[发明专利]基于半导体附属设备的信息采集监控系统

说明书

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，包括服务器、警报装置和多个附属设备，每个附属设备均包括控制器，各控制器均与服务器连接，服务器与警报装置连接，控制器用于采集附属设备的信息，服务器用于储存并处理信息，警报装置根据服务器发送的信息进行警报。控制器通过网络将采集到的信息数据传输到服务器中进行数据存储，警报装置通过与服务器通讯，服务器将报警数据发送给警报装置，警报装置发出报警，以此实现对附属设备的实时数据监控、报警事件监控和处理、历史数据查询。针对设备报警事件，可以通知到工作人员，使工作人员第一时间了解到设备发生故障，及时处理问题设备，快速复机保证生产。

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统。

背景技术

在半导体制造过程中会用到许多的单机附属设备，例如半导体废气处理装置、温控装置等，这类设备用量大，大部分都是本地单机控制，如果出现故障会影响半导体生产线的正常生产，所以需要大量的售后工程师进行日常巡视检查，确保设备在正常运行，对设备数据进行记录与分析，研究数据曲线，判断设备是否有异常的风险。由于附属设备数量众多，需要投入更多的人力去完成这项工作，大大增加了人工成本，而且日常巡检，只能每个设备记录一组数据，采样数量小。设备发生报警时，只能售后工程师在现场时才可以发现，发现问题的时效性差，同时影响了复机的反应速度。

发明内容

本发明提供一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，用以解决现有技术中对于附属设备的检查报警是通过人力完成，人工成本高而且发现问题时效性差的缺陷，实现对附属设备的实时数据监控、报警事件监控和处理、历史数据查询。针对设备报警事件，可以通知到工作人员，使工作人员第一时间了解到设备发生故障，及时处理问题设备，快速复机保证生产。

本发明提供一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，包括服务器、警报装置和多个附属设备，每个所述附属设备均包括控制器，各所述控制器均与所述服务器连接，所述服务器与所述警报装置连接，所述控制器用于采集所述附属设备的信息，所述服务器用于储存并处理所述信息，所述警报装置根据所述服务器发送的信息进行警报。

根据本发明提供的一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，所述控制器与所述服务器通过交换机连接。

根据本发明提供的一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，所述服务器通过OPC软件与每个所述控制器应用TCP/IP协议通讯进行信息交换。

根据本发明提供的一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，所述警报装置通过Modbus-RTU转TCP/IP的网关与所述服务器进行通讯。

根据本发明提供的一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，所述警报装置内设置终端信息发送元件，用于发送警报信息至终端设备。

根据本发明提供的一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，还包括工作站，所述工作站与所述服务器连接，用于获取服务器内存储的所述信息。

根据本发明提供的一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，所述服务器为OPC服务器。

根据本发明提供的一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，所述控制器为PLC。

根据本发明提供的一种基于半导体附属设备的信息采集监控系统，所述附属设备内设有传感器和阀体，所述控制器采集所述传感器的信息控制所述阀体。