镜用可切换CCD的相机结构。本实用新型包括荧光屏、反射棱镜组件和CCD部件；荧光屏位于透射电子显微镜镜筒内；反射棱镜组件位于镜筒外；CCD部件位于镜筒外；所述反射棱镜组件接收来自荧光屏的光信号，通过自身的位置移动将该光信号反射至不同的CCD部件。本实用新型结构简单，通过调整反射棱镜的位置即可实现CCD相机内多个CCD部件之间的切换。
一种透射电子显微镜切换 ccd 相机结构

[发明专利]阴极发光信号采集装置-CN201280057308.9无效
发明人：西蒙·加洛韦;大卫·J·史杜威;理查德·文斯;利瓦伊·毕青;约翰·布莱 -专利权人：盖恩有限公司
申请日： 2012-11-28 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：一种侧进入透射电子显微镜支架包括从试样(130)采集阴极发光并将阴极发光有效耦合到并入所述托架的倾斜光纤(120)中的微型倾斜偏轴椭球镜(110)。该设计兼容所述支架的低温操作。透射电子显微镜试样对电子束部分透明，因此，试样上方和下方均能发光。偏轴镜和倾斜光纤的相同原理可用于采集试样上方和下方发出的光，但适合插入角度计及窄间隙极片之间操作所需的有限空间。可采用双重系统对比试样上方发出的光和下方发出的发光，从而提高分析技术的多功能性。
阴极发光信号采集装置

[发明专利]复合粒子光学透镜的使用方法-CN201310405430.7有效
发明人： P.斯塔;P.赫拉文卡;L.特马 -专利权人： FEI公司
申请日： 2013-09-09 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：一种用于扫描电子显微镜的复合物镜，所述透镜包括由第一透镜线圈激励的传统的磁透镜、由第二透镜线圈激励的浸没磁透镜以及由样品和静电透镜电极之间的电压差激励的浸没静电透镜和静电透镜电极。对于静电浸没透镜的预定激励，利用第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励的若干组合，电子射束可在样品上聚焦。电子检测器定位成靠近样品处以检测反向散射电子（BSE）。发明人发现当例如通过将检测器形成为像素显示的检测器或显示环（205，206，207）的检测器，检测器能够区分靠近轴冲击检测器的BSE（202）和更远离轴冲击检测器的BSE（204）时，可获得更多BSE的信息。发明人还发现，通过调谐第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励比率，到BSE冲击检测器的轴的距离可改变，因此复合透镜可被制成用作能量可选择的检测器。
复合粒子光学透镜使用方法

[发明专利]电子显微镜成像系统及方法-CN201210299149.5在审
发明人： D·沙哈尔;R·德皮乔托 -专利权人： B-纳诺有限公司
申请日： 2012-08-21 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：子显微镜成像系统包括：电子显微镜，其包括电子柱和真空室，且具有光轴；氦供应组件，其用于将氦选择性地供应到真空室外面光轴附近的氦可富含容积区；在真空室外的样品支撑台，其设置以支撑着真空室外面将被电子显微镜成像的样品，所述样品支撑台还包括平移组件，其可操作以提供样品进入和离开氦可富含容积区的相对平移。
电子显微镜成像系统方法

[实用新型]一种底装光纤耦合透射电镜数字成像装置-CN201320340788.1有效
发明人：刘冰川;陈自谦;余英豪;曲利娟;林玉峰;刘庆宏 -专利权人：中国人民解放军南京军区福州总医院
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种底装光纤耦合透射电镜数字成像装置，包括透射电镜，所述透射电镜的投影室底部具有法兰接口，所述法兰接口连接有真空密封外壳，所述真空密封外壳内设置有A光纤电子光学转换器和B光纤电子光学转换器，所述A光纤电子光学转换器连接有A数码成像器件，所述B光纤电子光学转换器连接有B数码成像器件；所述A数码成像器件包含全帧型CCD图像传感器，所述B数码成像器件包含sCMOS图像传感器。本实用新型通过两个独立成像的图像传感器对透射电子图像或衍射花样既能进行高分辨率、宽动态范围静态拍摄，又能进行高分辨率、高帧率录像，解决了现有透射电镜数字成像装置因动态成像帧率低不能满足原位电子显微学研究需要的问题。
一种光纤耦合透射数字成像装置

[发明专利]一种底装光纤耦合透射电镜数字成像方法及其装置-CN201310234702.1有效
发明人：刘冰川;陈自谦;余英豪;曲利娟;林玉峰;刘庆宏 -专利权人：中国人民解放军南京军区福州总医院
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种底装光纤耦合透射电镜数字成像方法及其装置，该方法包括以下步骤：（1）制作A光纤电子光学转换器和B光纤电子光学转换器；（2）将A光纤电子光学转换器与A数码成像器件连接成一体，将B光纤电子光学转换器与B数码成像器件连接成一体；（3）将连接成一体的光纤电子光学转换器和数码成像器件安装在真空密封外壳内；（4）将真空密封外壳与透射电镜的投影室底部的法兰接口相连接。本发明通过两个独立成像的图像传感器对透射电子图像或衍射花样既能进行高分辨率、宽动态范围静态拍摄，又能进行高分辨率、高帧率录像，解决了现有透射电镜数字成像装置因动态成像帧率低不能满足原位电子显微学研究需要的问题。
一种光纤耦合透射数字成像方法及其装置

[发明专利]E-PETRI培养皿、设备和系统-CN201280003668.0有效
发明人：郑国安;塞缪尔·杨;李承亚;庞硕;杨昌辉 -专利权人：加州理工学院
申请日： 2012-03-02 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：e-Petri培养皿包括具有试样表面的透明层和配置成对位于试样表面上的试样的一系列亚像素移动投影图像采样的光探测器。亚像素移动投影图像与照明源从多个照明角度提供的光相关。
petri 培养皿设备系统