[其他]压电致动器有效
申请号: | 201990000515.8 | 申请日: | 2019-02-28 |
公开(公告)号: | CN212725369U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 山川庆之;后藤征士朗;川田慎一郎;林繁利;藤田章雄;中村悠佑 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L41/297 | 分类号: | H01L41/297;H01L41/083;H01L41/09;H01L41/187;H01L41/293 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朴云龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 致动器 | ||
1.一种压电致动器,具备:
层叠体,包含层叠的多个压电陶瓷层和多个平面电极,并具有在层叠方向上相对的一对主面、在与所述层叠方向正交的长度方向上相对的一对端面、在与所述层叠方向以及所述长度方向的双方正交的宽度方向上相对的一对侧面;
低电位用外部电极,设置在所述层叠体的一个端面上,用于施加第1电位;以及
高电位用外部电极,设置在所述层叠体的另一个端面上,用于施加比所述第1电位高的第2电位,
所述压电致动器的特征在于,
所述第1电位以及所述第2电位的极性相同或一者为地,
所述平面电极包含:
低电位用平面电极,与所述低电位用外部电极电连接;以及
高电位用平面电极,与所述高电位用外部电极电连接,
所述低电位用平面电极和所述高电位用平面电极交替地位于所述层叠方向上,其中,位于所述层叠体的内部的平面电极以Ni为主成分,
所述压电陶瓷层以具有钙钛矿构造的碱金属铌酸盐化合物或钛酸钡化合物为主成分,且在所述低电位用平面电极和所述高电位用平面电极对置的区域中具有从所述低电位用平面电极侧朝向所述高电位用平面电极侧极化的活性区域,
在所述层叠体的一个主面中,位于最外侧的平面电极为低电位用平面电极,该低电位用平面电极的内侧与所述活性区域的极化的“-”侧相接,该低电位用平面电极的外侧露出在外部,
在所述层叠体的另一个主面中,高电位用平面电极不露出在外部。
2.根据权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,
在所述层叠体的另一个主面中,位于最外侧的平面电极为低电位用平面电极,该低电位用平面电极的内侧与所述活性区域的极化的“-”侧相接,该低电位用平面电极的外侧露出在外部。
3.根据权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,
在所述层叠体的另一个主面中,位于最外侧的平面电极为低电位用平面电极,该低电位用平面电极的内侧与所述活性区域的极化的“-”侧相接,该低电位用平面电极的外侧与所述压电陶瓷层相接。
4.根据权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,
在所述层叠体的另一个主面中,位于最外侧的平面电极为高电位用平面电极,该高电位用平面电极的内侧与所述活性区域的极化的“+”侧相接,该高电位用平面电极的外侧与所述压电陶瓷层相接。
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