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[发明专利]热辅助磁头元件的检查装置及其方法-CN201610181780.3在审
发明人：张开锋;广濑丈师;渡边正浩;杉山敏教;飞田明 -专利权人：株式会社日立高新技术高精细系统
申请日： 2016-03-28 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本发明提供一种热辅助磁头元件的检查装置及其方法。在热辅助磁头的检查中，即使悬臂的测定探针的直径对于每个悬臂具有偏差，也能够保证进行高精度的检查。热辅助磁头元件的检查装置具备：悬臂；位移检测系统，其检测悬臂的位移；光检测器，其检测来自悬臂的散射光；信号处理部，其接收来自位移检测部的输出信号和来自光检测器的输出信号对信号进行处理；以及控制部，其对整体进行控制，还具备：载置部，其载置近场光产生样本；激光源，其发射激光；激光照射光学系统，其将激光照射到近场光产生样本而产生近场光；以及工作台部，其载置载置部和激光照射光学系统来使近场光产生样本在悬臂正下方与从悬臂离开的位置之间进行移动。
辅助磁头元件检查装置及其方法

[发明专利]磁头元件检查器-CN201210473892.8无效
发明人：北野佳升;德富照明;飞田明 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G11B5/455 文献下载
摘要：本发明提供在更换悬臂的场合，能够不使用调整夹具且在短时间内调整悬臂的位置的磁头元件检查器。磁头元件检查器（1）具备：保持悬臂（5）的悬臂支架（4）；安装悬臂支架（4）的支架基座（3）；在Z方向上驱动支架基座（3）的Z方向驱动轴（22）；以及保持磁头元件并在XY方向上进行驱动的工作台（21）。在悬臂支架（4）与支架基座（3）上具有在X方向与Y方向上调整悬臂（5）的位置的调整机构（调整螺栓（44）、偏心销（34））。
磁头元件检查

[发明专利]磁头元件检查方法及其装置-CN201210277291.X无效
发明人：德富照明;佐藤武史;飞田明;斋藤尚也;松下典充 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-08-06 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： G01R33/12 文献下载
摘要：本发明提供一种磁头元件检查方法及其装置，能够不受外部环境影响地测定形成在磁头的卸料器上的各个磁头元件所形成的磁场的二维分布。在对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查的磁头元件检查装置中，构成为将托盘部、载物台部、样品交接部、磁场测量部和有效磁道宽度测量部搭载在对来自外部的振动进行隔断的除振台部上，并用隔音部遮蔽托盘部、载物台部、样品交接部、磁场测量部、有效磁道宽度测量部和除振台部，来隔断外部的噪音。
磁头元件检查方法及其装置

[发明专利]磁头搬送装置、磁头检查装置、及磁头制造方法-CN201010190083.7无效
发明人：德富照明;飞田明;中込恒夫 -专利权人：株式会社日立高科技
申请日： 2010-05-20 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： G11B5/455 文献下载
摘要：本发明是有关于一种磁头搬送装置、磁头检查装置、及磁头制造方法，在搬送长形条状态的薄膜磁头时可自如地改变所述薄膜磁头的姿势。搬送从晶片上切下的细长的矩形板状即长形条状态的磁头的搬送装置可以进行垂直安装与水平安装此两种安装。搬送细长的矩形板状即长形条状态的磁头的搬送装置可以进行垂直安装与水平安装此两种安装，并且在各工序之间进行搬送时可以将所述磁头的姿势从垂直改变为水平、从水平改变为垂直。搬送装置可以进行处于垂直安装与水平安装之间的倾斜状态的倾斜安装。由此，相对于各工序之间进行搬送时垂直或者水平安装的托盘，可容易地进行长形条状态的薄膜磁头的搬送。
磁头装置检查制造方法