[发明专利]基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法

说明书

本发明公开了一种基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法，系统包括MAU室外新风湿度处理单元、DCC室内回风温度处理单元以及中控单元，控制系统通过设置不同的传感器和调节阀进行信号实时采集和控制，MAU空调箱以室内需求的温度、相对湿度计算得出的露点温度为目标值对室外新风参数进行精准控制，进而与经过DCC处理的回风进行混合，从而达到洁净室要求的温湿度指标；系统和方法具有较高的控制精度和节能性、控制逻辑清晰、工程项目的实用性强，能够很好的解决半导体洁净室经常出现的控制精度不够而产生的冷热抵消问题。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术，尤其涉及一种基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法。

背景技术

半导体技术产品生产工序困难、复杂，并且其工艺生产设备先进、昂贵，对于其制造环境的参数，诸如、温度、相对湿度、压力、洁净度、气流流型等参数的要求控制在某个恒定的范围内，上述参数的稳定则是生产设备正常运转、高效率、高质量半导体产品持续运营的成功保障。

在上述参数控制中温度、相对湿度参数的控制尤为困难，通常洁净室要求温度控制在23℃、相对湿度45％，并保证一定的控制精度，但实际上由于温度、相对湿度之间存在一定的耦合现象，即在绝对含湿量不变的情况下，温度升高、相对湿度减少，而温度降低、相对湿度增加；基于此，在实施例中，采用以洁净室要求的温度、相对湿度计算出的露点温度为目标控制值，进而通过DCC干盘管实现温度的控制，避免由于两者耦合、过程精度控制不够严格带来处理过程中冷热量相互抵消的现象，造成能源的极大浪费。因此，亟需一种适用于半导体洁净室精确易控的恒温恒湿系统义。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法，其能解决上述问题。

一种基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统，控制系统包括MAU室外新风湿度处理单元、DCC室内回风温度处理单元以及中控单元，所述MAU室外新风湿度处理单元和DCC室内回风温度处理单元与所述中控单元双向电讯连接，其中MAU室外新风湿度处理单元包括依次设置的初效过滤段、前中效过滤段、预热段、第一表冷段、加湿段、第二表冷段、再热段、风机段、后中效过滤段和高效过滤段，并在所述MAU室外新风湿度处理单元上设置焓值传感器H、温度传感器T、压差开关P和电动调节水阀V；DCC室内回风温度处理单元包括DCC干盘管和电动调节水阀V；中控单元通过信号控制线与压差开关P、温湿度传感器T、焓值传感器H、电动调节水阀V通过信号控制线连接，并根据外接环境调节控制以向洁净室输送符合温湿度需求空气。

优选的，在MAU室外新风湿度处理单元的第一表冷段和加湿段之间设置所述焓值传感器H。

优选的，在MAU室外新风湿度处理单元的第一表冷段和高效过滤段上设置温湿度传感器T。

优选的，在MAU室外新风湿度处理单元的初效过滤段和前中效过滤段之间、风机段和后中效过滤段之间、以及后中效过滤段和高效过滤段之间设置压差开关P。

压差开关P具有现场检测和远传功能，实现对初中、高效过滤器的压差检测，为其更换提供基础数据参考。

优选的，在MAU室外新风湿度处理单元的预热段上设置第一电动调节水阀V1，在第一表冷段上设置第二电动调节水阀V2，在再热段上设置第三电动调节水阀V3，在第二表冷段上设置第四电动调节水阀V4。

优选的，各电动调节水阀V采用具有线性调节特性的座阀调节阀。所述座阀调节阀具有线性调节特性、良好的调节能力和调节精度。

优选的，所述加湿段采用喷淋加湿方式实现，喷淋加湿主机处于常开状态，在夏季及过渡季洗涤空气，在冬季喷温水且等焓加湿或增焓加湿。

采用上述恒温恒湿控制系统的控制方法，方法包括以下内容。