[发明专利]废气的等离子体除害方法及废气的等离子体除害装置有效
| 申请号： | 201980067405.8 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN112839730B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 池奥哲也 | 申请（专利权）人： | 北京康肯环保设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01J19/08;H01L21/205;H05H1/26;B01D53/70 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 北京市朝阳区东四环*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 废气 等离子体 除害 方法 装置 | ||
1.一种废气的等离子体除害装置，其特征在于，
所述废气的等离子体除害装置由塔本体、多个等离子体射流炬和废气供给部构成，
所述塔本体在内部具有难分解性半导体废气的反应空间；
所述多个等离子体射流炬设置在所述塔本体的顶棚部；
所述废气供给部在所述多个等离子体射流炬之间设置于所述塔本体的顶棚部，
所述多个等离子体射流炬分别被配置成，从所述等离子体射流炬分别产生的等离子体射流在设置于所述废气供给部的正下方的所述反应空间内的所述塔本体的中心轴上的点交叉，
所述废气供给部的喷出口被配置成，朝向所述点供给废气。
2.一种废气的等离子体除害装置，其特征在于，
所述废气的等离子体除害装置由塔本体、多个等离子体射流炬和废气供给部构成，
所述塔本体在内部具有难分解性半导体废气的反应空间；
所述多个等离子体射流炬设置在所述塔本体的顶棚部；
所述废气供给部在所述多个等离子体射流炬之间设置于所述塔本体的顶棚部，
所述多个等离子体射流炬分别被配置成，从所述等离子体射流炬分别产生的等离子体射流朝向设置在所述反应空间内的所述塔本体的中心轴上的某个点的周围的多个点相互保持扭转的位置关系，所述反应空间设置于所述废气供给部的正下方，
所述废气供给部的喷出口被配置成，朝向形成于所述多个点之间的高温区域供给废气，
从多个等离子体射流炬生成的等离子体射流的高温区域共有所述多个点内的所述某个点。
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