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- [发明专利]一种新型真空镀膜装备-CN202310785425.7在审
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杨俊峰
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苏州朗缪尔科技有限公司
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2023-06-29
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2023-10-13
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C23C14/50
- 本发明公开了一种新型真空镀膜装备，包括镀膜箱，所述镀膜箱一侧为敞口设计，且镀膜箱敞口的一侧转动连接有箱门，所述镀膜箱顶壁贯穿且转动连接有主轴，所述主轴底端固定连接有转盘。本发明中，设置镀膜箱、主轴、转盘、从动轴、齿轮、内齿环、多个竖杆和挂钩，镀膜时，可以通过多个竖杆和挂钩来放置更多的工件，并且可以通过电机驱动转盘转动后，带动挂钩上的工件不断地公转和自转，使得工件的每个面都能被均匀镀膜。其次，竖杆与齿轮下表面的卡接头可实现快速拆装，当镀膜完成后可以快速将竖杆和工件整体取出，便于在镀膜箱外部冷却，使得镀膜箱可快速用于下一批工件镀膜，提高加工效率。
- 一种新型真空镀膜装备
- [发明专利]承载装置及半导体工艺设备-CN202210009296.8有效
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于斌
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-01-06
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2023-10-13
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C23C14/50
- 本发明提供一种承载装置及半导体工艺设备，其中，承载装置包括：安装座，安装座的周向侧壁与真空腔室的底壁密封连接，安装座具有朝向真空腔室内的真空环境的真空侧以及朝向真空腔室外的大气环境的大气侧，安装座具有导电部，且导电部用于与位于大气侧的电源装置电性连接；加热器，位于真空侧且可拆卸地安装在安装座上，加热器具有加热元件和第一导电配合部，加热元件与第一导电配合部电性连接，当加热器安装在安装座上时，第一导电配合部与导电部电性配合，以使加热元件与电源装置电性连接。在加热器进行更换或维修过程中，安装座和电源装置无需进行拆卸，只需要将加热器由安装座上拆卸下来或安装至安装座上即可，加热器的拆装更为便捷。
- 承载装置半导体工艺设备
- [发明专利]半导体腔室-CN202111402282.4有效
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杨依龙
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2021-11-19
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2023-10-13
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C23C14/50
- 本发明提供一种半导体腔室，半导体腔室包括腔体和设置在腔体中的第一遮挡件和可升降的基座组件，其中，第一遮挡件与腔体的内周壁固定连接，且沿腔体的内周壁的周向设置；基座组件包括基座本体、第二遮挡件和定位结构，基座本体与腔体同轴设置，用于承载晶圆；第二遮挡件沿基座本体的周向设置在基座本体上，基座本体位于上升至工艺位时，第二遮挡件与第一遮挡件部分重叠设置，且第二遮挡件的与第一遮挡件相互重叠的部分位于第一遮挡件背离基座本体的一侧；定位结构设置在基座本体与第二遮挡件之间，用于对基座本体与第二遮挡件的相对位置进行定位。本发明提供的半导体腔室能够避免遮挡晶圆，提高晶圆沉积薄膜的均匀性，从而改善芯片性能。
- 半导体
- [发明专利]半导体工艺设备及其承载装置-CN202210738846.X有效
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纪克红;李冬冬
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-06-24
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2023-10-13
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C23C14/50
- 本申请公开了一种半导体工艺设备及其承载装置，属于半导体工艺技术。该半导体工艺设备的承载装置包括：基座，包括第一表面和第二表面，第一表面用于承载晶圆，第二表面的高度低于第一表面的高度，且第二表面环绕第一表面设置；沉积环，包括形成有环形凹槽的上表面和覆盖在所述第二表面上的下表面；盖环，盖环的外环部支撑在半导体工艺设备的反应腔体的内衬上，盖环的内环部盖设沉积环的外环部，且盖环的内环部与沉积环的外环部之间相对的两个表面上设置有多个环状凸起与多个环状凹陷，以在盖环与沉积环之间的相接处与环形凹槽之间形成迷宫通道。本申请的承载装置，可在半导体工艺处理过程中，有效降低盖环与沉积环之间发生粘连现象的概率。
- 半导体工艺设备及其承载装置
- [实用新型]一种模具镀膜涂层装置-CN202322409903.2有效
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刘维强;马玉菲
