[发明专利]一种晶圆光刻机

说明书

本发明公开了一种晶圆光刻机，其结构包括机体、调节装置、显示屏、通风机、指示灯、工作腔、散热口，本发明在进行使用时，通过平滑片与羊角斜块配合将晶圆芯片卡持在两块卡持凹盘之间，保证晶圆芯片可以稳定定位在两块卡持凹盘之间，使得晶圆芯片与载台之间存在间隙，便于工作人员对加工后的晶圆芯片进行拿取，通过转轮带动卡接头对晶圆芯片进行顺时针翻转度，翻转后通过接触弧片会直接与摩擦板相接触产生较大的摩擦阻力，保证翻转后晶圆芯片的平稳性，使得工作腔内部的光刻元件可以精准对晶圆芯片的另一面进行光刻加工处理，提高晶圆芯片的光刻效率。

技术领域

本发明涉及单晶硅加工领域，具体涉及到一种晶圆光刻机。

背景技术

随着科技的发展，光刻技术的发展极为迅速，光刻技术对于微电子产业的发展十分重要，光刻技术是利用类似照相制版的原理，在半导体晶片表面的掩膜层上面刻蚀精细图形的表面加工技术，再经过蚀刻工艺去除无用部分，通过翻转元件对晶圆芯片进行转动调整，便于双面光刻，在进行光刻处理时，需要改进的地方：

在对晶圆进行光刻处理时，在光照作用下，借助光致抗蚀剂将掩膜版上的图形转移到基片上，在处理过程中，都是直接将晶圆芯片平放在载台上，由于晶圆芯片外表呈圆盘状与光盘结构相似，使得晶圆芯片会平贴在载台上，不便于工作人员拿取，且在对晶圆芯片双面进行加工过程中，需要工作人员对其进行翻面，使得晶圆芯片的光刻位置不准确，降低晶圆芯片的光刻效率。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆光刻机，其结构包括机体、调节装置、显示屏、通风机、指示灯、工作腔、散热口，所述机体底部设有散热口，所述机体与工作腔连为一体，所述工作腔内部安装有调节装置，所述工作腔与显示屏通过电线连接，所述显示屏与指示灯相接通，所述工作腔上设有与之相通的通风机。

作为发明内容的进一步优化，所述调节装置包括有限位元件、转杆、翻转组件、卡持凹盘、牵拉条，所述限位元件设有两个，两个限位元件对称紧扣在两个卡持凹盘上，两个所述卡持凹盘通过牵拉条相连接，所述卡持凹盘远离牵拉条的一端与转杆固定连接，所述转杆与翻转组件活动卡合，所述翻转组件安装在工作腔内部。

作为发明内容的进一步优化，所述转杆包括有杆体、摩擦板、卡接头，所述杆体上设有与之相焊接的卡接头，所述卡接头与摩擦板相套合，所述杆体平行插嵌在卡持凹盘上，所述卡接头与翻转组件活动卡合。

作为发明内容的进一步优化，所述翻转组件包括有本体、转轮、抵制件、支杆、活动连板，所述本体中间位置连接有支杆，所述本体上设有与之相连接的活动连板，所述活动连板两端均设有转轮，所述活动连板朝向转轮的一端中间位置上设有与之相接的抵制件，所述转轮与转杆活动卡合，所述本体安装在工作腔内部。

作为发明内容的进一步优化，所述抵制件包括有对抵杆、弹拉条、三角撑板、接触弧片，所述对抵杆设有两根，两根对抵杆对称连接在三角撑板两侧且两者相扣接，所述三角撑板远离对抵杆的一端设有与之相贴合的接触弧片，两根所述对抵杆之间连接有弹拉条，所述对抵杆连接在活动连板内部。

作为发明内容的进一步优化，所述对抵杆包括有推块、衔接条、弧滑块、引导弯板、弹韧板，所述推块设有两块，两块推块通过衔接条相连接，两块所述推块远离衔接条的一端贴合在引导弯板内壁，所述引导弯板一端与弧滑块固定连接，另一端与弹韧板相扣接，所述弹韧板远离引导弯板的一端与三角撑板相扣接，所述引导弯板与弹拉条相连接，所述引导弯板连接在活动连板内部。

作为发明内容的进一步优化，所述限位元件包括有凹接槽、接板、贴块，所述凹接槽两侧均设有与之相连接的贴块，所述贴块固定连接在接板上，所述接板紧扣在卡持凹盘上。