[其他]压电致动器

说明书

本实用新型的压电致动器具备：层叠体，包含层叠的多个压电陶瓷层和多个平面电极；低电位用外部电极，设置在上述层叠体的一个端面上；以及高电位用外部电极，设置在上述层叠体的另一个端面上。上述平面电极包含：低电位用平面电极，与上述低电位用外部电极电连接；以及高电位用平面电极，与上述高电位用外部电极电连接，上述低电位用平面电极和上述高电位用平面电极交替地位于上述层叠方向上。在上述层叠体的一个主面中，位于最外侧的平面电极为低电位用平面电极，该低电位用平面电极的内侧与活性区域的极化的“‑”侧相接，该低电位用平面电极的外侧露出在外部，在上述层叠体的另一个主面中，高电位用平面电极不露出在外部。

技术领域

本实用新型涉及压电致动器。

背景技术

近年来，即使通过小的电压也能够获取大的位移量的压电致动器等压电陶瓷电子部件的需求正在增加。

这种压电陶瓷电子部件一般通过如下方式进行制造，即，将成为压电陶瓷层的陶瓷生片和成为内部电极的导电层交替地层叠，并进行共同烧成。

例如，在专利文献1公开了一种制造压电致动器的方法，其中，使用了锆钛酸铅(PZT)类的压电陶瓷材料，并使用Ag-Pd作为内部电极的材料。

近年来，出于环境方面的考虑等，代替以PZT为代表的铅类的压电陶瓷材料，正在进行不含有铅的非铅类的压电陶瓷材料的开发。特别是，在钙钛矿构造(通式为ABO₃)的A位配置K、Na等碱金属元素作为主成分并在B位配置Nb作为主成分的碱金属铌酸盐化合物类的压电陶瓷材料，因可得到比较大的压电常数而备受关注。在使用碱金属铌酸盐化合物类的压电陶瓷材料的情况下，作为内部电极的材料，优选使用价格低且能够比较容易地得到的Ni。

例如，在专利文献2公开了以如下方式制造压电致动器的方法，即，将交替地层叠了以具有特定的组成的碱金属铌酸盐化合物为主成分的陶瓷生片和以Ni为主成分的导电层的层叠体在还原环境下进行烧成，从而制作压电陶瓷坯体，在该压电陶瓷坯体的两个端部形成外部电极，然后进行极化处理。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-230463号公报

专利文献2：日本专利第5561483号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

在像专利文献1记载的那样使用PZT类的压电陶瓷材料制作压电致动器的情况下，无法与Ni进行共同烧结。因此，无法使电极材料贱金属化，变得难以降低成本。

另一方面，在通过专利文献2记载的方法制作压电致动器的情况下，压电致动器的初始特性和成品率没有问题。但是，已知有如下的问题，即，在具有在还原环境下与Ni进行共同烧结的层叠构造的电子部件中，难以保证充分的可靠性。在此，所谓的可靠性，意味着从对电子部件施加电压起直到由于绝缘击穿而造成故障为止的时间。因此，除了解决压电致动器特有的“提高位移特性”这样的课题以外，还要解决具有在还原环境下与 Ni进行共同烧结的层叠构造的电子部件特有的“抑制绝缘劣化”这样的课题，为此，可以说尚有改善的余地。

本实用新型是为了解决上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种位移特性高且抑制了绝缘劣化的压电致动器。本实用新型的目的还在于，提供一种上述压电致动器的驱动方法。

用于解决课题的技术方案