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[发明专利]一种带自检功能的三维六参数压电式加速度计-CN201210398076.5有效
发明人：陈启山;戴虹;王良明 -专利权人：扬州英迈克测控技术有限公司
申请日： 2012-10-18 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明公开一种带自检功能的三维六参数压电式加速度计。该加速度计包括基体，在基体内分别设置有用于检测线X向、Y向和Z向振动的X向模块、Y向模块和Z向模块，每个模块均设置有高频检测模块和低频检测模块，所述的高频检测模块和低频检测模块均设置有自检晶体片，自检晶体片连接有自检导电片；所有的高频输出端子和低频输出端子分别与六路独立信号调理模块连接，六路独立信号调理模块和自检导电片通过屏蔽电缆引出到基体上的插座。采用该技术方案的压电式加速度计，嵌入自检晶体片，自我能够提供振动源，达到模拟实际工作状态的功能，从而检测高频检测模块和低频检测模块是否能够正常工作；高低频分别输出信号，使提供的信号更加准确。
一种自检功能三维参数压电加速度计

[发明专利]一种基于加速度的安全监控方法及相关装置-CN201210378052.3有效
发明人：朱华政;朱明华;赵康;鲍星合;李文志;曹维 -专利权人：广州网文三维数字技术有限公司
申请日： 2012-09-29 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种基于加速度的安全监控方法，用于通过加速度检测的方式对目标物实施高效、安全和准确的监管保护。本发明实施例方法包括：获取目标物在三维方向的加速度分量；根据所述加速度分量测量所述目标物的加速度；判断所述加速度的变化量是否大于安全阈值；若是，则所述目标物满足初始预警条件；若否，则忽略当前的加速度变化。
一种基于加速度安全监控方法相关装置

[实用新型]三维加速度运动测量仪-CN201220327914.5有效
发明人：汪建;谭晓川 -专利权人：四川农业大学;汪建;谭晓川
申请日： 2012-07-09 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种三维加速度运动测量仪，三维加速度运动测量仪上设置有加速度测量电路盒和弹性固定扣环，加速度测量电路盒内具有三维加速度传感器、声音检测电路、单片机控制电路和液晶屏，本运动测量仪通过对三维加速度信号的获取、处理和显示，实现了稳定、方便的加速度测量。测量仪结构合理，稳定可靠，适合于对运动员的加速度测量和大专院校的力学、电子技术等课程的教学实验。
三维加速度运动测量仪

[发明专利]一种巨磁阻效应三轴加速度计-CN201210330126.6无效
发明人：刘俊;李孟委;李锡广;王莉;郑伦贵;苏树清 -专利权人：中北大学
申请日： 2012-09-07 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种巨磁阻效应三轴加速度计，包括：键合基板；巨磁敏电阻和微加速度计，巨磁敏电阻设在键合基板上表面，且与各检测方向加速度计敏感质量块上表面的巨磁敏电阻位置对应；微加速度计设在键合基板上方并与键合基板相连接，其包括：敏感质量块，铁磁性薄膜和悬臂梁。根据本发明的三轴微机械加速度计采用整体结构设计，三种检测不同方向的加速度计集成制作于同一框体上，结构合理，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
一种磁阻效应加速度计

[实用新型]带有定位功能的三轴加速度传感器节点模块-CN201220251077.2有效
发明人：吴兴利;田立国;李猛;陈志亮 -专利权人：天津职业技术师范大学
申请日： 2012-05-29 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：一种带有定位功能的三轴加速度传感器节点模块，可以数字输出三个方向的加速度，可用于精确空间位置下的汽车制动启动检测、机械、道路桥梁振动测试以及报警系统等多个方面。所述节点模块包括：ATmega8L控制器(1)；加速度检测采集电路(2)；GPS定位模块(3)；通讯接口连接器(4)；电源电路(5)。本实用新型利用三轴加速度传感器、GPS定位模块和单片机实现三轴加速度的测量，具有结构简单，成本低廉，易于推广等特点。
带有定位功能加速度传感器节点模块

