[发明专利]一种感光性树脂组合物及其干膜抗蚀层压体在审
申请号: | 202210541330.6 | 申请日: | 2022-05-17 |
公开(公告)号: | CN114859656A | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 詹志英;吴强;朱高华;李伟杰;宋赣军 | 申请(专利权)人: | 杭州福斯特电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/09;C08F218/00;C08F212/08;C08F220/14;C08F220/06;C08F218/08;C08F220/34 |
代理公司: | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 沈涛 |
地址: | 311300 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 感光性 树脂 组合 及其 干膜抗蚀 层压 | ||
1.一种感光性树脂组合物,其特征在于:包括碱溶性树脂、光聚合性单体和光引发剂,所述的碱溶性树脂含有由乙烯基碳酸酯Ⅰ单体形成的链段,所述的乙烯基碳酸酯Ⅰ单体为带苯环的乙烯基碳酸酯,结构式如下:
其中n为0~12。
2.根据权利要求1所述的一种感光树脂组合物,其特征在于:所述的乙烯基碳酸酯I选自乙烯基碳酸苯酯、乙烯基碳酸苄酯、乙烯基碳酸乙基苯酯、乙烯基碳酸丁基苯酯、乙烯基碳酸十一烷基苯酯中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的一种感光树脂组合物,其特征在于:所述的碱溶性树脂还含有由(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)苯乙烯单体中的一种或多种形成的链段。
4.根据权利要求3所述的一种感光树脂组合物,其特征在于:所述的(甲基)丙烯酸烷基酯选自C1~C12的(甲基)丙烯酸烷基酯中的一种或多种;所述的(甲基)苯乙烯选自苯乙烯、α-甲基苯乙烯的一种或两种。
5.根据权利要求3所述的一种感光树脂组合物,其特征在于:所述的碱溶性树脂包含由以下质量份的单体形成的链段:
重均分子量在20000~80000,酸值在130~228mgKOH/g,多分散指数1-3。
6.根据权利要求1所述的一种感光树脂组合物,其特征在于:所述的碱溶性树脂还包括由乙烯基酯Ⅱ和/或乙烯基氨基甲酸酯Ⅲ单体形成的链段,所述的乙烯基酯Ⅱ的结构式如下:
其中,R1表示碳原子数在6~20的具有碳环的碳链,所述碳环饱和或不饱和,所述的碳链饱和;
所述的乙烯基氨基甲酸酯Ⅲ的结构式如下:
其中,R3表示碳原子数在6~20的带碳环的碳链,所述碳环饱和或不饱和,所述碳链饱和;R2表示氢或者甲基。
7.根据权利要求1所述的一种感光树脂组合物,其特征在于:所述感光树脂组合物包括碱溶性树脂45~65重量份、光聚合性单体30~50重量份、光引发剂0.1~10重量份。
8.根据权利要求1所述的一种感光树脂组合物,其特征在于:所述的光聚合性单体选自季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二缩三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)双酚A二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇(丙二醇)二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)新戊二醇二丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、壬基苯酚丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)壬基苯酚丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯中的一种或几种。
9.根据权利要求1所述的一种感光树脂组合物,其特征在于:所述的光引发剂选自2,4,5-三芳基咪唑二聚体或其衍生物、N,N’-四甲基-4,4’-二氨基二苯甲酮、9-苯基吖啶、N-苯基甘氨酸、香豆素系化合物、硫杂蒽酮系类化合物、蒽醌或其衍生物中的一种或几种。
10.一种干膜抗蚀层压体,包括支撑层和感光层,其特征在于:所述的感光层由权利要求1~9任一项所述的感光树脂组合物形成,所述支撑层为PET层、PP层中的一种或多种。
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