[发明专利]蚀刻废液中铜回收及再生方法在审
申请号: | 202110875914.2 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113584487A | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 李豪;姜伟 | 申请(专利权)人: | 宏俐(汕头)电子科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25C1/12;C25C7/06 |
代理公司: | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人: | 郭大为 |
地址: | 515000 广东省汕头市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 废液 回收 再生 方法 | ||
1.一种蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,包括以下步骤:
对酸性蚀刻废液及碱性蚀刻废液进行分类收集,分别对所述酸性蚀刻废液及所述碱性蚀刻废液进行预处理操作,以除去所述酸性蚀刻废液及所述碱性蚀刻废液中的颗粒杂质及油脂;
将预处理后的所述酸性蚀刻废液加入第一电解槽中,并通入直流电,进行电解操作,在第一阴极板的表面沉积形成第一铜层,电解后,得到第一电解后液,并将第一铜层剥离取下,得到第一铜片;
将预处理后的所述碱性蚀刻废液加入第二电解槽中,并通入直流电,进行电解操作,在第二阴极板的表面沉积形成第二铜层,电解后,得到第二电解后液,并将第二铜层剥离取下,得到第二铜片;
向所述第一电解后液中加入第一补充剂,得到再生酸性蚀刻液;
向所述第二电解后液中加入第二补充剂,得到再生碱性蚀刻液。
2.根据权利要求1所述的蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,在所述分别对所述酸性蚀刻废液及所述碱性蚀刻废液进行预处理操作的操作中,先分别向所述酸性蚀刻废液及所述碱性蚀刻废液的液面处放入吸油盒,以除去油脂,所述吸油盒设置有容纳腔,所述容纳腔中设置有吸油层,所述吸油盒的侧壁开设有多个滤油微孔,各所述滤油微孔分别与所述容纳腔连通,再分别对所述酸性蚀刻废液及所述碱性蚀刻废液进行过滤操作,以除去颗粒杂质。
3.根据权利要求1所述的蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,在所述将预处理后的所述酸性蚀刻废液加入第一电解槽中,并通入直流电,进行电解操作的操作中,还对电解操作过程中产生的氯气进行收集,并将所述氯气加入蚀刻生产线的酸性蚀刻液中。
4.根据权利要求1所述的蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,在所述将预处理后的所述碱性蚀刻废液加入第二电解槽中,并通入直流电,进行电解操作的操作中,还对电解操作过程中产生的氨气进行收集,并将所述氨气通入水中,得到氨气吸收液,将所述氨气吸收液加入所述第二电解后液中。
5.根据权利要求1所述的蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,在所述将预处理后的所述酸性蚀刻废液加入第一电解槽中,并通入直流电,进行电解操作的操作中,控制电解电流密度为180A/m2~195A/m2,电解温度为50℃~58℃。
6.根据权利要求1所述的蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,在所述将预处理后的所述碱性蚀刻废液加入第二电解槽中,并通入直流电,进行电解操作的操作中,控制电流密度为180A/m2~195A/m2,电解温度为48℃~55℃。
7.根据权利要求1-6任一项中所述的蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,所述第一补充剂包括盐酸及氯酸钠。
8.根据权利要求1-6任一项中所述的蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,所述第二补充剂包括氨水及氯化铵。
9.根据权利要求2所述的蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,所述吸油层为木棉纤维吸油层。
10.根据权利要求2所述的蚀刻废液中铜回收及再生方法,其特征在于,所述吸油层设置于所述容纳腔的内侧壁上。
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