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[实用新型]用于晶体生长装置的隔热保温件及晶体生长装置-CN202223449334.6有效
发明人：马俊杰;张华利;赵玉兵;周洁 -专利权人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于晶体生长装置的隔热保温件及晶体生长装置，晶体生长装置包括坩埚，用于晶体生长装置的隔热保温件设于坩埚外侧且沿坩埚的周向方向延伸，所述用于晶体生长装置的隔热保温件包括：隔热件，隔热件包括竖直段和上段，上段的一端与竖直段的上端连接，上段的另一端沿坩埚径向方向向内或向外延伸；保温件，保温件在坩埚的径向方向上与竖直段层叠设置，保温件与上段位于竖直段沿坩埚径向方向的同一侧，保温件位于上段的下方。根据本实用新型的用于晶体生长装置的隔热保温件，隔热效果好，阻挡了侧部加热器对坩埚下部分的热辐射，从而减少侧部加热器对坩埚的热辐射面积，从而降低单晶棒的氧含量。
用于晶体生长装置隔热保温

[实用新型]一种新型单晶炉用换热装置-CN202222669404.2有效
发明人：杨登文;王艺澄;王军磊 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开单晶硅棒制造领域中的一种新型单晶炉用换热装置，其包括进水管道和出水管道，在进水管道和出水管道之间串接换热器，换热器的上段是锥形，下段是筒形，换热器下段的筒形内固定套有一个圆筒形的空心颈圈，空心颈圈的外壁与换热器下段筒形的内壁紧密贴合，在空心颈圈的内壁上，沿圆周方向均匀布置多个水平横截面为U形的U形凸起，所有的U形凸起都与换热器相连通，所有的U形凸起都朝向空心颈圈的中心轴的方向凸出，沿轴向上，每个U形凸起都从上至下垂直布置；空心颈圈增大了换热装置的换热容积，加快了吸热速率，能对换热装置内部自动清洗。
一种新型单晶炉用换热装置

[实用新型]一种用于单晶炉晶棒掉落的取棒装置-CN202222749561.4有效
发明人：王鑫;王军磊;王艺澄 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开单晶硅生产制造领域中的一种用于单晶炉晶棒掉落的取棒装置，两个电机的输出轴均伸入进副室内部，每根钢丝绳上端通过一个上扣固定连接一个电机的输出轴，每根钢丝绳的下端各经过一个中间环和绕过一个滑轮后固定连接夹持装置，夹持装置包括一个卡圈和两个夹爪，一根钢丝绳的下端固定连接一个夹爪的上端，两个夹爪之间是卡圈，卡圈的侧壁向外突出两个突耳，滑轮水平布置且滑轮中心轴的两端通过轴承连接于突耳上，夹爪在滑轮和卡圈之间且贯穿突耳，夹爪中间铰接在卡圈侧壁上，在晶棒掉落后，用夹持装置将晶棒夹紧后提升钢丝绳将晶棒提起后旋开副室取出掉落的单晶硅棒，操作方便，节约掉棒取棒工时。
一种用于单晶炉晶棒掉落装置

[发明专利]一种提纯棒的拉制方法-CN202310098147.8在审
发明人：赵巍;陈铭;宋丽平;龙小娇;龙昭钦 -专利权人：四川晶科能源有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明属于单晶硅制备技术领域，涉及一种提纯棒的拉制方法。拉制方法包括将硅料混合物填装到单晶炉内；将所述硅料混合物加热融化为硅熔体；对所述硅熔体进行引晶、放肩、转肩、等径生长，之后收尾提断并冷却，取出晶棒的步骤；拉制方法所采用的的原料均为异常硅料混合物，其组分包括焖炉料、细粉等，通过对硅料混合物进行熔融、引晶、放肩、转肩、等径生长等步骤的处理，去除硅料中的杂质并形成了提纯棒；所制备的提纯棒经破碎后可以在拉制单晶硅棒时投炉使用，实现了异常硅料的再利用，大幅度的节约了硅料成本。
一种提纯拉制方法

[发明专利]一种预防晶棒晃动的装置-CN202211734922.6在审
发明人：马俭;杨华伟;王迎春;徐志群;张银 -专利权人：四川高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种预防晶棒晃动的装置，包括三根横杆，所述横杆两侧设有螺栓孔，相邻两个横杆之间通过拉伸弹簧穿过螺栓孔连接，所述横杆的两端通过位置调节装置平均分布定位在水冷热屏内壁上，所述横杆上设有条形开孔，所述条形开孔内设有滑动轮组；利用横杆、拉伸弹簧与滑动轮组相互配合，在不影响晶棒生产环节的旋转、升降的同时，辅助支撑晶棒，让晶棒在整个生产环节不晃动(划弧)，有效解决了晶棒生产过程中，因环境存在震源、单晶炉台水泥基座沉降、单晶炉内气流漩涡等因素导致晶棒晃动而无法正常生产的技术问题，提高了晶棒的生产效率以及生产质量。
一种预防晃动装置

