[发明专利]一种晶圆光刻机

权利要求书

1.一种晶圆光刻机，其结构包括机体(1)、调节装置(2)、显示屏(3)、通风机(4)、指示灯(5)、工作腔(6)、散热口(7)，其特征在于：

所述机体(1)底部设有散热口(7)，所述机体(1)与工作腔(6)连为一体，所述工作腔(6)内部安装有调节装置(2)，所述工作腔(6)与显示屏(3)、指示灯(5)相通电，所述工作腔(6)上设有与之相通的通风机(4)；

所述调节装置(2)包括有限位元件(21)、转杆(22)、翻转组件(23)、卡持凹盘(24)、牵拉条(25)，所述限位元件(21)紧扣在卡持凹盘(24)上，所述卡持凹盘(24)与牵拉条(25)相连接，所述卡持凹盘(24)与转杆(22)固定连接，所述转杆(22)与翻转组件(23)活动卡合，所述翻转组件(23)安装在工作腔(6)内部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述转杆(22)包括有杆体(221)、摩擦板(222)、卡接头(223)，所述杆体(221)上设有卡接头(223)，所述卡接头(223)与摩擦板(222)相套合，所述杆体(221)插嵌在卡持凹盘(24)上，所述卡接头(223)与翻转组件(23)活动卡合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述翻转组件(23)包括有本体(231)、转轮(232)、抵制件(233)、支杆(234)、活动连板(235)，所述本体(231)连接有支杆(234)，所述本体(231)上安装有活动连板(235)，所述活动连板(235)两端均设有转轮(232)，所述活动连板(235)上设有抵制件(233)，所述转轮(232)与转杆(22)活动卡合，所述本体(231)安装在工作腔(6)内部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述抵制件(233)包括有对抵杆(331)、弹拉条(332)、三角撑板(333)、接触弧片(334)，所述对抵杆(331)与三角撑板(333)相扣接，所述三角撑板(333)与接触弧片(334)相贴合，所述对抵杆(331)与弹拉条(332)连接，所述对抵杆(331)连接在活动连板(235)内部。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述对抵杆(331)包括有推块(T1)、衔接条(T2)、弧滑块(T3)、引导弯板(T4)、弹韧板(T5)，所述推块(T1)与衔接条(T2)相连接，所述推块(T1)贴合在引导弯板(T4)上，所述引导弯板(T4)与弧滑块(T3)、弹韧板(T5)相接，所述弹韧板(T5)与三角撑板(333)相扣接，所述引导弯板(T4)与弹拉条(332)相连，所述引导弯板(T4)连接在活动连板(235)内部。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述限位元件(21)包括有凹接槽(211)、接板(212)、贴块(213)，所述凹接槽(211)两侧均设有贴块(213)，所述贴块(213)固定连接在接板(212)上，所述接板(212)紧扣在卡持凹盘(24)上。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述凹接槽(211)包括有气垫(111)、软板(112)、三角连块(113)、平滑片(114)、防护件(115)，所述气垫(111)连接在三角连块(113)上，所述三角连块(113)与软板(112)相贴合，所述三角连块(113)上安装有防护件(115)，所述三角连块(113)通过气垫(111)与平滑片(114)相连接，所述气垫(111)与贴块(213)相接。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆光刻机，其特征在于：所述防护件(115)包括有弹簧(U1)、形变条(U2)、羊角斜块(U3)，所述弹簧(U1)与形变条(U2)相接触，弹簧(U1)与三角连块(113)相连接，所述形变条(U2)与羊角斜块(U3)相扣合。