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- [发明专利]测温装置及工艺腔室-CN201610973541.1在审
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文莉辉;张军;武学伟;徐宝岗
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2016-11-04
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2018-05-11
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G01J5/06
- 本发明提供了一种测温装置,测温装置包括红外测温传感器和遮光筒,遮光筒包括筒状本体,还包括降温部件和/或隔离部件;降温部件设置在筒状本体上,用于将筒状本体降至设定的温度范围,并保持在所述温度范围;隔离部件设置在筒状本体和热源之间,用于将筒状本体与热源隔离。本发明还提供了一种工艺腔室,包括本发明提供的测温装置。本发明提供的测温装置提高了红外测温传感器测量的精确性;根据本发明的工艺腔室,在采用热电偶对托盘进行PID温度控制,红外测温传感器进行监控的情况下,可以使红外测温传感器测量的温度与热电偶测量的温度相差不大,甚至相同。
- 测温装置工艺
- [实用新型]一种非接触式红外测温仪-CN201620622015.6有效
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陆学年;丁惠群;黄勇;费军;金东良
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吴江市建设工程质量检测中心有限公司
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2016-06-23
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2016-11-16
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G01J5/06
- 本实用新型涉及一种非接触式红外测温仪,包括壳体,壳体内部设有红外线激光传感器、光电转换模块、信号放大模块、模数转换模块、语音芯片、控制单元、输出模块及输入模块;红外激光传感器的输出端连接光电转换模块的输入端,光电转换模块的输出端连接信号放大模块的输入端,信号放大模块的输出端连接模数转换模块的输入端,模数转换模块的输出端连接控制单元的第一输入端,输入模块的输出端连接控制单元的第二输入端,控制单元的输出端连接输出模块;温度补偿电路、语音芯片均与控制单元电连接。本实用新型既可通过显示屏输出,也可通过语音输出,既可通过键盘输入,也可通过语音输入,其可靠性好、操作方便、测量精确、不受环境影响、寿命长。
- 一种接触红外测温
- [发明专利]一种全方位移动物体热源探测器-CN201610264449.8在审
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姜城
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天津通软信息技术有限公司
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2016-04-26
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2016-07-20
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G01J5/06
- 本发明专利公开了一种全方位移动物体热源探测器包括全方位移动物体热源探测器本体、液晶显示屏、USB接口、光电感应模块、低通滤波模块、处理器、输入模块和光学镜筒;所述全方位移动物体热源探测器本体左侧设置有接入口和输出口,所述全方位移动物体热源探测器本体内部安装有电压偏置模块,且电压偏置模块的输出端和光电感应模块的输入端电性连接,所述光电感应模块的输出端和鉴别电压模块的输入端电性连接,且鉴别电压模块的输出端和低通滤波模块的输入端电性连接,所述低通滤波模块的输出端和放大模块的输入端电性连接,所述处理器的输出端和功率合成模块的输入端电性连接。本发明专利的有益效果是:该全方位移动物体热源探测器,结构设计合理,加密模块的设置,提高了安全性。
- 一种全方位移动物体热源探测器
- [实用新型]具有除灰功能的红外测温仪-CN201520911582.9有效
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王帅;杨子江;马永彩;杨志亮
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天津鹰麟节能科技发展有限公司
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2015-11-16
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2016-03-23
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G01J5/06
- 本实用新型公开了一种具有除灰功能的红外测温仪,包括对应地固定设置在锅炉开孔处的导向套,与所述的导向套滑动地配合的连接筒,固定设置在连接筒尾端且形成有中孔的连接块,设置在所述的连接块外侧的观察仓,所述的观察仓内固定设置有远红外光谱探头以进行光谱采集,所述的导向套包括与锅炉外壁固定连接的固定套,至少两个依次沿轴向与所述的固定套固定连接的支撑件,在所述的固定套和支撑件以及支撑件之间分别夹持固定有石墨环,所述的连接筒与所述的石墨环内环面保持接触。本实用新型采用连接筒可前后抽拉式设计,当锅炉内壁的集聚物积累在锅炉开孔处时,相对导向套推动连接筒,利用连接筒内端直接击碎集聚物,有效保证锅炉开孔处的畅通有效。
- 具有功能红外测温
- [发明专利]具有除灰功能的红外测温仪-CN201510786362.2在审
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王帅;杨子江;马永彩;杨志亮
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天津鹰麟节能科技发展有限公司
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2015-11-16
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2016-01-06
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G01J5/06
- 本发明公开了一种具有除灰功能的红外测温仪,包括对应地固定设置在锅炉开孔处的导向套,与所述的导向套滑动地配合的连接筒,固定设置在连接筒尾端且形成有中孔的连接块,设置在所述的连接块外侧的观察仓,所述的观察仓内固定设置有远红外光谱探头以进行光谱采集,所述的导向套包括与锅炉外壁固定连接的固定套,至少两个依次沿轴向与所述的固定套固定连接的支撑件,在所述的固定套和支撑件以及支撑件之间分别夹持固定有石墨环,所述的连接筒与所述的石墨环内环面保持接触。本发明采用连接筒可前后抽拉式设计,当锅炉内壁的集聚物积累在锅炉开孔处时,相对导向套推动连接筒,利用连接筒内端直接击碎集聚物,有效保证锅炉开孔处的畅通有效。
- 具有功能红外测温
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