[发明专利]一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置-CN202211092493.7有效
发明人：王庆辉;王忠亮;王皓田 -专利权人：吉林龙昌新能源有限责任公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明开了一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，属于单晶炉技术领域，包括底座，底座的顶部固定安装有炉体，炉体的内部活动套接有石墨坩埚，底座顶部一端的中部固定安装有第一固定板，底座顶部与第一固定板同侧的外端固定安装有第一导向柱，第一固定板的中部固定安装有伸缩杆。本发明通过设置的风机、排风组件和压板组件等结构配合，在进行坩埚提升后的降温中，通过风机产生风力吹动压板组件在固定外壳内部向下移动，风力通过风孔进入连接仓中，使得风管底部排出凉风对石墨坩埚进行吹拂，通过风力吹拂使石墨坩埚内侧热量交换的效果更好，降温更快。
一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置

[实用新型]一种单晶炉及其加热器-CN202222511156.9有效
发明人：劳海兵;王新强;万军军;云飞 -专利权人：双良硅材料(包头)有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉及其加热器，其中，该加热器包括加热器主体，加热器主体的上开缝至少上半部分的缝宽加大。在本方案中，通过增大加热器主体上开缝的上半部分的缝宽，以便于将电流通过上开缝的上半部分弧瓣的截面积变小，进而增大上开缝的上半部分弧瓣的电阻，从而增大上开缝的上半部分的发热量。即本方案通过此方式，以便于将加热器中心发热区向上偏移，而加热器中心发热区向上偏移则会带来如下有益效果：1、中心发热区更靠近液面，不仅会降低引晶功率，还有降氧效果；2、中心发热区靠上偏移，坩埚底部温度会较之前更低，从而使得坩埚底部SIO反应速率更低，具有了更好的降氧效果。
一种单晶炉及其加热器

[实用新型]单晶炉清理装置-CN202320052125.3有效
发明人：倪晋杰;黄剑雄 -专利权人：无锡松瓷机电有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单晶炉清理装置，用于清理安装在单晶炉的主炉室内的保温层，包括顶升装置、对中机构及清理机构，其中：对中机构安装在顶升装置的驱动端上，清理机构安装在对中机构的活动部件上；顶升装置用于顶升对中机构，使得清理机构进入至保温层内；对中机构用于实施对清理机构的对中，使得清理机构的中轴线与保温层的中轴线在预设误差内对齐；清理机构用于清理所述保温层。通过顶升装置、对中机构和的清理机构的配合，本实用新型实现了对单晶炉保温层的自动清理，从而提升了清理效率，消除了安全隐患。
单晶炉清理装置

[实用新型]一种用于单晶炉的多功能炉底结构-CN202222085157.1有效
发明人：辛玉龙;高明霞;张立达;任勇祥;王立明;冯宜平 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉领域，一种用于单晶炉的多功能炉底结构，该单晶炉的下炉体1为一个顶部开口的平底筒体结构，下炉体1的侧部有两个侧排气口2，两个侧排气口2关于下炉体1中心线对称，下炉体1的底部有五个圆形通孔，五个圆形通孔包括下炉体1的底部中心的单晶炉中轴通孔3和环绕单晶炉中轴通孔3且圆心处于以单晶炉中轴通孔3为中心的同一圆周上的四个电极孔4，四个电极孔4大小相同且四个电极孔4的中心连线构成一个正方形。
一种用于单晶炉多功能结构

[发明专利]一种控制硼富集的单晶硅拉制方法-CN202211705558.0在审
发明人：陈义坤;徐志群;马腾飞;汪奇;付丽影 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制硼富集的单晶硅拉制方法，包括：确定循环料的硼含量；选择籽晶装入炉膛中；根据循环料的硼含量，将原生多晶硅料和循环料按一定比例装入坩埚中；将坩埚抽真空，并通入惰性气体；对坩埚进行持续加热直至材料全熔后，获得拉制料，降温至引晶温度；使籽晶接触拉制料表面后，开启晶转；按照一定的直径，控制好拉速缩颈；控制好拉速和扩肩速度，等放肩部直径接近要求的晶体直径时，提升拉速，晶体进入等径生长阶段；提高拉晶速度，逐步缩小晶体直径，直至使晶体脱离熔体，第一次拉晶过程结束；重复装籽晶步骤，在装料步骤中，将循环料以相同的比例投入剩余的拉制料中，并重复抽真空步骤至收尾步骤，拉制出多根晶棒。
一种控制富集单晶硅拉制方法

