[发明专利]用于硅基光波导放大器和激光器的增益材料及其制备方法有效
| 申请号： | 202110291566.4 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113113844B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王兴军;王博;周佩奇 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01S5/30 | 分类号： | H01S5/30;H01S3/16 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 钱云 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 硅基光 波导 放大器 激光器 增益 材料 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于硅基光波导放大器和激光器的增益材料，其特征在于，为氧化铋和铒镱硅酸盐的混合材料，其制备方法包括：
选用二氧化硅作为衬底材料，通过磁控溅射的方式，在衬底上交替沉积氧化铋、铒镱硅酸盐前驱体，沉积后进行退火，所述退火的环境为在氧气或空气中，时间为30秒，
所述退火的温度为600～＜800℃，所述氧化铋与所述铒镱硅酸盐的摩尔比为0.6～1:1，
或，所述退火的温度为800～1000℃，所述氧化铋与所述铒镱硅酸盐的摩尔比为0.01～0.4:1。
2.根据权利要求1所述的用于硅基光波导放大器和激光器的增益材料，其特征在于，所述铒镱硅酸盐前驱体为摩尔比为1:5:20的Er2O3、Yb2O3和SiO2。
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