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山东万容模具有限公司
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2023-09-06
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2023-10-13
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种模具镀膜涂层装置，涉及模具镀膜技术领域，包括镀膜仓，所述镀膜仓的内部底端设有夹持组件，所述夹持组件包括卡接在镀膜仓内部底端的驱动设备，所述驱动设备的外壁螺纹连接有丝杆螺母，所述活动板的顶端通过铰座铰接有三个连接杆，三个连接杆的另一端通过铰座分别铰接在三个滑块的底端，三个滑块分别滑动连接在三个滑槽内，三个滑槽滑动连接在同一个放置台的顶端，三个滑块的顶端均固定连接有卡环。本实用新型，通过设置夹持组件，在对工件进行加工时，可根据工件的型号对卡环的位置进行调整，使得卡环可对不同的工件进行夹持，从而提高了该镀膜涂层装置的灵活性。
- 一种模具镀膜涂层装置
- [实用新型]一种光学镜片镀膜装置-CN202321320869.5有效
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汤综粮;陈冬辉
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上饶市威皓光学仪器有限公司
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2023-05-29
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2023-10-13
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C23C14/50
- 本实用新型涉及镀膜机领域，且公开了一种光学镜片镀膜装置，包括镀膜机，所述镀膜机内上端固定连接有转架，所述转架的下端固定连接有托盘，所述托盘上放置有镀膜架，所述镀膜架的上端固定连接有把手组件，所述把手组件包括固定在镀膜架上端中间位置的固定座，所述固定座的上端固定连接有连接座，所述连接座内固定连接有轴承，所述轴承上固定连接有连接件，所述连接座上开设有滑槽，所述连接件位于滑槽内滑动设置；该种新型应用于光学镜片镀膜装置，通过设置把手组件，把手能够适应更多的使用者，不会因为镀膜架的半径较大而不方便搬运，通过把手能够方便使用者搬运且通过辅助件能够避免使用者的手部触碰到镀好膜的镜片上。
- 一种光学镜片镀膜装置
- [实用新型]一种自锁式晶体镀膜工具-CN202321273595.9有效
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白金宝
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成都沃达惠康科技股份有限公司
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2023-05-24
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2023-10-13
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C23C14/50
- 本实用新型涉及激光镀膜装置技术领域，尤其涉及一种自锁式晶体镀膜工具，包括筒体和夹持机构，筒体的顶部设有开口，筒体的内部设有空腔，开口与空腔相连通；夹持机构沿筒体的周向做往复直线运动，夹持机构的的一侧与筒体的侧壁相连，夹持机构位于空腔内。本申请通过夹持机构的往复直线运动对晶体进行夹持或放开，且该夹持机构位于筒体的内部空腔内，不仅能对晶体紧密固定以防止其在竖直放置时从夹持口中滑脱而摔碎，又能减小加持机构占用体积。而且，还可以根据实际需求在筒体内设置多个相互配套的开口与夹持机构，则可同时放置多个晶体，提高晶体镀膜效率。
- 一种晶体镀膜工具
- [实用新型]一种水晶灯饰用真空镀膜机-CN202321237328.6有效
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陈勇
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浙江华屹工贸有限公司
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2023-05-22
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2023-10-13
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种水晶灯饰用真空镀膜机，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体的内部固定连接有底板，底板的内部开设有对称的滑动槽，底板的上侧设置有滑动板，滑动板与底板相邻的一侧固定连接有对称的滑动块，滑动块与滑动槽滑动连接，滑动槽之间设置有驱动槽，驱动槽的内部安装有伺服电机，其中需要将灯饰品进行镀膜时，启动伺服电机，使伺服电机带动螺纹丝杆进行旋转，螺纹丝杆会带动驱动块进行移动，驱动块移动时会带动滑动板进行移动，从而能够将固定柱上的灯饰品运输到镀膜机本体内部进行镀膜处理，镀膜完成后，伺服电机反向旋转，即可将固定柱运出，从而可以取走镀膜完成后的灯饰品。
- 一种水晶灯饰真空镀膜
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