[发明专利]晶体生长炉冷却方法及系统、晶片-CN202310074549.4在审
发明人：请求不公布姓名;请求不公布姓名;马新成 -专利权人：三一硅能（株洲）有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，提供一种晶体生长炉冷却方法及系统、晶片，其中，晶体生长炉冷却方法包括：在晶体生长完成后，将晶体生长炉停炉；向晶体生长炉中加入用于冷却晶体生长炉的埚底料，埚底料是晶体生长后剩余的硅料。如此，解决了现有技术中晶体生长炉冷却时长较长的问题，在晶体生长炉停炉后，将埚底料即回收的晶体生长剩余的硅料加入晶体生长炉中冷却晶体生长炉，由于硅料具有较高的导热系数和较大的比热容，可以使得晶体生长炉快速冷却，缩短了晶体生长炉的冷却时长，提高了冷却效率。埚底料是晶体生长所剩余的，可以就地取材，对埚底料二次利用，不需要额外的投入，可以重复使用，少投入高回报，大幅节约了成本，减少了资源浪费。
晶体生长冷却方法系统晶片

[实用新型]用于硅芯拉制单晶炉硅料加料筒的悬挂装置-CN202223275386.6有效
发明人：杨红伟;杨友一;郑荣;陈冲;吕明;程达 -专利权人：宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种用于硅芯拉制单晶炉硅料加料筒的悬挂装置，包括吊耳构件，吊耳构件与石墨夹头连接；吊耳构件包括吊杆，吊杆一端可拆卸地设有吊环，吊杆另一端设有锥形头；石墨夹头中心设有安装通道，安装通道包括吊杆活动通道和锥形头活动通道，安装通道顶部与重锤螺纹连接，重锤顶部设有连接孔。本实用新型采用挂杆及挂钩相结合方式，操作灵活、简单，使用完后拆卸简捷，不会占用太多空间。
用于硅芯拉制单晶炉硅料加料悬挂装置

[实用新型]用于单晶炉的导气装置-CN202222990519.1有效
发明人：杨少平;马少林;成路;王莎莎;程磊;武刚 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于单晶炉的导气装置，导气装置包括导气管和保温罩，导气管自上而下呈渐扩状，且导气管的上端口用于供单晶炉内的气体进入，导气管的下端口用于向炉底排气管道排放气体；保温罩用于包覆于导气管的外侧壁。通过将导气管设置为自上而下呈渐扩状的结构，在避免单晶炉内的气体中的杂质在导气管的下端堵塞的同时，上端的收口设计也能够有效地阻止热辐射，防止过多的热量从导气管内散失；另外，通过在导气管的外侧壁设置保温罩也能够有效地防止过多的热量从导气管内散失。
用于单晶炉装置

[实用新型]一种新型直槽口底加热器-CN202222578515.2有效
发明人：郭嘉伟;王楠;张宇辉;董智慧 -专利权人：乌海市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型属于直拉单晶加热炉技术领域，具体涉及一种新型直槽口底加热器。本实用新型提供了一种新型直槽口底加热器，包括加热体，加热体包括：一加热环，加热环的左右两端分别串联连接有第一加热体和第二加热体，第一加热体和第二加热体远离加热环的一端分别一体成型串联一个电极，每个电极上开设有一个电极孔，两个电极孔的连线为第一轴线，电极孔为沿第一轴线延伸的长条形通孔；第一加热体包括两个相互并联且以第一轴线为轴对称设置的蛇形加热体，第一加热体、第二加热体和加热环一体成型设置。本实用新型采用轴对称的加热体结构，变形更均匀可控，同时电极上的电极孔采用长条形通孔，抵消变形带来的孔位移，使加热器更容易安装。
一种新型槽口加热器

[发明专利]一种具备吸热器的40吋热场装置-CN202211712142.1在审
发明人：马建强;徐志群;汪奇;马腾飞 -专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具备吸热器的40吋热场装置，包括副室盲板观察窗和炉体，所述副室盲板观察窗外部开设有两组连接孔，且连接孔贯穿副室盲板观察窗两端面，所述副室盲板观察窗左侧连接有插销安装板，且插销安装板设置有两组，所述副室盲板观察窗中部安装有玻璃观察孔，所述副室盲板观察窗右端连接有活动紧箍，所述连接孔内部设置有连接水管，所述炉体内部开设有工作仓，该具备吸热器的40吋热场装置，通过设置换热管进行水冷吸热，能够快速降低炉内温度，通过纯水在换热管内部的流动间接带走炉内的温度，可以防止热场内部石墨件发生自燃的现象，提高了石墨件的热场的整体使用寿命。
一种具备吸热 40 吋热场装置