[发明专利]一种可重构积分减法电路实现的射频电源输出控制装置

说明书

本发明涉及一种可重构积分减法电路实现的射频电源输出控制装置，包括：射频信号放大模块；第一可调电源模块，连接至射频信号放大模块的输入端；减法器‑积分器主体模块和用于控制减法器‑积分器主体模块工作于减法器状态或积分器状态的切换控制模块；切换控制模块包括继电器，减法器‑积分器主体模块包括运算放大器、切换电阻和积分器电容，通过继电器控制切换电阻接入，运算放大器工作于减法器状态，反之运算放大器工作于积分器状态。与现有技术相比，本发明通过继电器实现切换电阻的接入或断开，从而切换运算放大器在积分器状态和减法器状态互相切换，以此保证运算放大器输出信号满足需求，控制输出信号上升沿时间，保证信号输出曲线平滑上升。

技术领域

本发明涉及射频电源，尤其是涉及一种可重构积分减法电路实现的射频电源输出控制装置。

背景技术

射频电源是一种特殊电源，广泛应用于等离子行业。目前市场上的射频电源大多数存在工作寿命短，需要频繁修理更换器件，其原因在于射频电源开机时，存在过冲现象，瞬间功率极高，同时匹配器未能及时工作，导致瞬间反射功率过大，经过多次长时间运行后，难免造成射频源损坏。过冲现象本质是由于内部控制信号处理不当，在开机时有瞬间大电压，目前该问题是射频电源行业急需解决的。

发明内容

本发明的目的就是为了提供一种可重构积分减法电路实现的射频电源输出控制装置，通过继电器实现切换电阻的接入或断开，从而切换运算放大器在积分器状态和减法器状态互相切换，以此保证运算放大器输出信号满足需求，控制输出信号上升沿时间，保证信号输出曲线平滑上升。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种可重构积分减法电路实现的射频电源输出控制装置，包括：

射频信号放大模块；

第一可调电源模块，连接至射频信号放大模块的输入端；

减法器-积分器主体模块和用于控制减法器-积分器主体模块工作于减法器状态或积分器状态的切换控制模块；

所述切换控制模块包括继电器，所述减法器-积分器主体模块包括运算放大器、切换电阻和积分器电容，所述继电器的线圈连接至射频信号放大模块，第一组触点的公共端连接至运算放大器的正相输入端，常闭端接地，常开端连接至第三电源的正极，第二组触点的公共端通过切换电阻连接至运算放大器的输出端，常闭端连接至运算放大器的反相输入端，并通过积分器电容连接至运算放大器的输出端，当常闭端导通时，切换电阻接入，运算放大器工作于减法器状态，反之运算放大器工作于积分器状态。

所述切换控制模块还包括第二三极管和第三三极管，所述第二三极管的发射极连接至第四电源的正极，基极连接至射频信号放大模块的输出端，集电极连接至第三三极管的基极，所述第三三极管的发射极接地，集电极连接至继电器的线圈的一端，所述继电器的线圈的另一端连接至第五电源的正极。

所述切换控制模块还包括指示灯，所述指示灯的正极连接至第五电源的正极，负极连接至第三三极管的集电极。

所述切换控制模块还包括第十三二极管，所述第十三二极管的正极连接至第三三极管的集电极，负极连接至第五电源的正极。

所述射频信号放大模块包括第一三极管，所述第一三极管的基极连接至运算放大器的输出端，集电极连接至第一可调电源模块的输出端。

所述第一三极管的基极和运算放大器的输出端之间设有保护电阻。

所述装置还包括反射过大抑制模块和第二可调电源模块，所述第二可调电源模块连接至反射过大抑制模块，所述反射过大抑制模块连接至运算放大器。

所述指示灯为发光二极管。

所述第四电源的电压为5V。

所述第三电源的电压小于4V。