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[发明专利]一种干涉式扫描近场微波显微装置和系统-CN202211084407.8在审
发明人：徐浩 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本发明提供一种干涉式扫描近场微波显微装置和系统，用于提高原子力和干涉扫描微波显微系统的显微精度和效率。本发明将原子力近场显微技术和干涉式扫描微波显微技术结合，采用由音叉和探针组成的音叉式探针，音叉采用压电感应材料，音叉在激励电压信号的激励下谐振频率或幅值会在探针接近被测物时的近场区受到原子力的影响，本发明通过针距反馈模块测量音叉输出的激励响应信号，输出距离反馈信号自动控制探针与被测物的距离保持在设定近场测量距离范围内。通过微波测量模块采用双端口模式将VNA输出的微波信号馈入探针并将微波反射信号输出给VNA。
一种干涉扫描近场微波显微装置系统

[实用新型]一种表面增强拉曼原子力显微镜系统-CN202220850391.6有效
发明人：韩雄;钱锋;王矛宏 -专利权人：苏州飞时曼精密仪器有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种表面增强拉曼原子力显微镜系统，包括：原子力显微镜组件，其包括检测头、样品台；样品台用以放置待测样品；光学显微镜组件，其包括物镜、照明装置、光源、目镜、CMOS适配镜、CMOS相机模组；空间拉曼模组，其设置于照明装置与物镜之间；空间拉曼模组发出激光并经物镜聚在待测样品上，待测样品激发的拉曼光谱信号经物镜传导至空间拉曼模组；调焦装置。将原子力显微镜组件、光学显微镜组件、空间拉曼模组集成在一起，同时观测待测样品的纳米结构和拉曼光谱信号，取消光纤来传导激光器信号和拉曼信号，采用光学镜片来传导信号，降低拉曼信号的损耗，利用光学显微镜组件的物镜使得空间拉曼模组的检测光斑更小，实现精确定位。
一种表面增强原子显微镜系统

[实用新型]一种基于探针移动扫描的原子力显微镜光机系统-CN202220897432.7有效
发明人：韩雄;钱锋;王矛宏 -专利权人：苏州飞时曼精密仪器有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于探针移动扫描的原子力显微镜光机系统，包括：基座，用以形成支撑结构；样品台，用以放置待测样品；原子力显微镜机构，其包括扫描头、光学观察组件；所述扫描头用以扫描测量所述待测样品，所述光学观察组件用以观察所述扫描头与所述待测样品；Y轴驱动机构，用以驱动所述样品台前后运动；Z轴驱动机构，用以驱动所述样品台升降运动；X轴驱动机构，用以驱动所述原子力显微镜机构左右运动。在扫描时，样品台保持不动，待测样品的种类、尺寸大小、重量不受限制，适用于超大的样品检测；同时由于待测样品不受限制，可拓展性强，光机系统本体非常便于与多种设备联用实现原位检测扩展了光机系统本体的应用范围。
一种基于探针移动扫描原子显微镜系统

[发明专利]一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法-CN202110322997.2在审
发明人：薛志萍;陆静;徐西鹏;谭援强;罗求发 -专利权人：华侨大学
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法，包括如下步骤：(1)获得磨料分散液；(2)吸取上述磨料分散液滴在载玻片上并干燥，然后将胶水均匀滴在载玻片上；(3)观测干燥的分散液中的磨粒的状态、分布情况以及胶水的位置，同时选择磨粒并记录其位置；(4)手动调节探针下降至胶水的位置，使探针蘸取胶水；(5)将蘸取胶水的探针移动至磨粒所处的位置的上方，调节探针下降以粘取该磨粒；(6)使胶水原位固化，获得磨粒固化探针；(7)用磨粒固化探针在拉曼原子力显微连用系统进行在线测试实验。本发明的方法可以在拉曼模式下对磨粒进行可视化挑选，原子力显微模式下实现原子层面间的粘附力检测。
一种磨料半导体粘附测试方法