[发明专利]MEMS三轴加速度计及其制造方法-CN201110137641.8有效
发明人：吴亚明;杨丹琼;徐静;钟少龙 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2011-05-24 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS三轴加速度计及其制造方法。MEMS三轴加速度计包括敏感器件层、上盖板层和下支撑体层；敏感器件层与上盖板层、下支撑体层之间有间隙；敏感器件层包括支撑框体、弹性梁、三个独立的敏感质量块、可动梳齿、固定梳齿以及电极，敏感器件层中的三个独立的敏感质量块分别实现X、Y、Z三轴加速度信号的检测；每个方向的加速度传感器由相应的一个敏感质量块通过仅对检测方向敏感的弹性梁悬挂于支撑框体之间，每个敏感质量块上利用体硅加工工艺制作了多对可动梳齿，支撑框体相应地制作多对固定梳齿，以构成一对差分电容作为敏感电容；不同方向的差分梳齿电容对该方向的加速度信号的响应产生差分电容变化。
mems 加速度计及其制造方法

[发明专利]车辆状态检测装置及车辆状态检测系统-CN201080065125.2有效
发明人：平冈裕二 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2010-03-10 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：一种车辆状态检测装置，在各个轴上设置加速度传感器（1、2、3），从而能够对三个轴各自的方向上的加速度进行检测，并且包括运算部（7），该运算部（7）由各个轴的加速度传感器的检测结果的矢量和来计算出重力方向，以对车辆状态检测装置相对于车辆的安装倾斜进行修正，并对车辆的前后方向、左右方向、上下方向的加速度进行检测。
车辆状态检测装置系统

[发明专利]压阻式单片集成四梁三轴加速度计-CN201210252958.0有效
发明人：张文栋;何常德;张国军;薛晨阳;熊继军;刘俊;张永平;杜春晖 -专利权人：中北大学
申请日： 2012-07-21 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种压阻式单片集成四梁三轴加速度计，解决了现有压阻式三轴加速度计存在结构复杂，灵敏度低，轴间耦合大的问题。该加速度计包括四根弹性悬臂梁、质量块和支撑边框，质量块四个边分别通过一根弹性悬臂梁支悬于支撑边框的中心位置，支撑边框下表面通过静电键合技术与玻璃基板键合，十六个阻值相等的压敏电阻对称均布在四根弹性悬臂梁的两端，十六个压敏电阻连接分别构成三个惠斯通电桥分别检测三个轴向的加速度信号。本发明加速度计结构简单、灵敏度高、轴间耦合低、可靠性高、成本低廉、易于一体化加工，以其生产加工的加速度计应用范围广阔。
压阻式单片集成四梁三轴加速度计

[发明专利]MEMS三轴加速度传感器及其制造方法-CN201110106037.9有效
发明人：吴亚明;杨丹琼;徐静;钟少龙 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2011-04-26 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS三轴加速度传感器及其制造方法。根据本发明的MEMS三轴加速度传感器包括支撑框体、弹性梁、敏感质量块、下支撑体、栅型敏感电容和引线电极；其中，敏感质量块通过弹性梁悬于支撑框体之间，支撑框体通过键合与下支撑体连接，敏感质量块与下支撑体之间有间隙，敏感质量块上制作了栅型电容的上电极，下支撑体的内表面上制作栅型电容的下电极组，上电极与下电极组错位排列构成一组栅型电容，该组栅型电容从引线电极输出;其中，该组栅型电容包括第一电容、第二电容、第三电容和第四电容，第一电容与第二电容、第三电容与第四电容分别构成差分检测电容，所述MEMS三轴加速度传感器通过电容的运算实现三轴加速度量的同时检测。
mems 加速度传感器及其制造方法

[发明专利]双轴加速度传感器-CN201210008599.4有效
发明人：张睿;王琳琳 -专利权人：瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声科技(新加坡)有限公司
申请日： 2012-01-03 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种双轴加速度传感器，其包括基底和固定在所述基底上的检测传感单元。所述检测传感单元包括质量块、由所述质量块延伸出的梳齿状的第一动电极和第二动电极部，所述第二动电极部包括电极壁和由所述电极壁延伸出的梳齿状的第二动电极。所述质量块包括主体部、第一梁式弹臂和框壁，所述第一梁式弹臂将所述框壁与所述主体部固定相连。所述质量块还包括第二梁式弹臂。所述检测传感单元还设有第一定电极和第二定电极，所述第一定电极与所述第一动电极呈相互交错设置且互不接触，所述第二定电极与所述第二动电极相互交错设置且互不接触。与相关技术本比，本发明的双轴加速度传感器测量精度高，灵敏度性能更优。
加速度传感器

