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[发明专利]MEMS探针表层绝缘涂层的制备方法-CN202111601406.1在审
发明人：殷岚勇;施元军;刘凯 -专利权人：苏州晶晟微纳半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： C09D165/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS探针表层绝缘涂层的制备方法，包括如下步骤：将MEMS探针放置在真空纳米涂层设备的沉积室；将纳米原材料放入真空纳米涂层设备的蒸发室；纳米原材料在蒸发室内蒸发为气态分子并进入裂解室；气态分子在裂解室内裂解为反应活性的单体，反应活性的单体在沉积室聚合并在MEMS探针表面形成纳米镀膜；将镀膜的MEMS探针取出并整列在排列治具上；将整列好MEMS探针的治具放置到激光加工平台，利用激光将探针针头和针尾的绝缘涂层剥离。本发明在MEMS探针的中间区域生长纳米绝缘涂层，可以有效防止相邻探针接触短路的风险；通过派瑞林母粒利用真空气相趁机制备聚对二甲苯绝缘涂层，可以耐受1000V以上的高压。
mems 探针表层绝缘涂层制备方法

[实用新型]用于合成吸收光谱聚对二甲苯封装和防护涂层制备装备-CN201922164422.3有效
发明人：吴宜勇;刘剑虹;高军虎 -专利权人：南京若虹高新材料科技有限公司
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C09D165/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于集成电路芯片、电子器件、电路板或功能材料封装的吸收光谱可调控的聚对二甲苯封装和防护涂层制备装备。该封装防护层沉积装备包括用于聚对二甲苯原料蒸发舱，两段式加热管式炉裂解段，若干用于可控光谱辅助原料蒸发裂解的辅助蒸发室，以及具有可控温度、压力和包含加入其它环境条件（紫外辐射、等离子体输入）输入的防护层沉积主舱等核心系统。
用于合成吸收光谱二甲苯封装防护涂层制备装备

[发明专利]薄的聚对二甲苯的可靠沉积-CN201680076264.2有效
发明人：戴聿昌;王玮;康冬阳 -专利权人：加州理工学院
申请日： 2016-10-21 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： C09D165/04 文献下载
摘要：描述了沉积薄的聚对二甲苯和超薄的聚对二甲苯的设备、系统和方法。在实例中，使用芯沉积室。芯沉积室包括底座和刚性的、可移除的盖，所述盖被配置成与底座配合并密封以形成芯沉积室并限定芯沉积室的内部和外部。芯沉积室还包括穿过盖的顶部的导管。导管具有将芯沉积室的内部与外部连接的管腔。管腔具有长度和横截面。横截面具有在50μm和6000μm之间的宽度。长度小于横截面宽度的140倍。芯沉积室可以被放置在外部沉积室中，并且可以在芯沉积室内实现小于1μm厚的聚对二甲苯沉积。
二甲苯可靠沉积

[发明专利]一种用于合成吸收光谱可调控的聚对二甲苯封装和防护涂层方法-CN201911238203.3在审
发明人：吴宜勇;刘剑虹;高军虎 -专利权人：南京若虹高新材料科技有限公司
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： C09D165/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于集成电路芯片、电子器件、电路板或功能材料封装的吸收光谱可调控的聚对二甲苯封装和防护涂层制备方法。制作者首先将对二甲苯二聚体粉末放入真空供料舱内，升温至120~150℃，汽化为对二甲苯二聚体气体，对二甲苯二聚体气体通过650℃裂解管裂解为活性对二甲苯聚集体气体；同时将选定具有不同发光光谱特征的不同类型蒽醌类或偶氮类或酞菁类化合物混合粉末作为新型合成光谱特征的合成前驱体，放入掺杂供料舱内，升温至150~300℃，在控制真空度为0.01~100Pa条件下，活化气体均匀吸附于表面并产生自由基聚合反应，沉积形成0.1～50微米厚度的吸收光谱可调控的聚对二甲苯基涂层，得到具有吸收光谱可调控的聚对二甲苯封装和防护层的成品。
一种用于合成吸收光谱调控二甲苯封装防护涂层方法

[发明专利]一种介电润湿复合材料的制备方法-CN201911281812.7在审
发明人：石雅琴 -专利权人：江苏海獭新材料科技有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： C09D165/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种介电润湿复合材料的制备方法，属于介电润湿材料技术领域。本发明以正硅酸乙酯作为前驱体，采用溶胶‑凝胶法在聚对二甲苯中原位制备了纳米二氧化硅微球，然后分别用端环氧基聚二甲基硅氧烷和全氟硅烷进行疏水化处理，制备出一种介电润湿复合材料；聚对二甲苯化学性质不活泼，表面涂层保形，而且是一种很好的聚合物绝缘层，二氧化硅介电常数较高，能够有效降低驱动电压，在聚对二甲苯中原位制备了纳米二氧化硅微球，使得聚对二甲苯即具有良好的疏水性能，又具有较高的介电常数；聚二甲基硅氧烷的化学状态二甲基硅油，二甲基硅油无毒无味，具有生理惰性、良好的化学稳定性，使得制备的介电润湿复合材料具有良好的疏水性和耐候性。
一种润湿复合材料制备方法

[发明专利]电子货架标签产品增加防护涂层工艺-CN201810382607.9在审
发明人：钟伟兴 -专利权人：东莞新劲电子有限公司
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： C09D165/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子货架标签产品增加防护涂层工艺，其包括以下步骤：步骤1，掩膜，将电子货架标签产品不需增加防护涂层的部位进行遮盖；步骤2，烘烤驱潮，去除电子货架标签产品上的潮气；步骤3，将电子货架标签产品装入涂覆机，投料，进行气相沉积涂覆。本发明工艺简单，能够与电子货架标签产品的表面形成厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损坏工件、有优异的电绝缘性和防护性的薄膜涂层，具有防潮、防霉、防腐、防水、防盐雾、防静电或防氧化等防护作用，延长电子货架标签产品的使用寿命。
电子货架标签防护涂层针孔致密薄膜涂层表面形成电绝缘性防护作用厚度均匀气相沉积使用寿命防护性防静电防盐雾防氧化含助剂涂覆机防潮烘烤潮气防霉去除投料涂覆掩膜遮盖防腐防水装入透明

[发明专利]一种器件的后处理方法-CN201710813865.3在审
发明人：杨兴;姚嘉林;徐若煊 -专利权人：清华大学
申请日： 2017-09-11 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： C09D165/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种器件的后处理方法，用于在器件上形成防护层，其包括步骤S10、将所述器件在真空环境下进行偶联反应，在所述器件的表面上形成偶联剂分子的自限分子层；S20、在所述器件的表面上形成聚合物涂层。本发明的后处理方法具有如下优点处理后的几乎不影响器件尺寸，能较好地保留器件原有性能，并且成本低、工艺简单、防护可靠、安全、以及具有较高的疲劳强度等。
一种器件处理方法