[发明专利]利用零差检测从近场红外散射获得吸收光谱的方法-CN201380071454.1有效
发明人：许晓汲;吉尔伯特·C·沃克 -专利权人：许晓汲;吉尔伯特·C·沃克
申请日： 2013-11-27 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本公开提供通过ANSOM获得分子共振的吸收线型的过程和设备。方法包括相对于近场场将参考场相位设置为φ＝0.5π以及将参考振幅设置为A≥5|α_eff|。得到对相位精度的要求是<0.3π。设备除了包括ANSOM还包括相位稳定机构以维持小于0.1rad的高相位精度零差相位条件。该方法能够使ANSOM以纳米级空间分辨率执行振动光谱。
利用检测近场红外散射获得吸收光谱方法

[发明专利]热辅助磁头元件的检查装置及其方法-CN201610181780.3在审
发明人：张开锋;广濑丈师;渡边正浩;杉山敏教;飞田明 -专利权人：株式会社日立高新技术高精细系统
申请日： 2016-03-28 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本发明提供一种热辅助磁头元件的检查装置及其方法。在热辅助磁头的检查中，即使悬臂的测定探针的直径对于每个悬臂具有偏差，也能够保证进行高精度的检查。热辅助磁头元件的检查装置具备：悬臂；位移检测系统，其检测悬臂的位移；光检测器，其检测来自悬臂的散射光；信号处理部，其接收来自位移检测部的输出信号和来自光检测器的输出信号对信号进行处理；以及控制部，其对整体进行控制，还具备：载置部，其载置近场光产生样本；激光源，其发射激光；激光照射光学系统，其将激光照射到近场光产生样本而产生近场光；以及工作台部，其载置载置部和激光照射光学系统来使近场光产生样本在悬臂正下方与从悬臂离开的位置之间进行移动。
辅助磁头元件检查装置及其方法

[实用新型]一种原子力/荧光共定位显微成像系统-CN201520940305.0有效
发明人：吴宗斌 -专利权人：大连光耀辉科技有限公司
申请日： 2015-11-23 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种原子力/荧光共定位显微成像系统，该系统至少包括控制及信息整合系统、原子力显微装置、激光光源装置、荧光显微装置和联用平台。该系统通过将荧光显微成像技术与原子力显微成像法技术联用，建立了功能完整的快速成像系统，克服了荧光成像普适性差、采样速度慢、只能对平面清晰成像，以及原子力显微镜缺乏多组份识别功能和探测样品内部信息功能的缺点。
一种原子荧光定位显微成像系统

[实用新型]基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像系统-CN201220297739.X有效
发明人：李甸;王淑莹;章海军;张冬仙 -专利权人：浙江大学
申请日： 2012-06-25 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像系统。它具有由微悬臂与微球组合探针、压电陶瓷、激光器、半透半反棱镜、位置敏感元件、步进移动台、物镜、CCD等组成的超分辨显微成像装置，以及由电流电压转换器、反馈控制模块、高压放大器、步进控制器、计算机及接口等组成的控制系统。采用微悬臂与微球组合探针将微球抬离而又十分逼近样品表面的方法及采用基于原子力的微纳米反馈控制方法，将微球—样品间距控制在近场范围，实现超分辨光学显微成像。本实用新型的优点是：提出基于微悬臂—微球探针的超分辨显微成像新方法，实现样品的多区域、全视场、超分辨光学显微成像，突破光学衍射极限，克服了传统微球显微成像技术在诸多等方面的局限性。
基于悬臂组合探针分辨显微成像系统

[发明专利]基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像方法及系统-CN201210209374.5有效
发明人：章海军;李甸;张冬仙;王淑莹 -专利权人：浙江大学
申请日： 2012-06-25 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像方法及系统。它具有由微悬臂与微球组合探针、压电陶瓷、激光器、半透半反棱镜、位置敏感元件、步进移动台、物镜、CCD等组成的超分辨显微成像装置，以及由电流电压转换器、反馈控制模块、高压放大器、步进控制器、计算机及接口等组成的控制系统。采用微悬臂与微球组合探针将微球抬离而又十分逼近样品表面的方法及采用基于原子力的微纳米反馈控制方法，将微球—样品间距控制在近场范围，实现超分辨光学显微成像。本发明的优点是：提出基于微悬臂—微球探针的超分辨显微成像新方法，实现样品的多区域、全视场、超分辨光学显微成像，突破光学衍射极限，克服了传统微球显微成像技术在诸多等方面的局限性。
基于悬臂组合探针分辨显微成像方法系统

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