[发明专利]加速度传感器-CN201210007073.4有效
发明人：张睿;王琳琳 -专利权人：瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声科技(新加坡)有限公司
申请日： 2012-01-11 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种加速度传感器，其包括位于中央可扭转的折叠弹簧、位于折叠弹簧两侧的检测单元，所述检测单元包括第一基底和第二基底、位于第一基底和第二基底上方并分别与折叠弹簧两侧相连的第一质量块和第二质量块、分别自第一质量块和第二质量块向远离折叠弹簧的一侧延伸而出的第一动电极和第二动电极、分别与第一动电极和第二动电极构成梳齿结构形成电容效应的第一定电极和第二定电极、及支撑固定第一定电极和第二定电极的第一固定端和第二固定端，所述第一质量块和第二质量块上靠近折叠弹簧的位置处分别设有第一梁式弹簧和第二梁式弹簧。与相关技术本比，本发明的加速度传感器测量精度高，灵敏度性能更优。
加速度传感器

[发明专利]基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计-CN201210192794.7无效
发明人：张文涛;侯跃峰;李芳 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2012-06-12 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计，包括外壳、第一小孔、第一光纤光栅、第二光纤光栅、第二小孔、质量块、悬臂梁和支座，其中外壳用于作为该光纤矢量加速度计的支撑结构，在该外壳相邻的两个侧壁上开有第一小孔和第二小孔，第一小孔用于固定第一光纤光栅并引出其尾纤，第二小孔用于固定第二光纤光栅并引出其尾纤；第一光纤光栅的一端与质量块固定连接，另一端与第一小孔固定连接；第二光纤光栅的一端与质量块固定连接，另一端与第二小孔固定连接；悬臂梁的一端通过支座固定于该外壳的一个侧壁，另一端与质量块固定连接。本发明在实现矢量探测的同时缩小了光纤矢量加速度计体积，并提高了光纤矢量加速度计整体带宽利用率。
基于悬臂梁光栅光纤矢量加速度计

[实用新型]电子水平仪的双轴加速传感器-CN201120483008.X有效
发明人：韩芬英;华强;黄永祥;吴关根 -专利权人：杭州工具量具有限公司
申请日： 2011-11-29 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了电子水平仪的双轴加速传感器，它包括电源端(101)、传感器、振荡器(103)，解调器(105，106)、电阻(107，108)、脉宽占空比调制器(109)、脉宽信号输出端、滤波电容；所述解调器(105，106)与传感器相连接；所述电阻(107，108)驱动脉宽占空比解调器(109)；滤波电容外接引脚。本实用新型具有高灵敏度、低温漂、低噪声、低功耗、重量轻、良好的线性度、振动频率和加速度的测量范围大以及工作温度广等优点。
电子水平仪加速传感器

[实用新型]三轴加速度传感器节点模块-CN201120486861.7有效
发明人：田立国;关蓓蓓;李猛;吴兴利 -专利权人：天津职业技术师范大学
申请日： 2011-11-30 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：一种三轴加速度传感器节点模块，可以数字输出三个方向的加速度，可用于汽车制动启动检测、移动电话、跌落保护等多个方面。所述节点模块包括：ATmega8L控制器(1)；SMB380三轴加速度传感器(2)；通讯接口连接器(3)；电源电路(4)。本实用新型利用三轴加速度传感器和单片机实现三轴加速度的测量，具有结构简单，成本低廉，易于推广等特点。
加速度传感器节点模块

[发明专利]一种田字形双轴谐振式硅微机械加速度计结构-CN201210011153.7无效
发明人：樊尚春;李晶 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2012-01-13 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：一种“田”字形双轴谐振式硅微机械加速度计，其目的在于设计制作一种高灵敏度和高分辨率的双轴硅微机械加速度计。该结构的特点在于：(1)“田”字型质量块结构，最大化了质量块的体积，能更加有效的将加速度转化为惯性力。并且，结构整体呈对称分布，有利于抗噪声、抑制温度漂移。(2)结构外围“几”字型支撑梁有利于结构残余应力和温度应力的释放，减小了敏感方向上的支撑刚度。(3)谐振器一端“口”字型类弹簧梁的使用，降低了外部冲击对梁的影响，并对结构的残余应力有释放作用。(4)谐振器中音叉根部的弧形结构有效的减少了能量耦合，提高了谐振器的机械品质因数，易于实现闭环控制。
种田字形谐振微机加速度计结构