[发明专利]一种薄膜机械分离装置

权利要求书

1.一种薄膜机械分离装置，其特征在于，用于在薄膜剥离热处理过程中，在离子注入层内气泡数量达到预设数量时，剥离薄膜基片；

所述装置包括：工作面(1)、直线拉伸组件(2)、与所述直线拉伸组件(2)连接的活动块(3)以及烘干箱体(4)，所述工作面(1)、直线拉伸组件(2)和所述活动块(3)均位于所述烘干箱体(4)内；

所述直线拉伸组件(2)带动所述活动块(3)在垂直于所述工作面(1)方向直线运动；

所述活动块(3)的底端安装有第一吸附件(31)；

所述工作面(1)上安装有第二吸附件(11)，所述第二吸附件(11)与所述第一吸附件(31)相对设置，所述第二吸附件(11)与所述第一吸附件(31)的吸附方向相反。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述活动块(3)包括与所述直线拉伸组件(2)长度方向垂直的第一连接块(32)和与所述第一连接块(32)垂直连接的第二连接块(33)；

所述第一吸附件(31)安装于所述第二连接块(33)的底端，所述第一吸附件(31)的吸附方向与所述直线拉伸组件(2)的运动方向平行。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第二连接块(33)的内部为空腔结构，所述第二连接块(33)上还安装有旋转组件，所述旋转组件位于所述第二连接块(33)的腔体内，所述旋转组件与所述第一吸附件(31)固定连接，所述旋转组件可带动所述第一吸附件(31)以所述第一吸附件(31)的中心轴为转动轴转动。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述旋转组件包括旋转轴(331)、轴承(332)、第一联轴器(333)；

所述第一联轴器(333)的一端与所述旋转轴(331)第一连接端连接，所述第一联轴器(333)的另一端与旋转伺服电机(334)的电机轴连接，使所述旋转轴(331)的转动中心与所述旋转伺服电机(334)的电机轴的转动中心在同一条直线上；

所述轴承(332)套接于所述旋转轴(331)外侧；

所述旋转轴(331)第二连接端与第一吸附件(31)固定连接。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第二连接块(33)的腔体内设有轴承座(335)，所述轴承座(335)环向设于所述旋转轴(331)的外侧；

所述轴承(332)置于所述轴承座(335)内。

6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述直线拉伸组件(2)包括固定块(21)，所述固定块(21)的其中一端与所述工作面(1)固定连接；

所述固定块(21)内部为空腔结构，所述固定块(21)的腔体内设有拉伸机构；

所述第一连接块(32)与所述拉伸机构连接。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述拉伸机构包括滚珠丝杠(211)、第二轴联器(212)、固定螺母(213)和与所述滚珠丝杠(211)配合连接的丝杠螺母(214)；

所述第二轴联器(212)的一端与所述滚珠丝杠(211)连接，所述第二轴联器(212)的另一端与直线行走伺服电机(215)的电机轴连接；

所述固定螺母(213)套接于所述滚珠丝杠(211)外侧，并与所述固定块(21)固定连接；

所述第一连接块(32)与所述丝杠螺母(214)固定连接，所述丝杠螺母(214)带动所述第一连接块(32)在垂直于所述工作面(1)方向直线运动。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一吸附件(31)和所述第二吸附件(11)均采用抽真空的方式；其中，所述第一吸附件(31)包括第一真空吸盘和与所述第一真空吸盘配合的抽真空装置；所述第二吸附件(11)包括第二真空吸盘和与所述第二真空吸盘配合的抽真空装置。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述第一真空吸盘包括多个第一子真空吸盘(311)，所述多个第一子真空吸盘(311)呈阵列排布或呈同心环状排布，所述第二真空吸盘包括多个第二子真空吸盘，所述第二子真空吸盘与所述第一子真空吸盘(311)对应排布。