[实用新型]一种电场控制图形化蒸镀装置

说明书

本实用新型公开了一种电场控制图形化蒸镀装置，包括：蒸发源、具有图形化电极的基板、电源系统；其中：蒸发源包括蒸发源基板、加热电源、和依次设于蒸发源基板上的加热层和蒸发料层，所述的加热层上得第一电极和第二电极均与所述加热电源相连形成回路；所述的具有图形化电极的基板包括基底、及设于所述基底下表面形成图形化的多个电极组，各组电极组通过电源分配器与所述高压直流电源的一极相连，所述高压直流电源的另一极与所述加热层相连，所述电源分配器用于控制其中一组或多组电极组与所述高压直流电源连通，从而实现选择性蒸镀。本实用新型的蒸镀装置可以实现图形化蒸镀，且不需要掩膜板，不需要精确对准，材料利用率高。

技术领域

本实用新型属于器件制备技术领域，涉及一种电场控制图形化蒸镀装置及蒸镀方法，可以将有机或无机的蒸发料进行蒸发实现图形化蒸镀，可用于有机发光屏(OLED)、有机薄膜晶体管(TFT)、有机太阳电池、半导体器件、平板显示器件，及其他有机或无机器件的制备。

背景技术

在彩色有机发光显示屏及很多半导体器件的制备过程中多有很多图形化的过程。多要采用掩膜板蒸镀或光刻工艺。例如在制备彩色有机发光显示屏时用RGB(红蓝绿)三种颜色的材料并用三块刻有图形的掩膜板分3次蒸发来完成，而且每一次都要将掩膜板与相应的电极进行精确对准到微米的数量级。蒸镀时只让三分之一的材料蒸镀到有机发光屏上而剩余的三分之二的材料被蒸镀在掩膜板上，形成很大的浪费。此蒸镀过程的缺点是：大面积高精度的掩膜板本身就非常昂贵；为了在真空中实现精确对准带来很复杂的对准机构加大了蒸镀设备的成本；增加更换掩膜板和进行精确对准的时间增加了蒸镀的周期，降低了设备利用率；损失了三分之二的昂贵的彩色发光材料；降低了成品率。使得OLED彩色显示屏的成本居高不下影响了它的推广。

在真空蒸镀过程或真空溅射过程中，加电场或加磁场是常用的一种方法来实现带电分子或离子的加速或转向以期达到提高成膜的质量或沉积速度，但用以实现精细的图形化方面还没有成功的先例。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对已有技术存在的缺陷，提供一种材料利用率高、不需要掩膜板、不需要精确对准的电场控制图形化蒸镀装置及蒸镀方法。

为达到上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

一种电场控制图形化蒸镀装置，包括：蒸发源、具有图形化电极的基板、电源系统；其中：

所述的蒸发源，包括蒸发源基板、加热电源、和依次设于蒸发源基板上的加热层和蒸发料层，所述的加热层采用导电发热介质，在所述加热层上设有第一电极和第二电极，所述的第一电极、第二电极均与所述的加热电源相连形成回路；

所述的具有图形化电极的基板，包括基底、及设于所述基底下表面形成图形化的多个电极组，所述的电源系统包括电源分配器和高压直流电源；所述具有图形化电极的基板上各组电极组通过所述电源分配器与所述高压直流电源的一极相连，所述高压直流电源的另一极与所述加热层上的电极相连，所述电源分配器用于控制其中一组或多组电极组与所述高压直流电源连通，从而使所述的一组或多组电极组呈高压，与加热层之间形成一个电场分布，使加热层蒸发的带电荷的蒸发气流聚集到所述的一组或多组电极上去实现图形化蒸镀。

上述技术方案中，进一步的，所述的装置还包括绝缘面板，所述绝缘面板设置于所述的具有图形化电极的基板下方，用于在当电极组与加热层之间形成电场时接受从加热层蒸发的带电荷的蒸发气流，使得蒸发料聚集到所述绝缘面板下，在绝缘面板下表面实现图形化蒸镀。在完成蒸镀过程后，只要更换绝缘面板和相应的蒸发源就可以继续进行。

进一步的，所述的电极组可以设置为共三组，分别为R、G、B组电极组，分别对应不同颜色的蒸发料，如分别对应红、绿、蓝色；所述的电源分配器连通某组电极组与高压直流电源，从而形成选择性的电场使得在蒸发源两个加热电极之间通电加热后从蒸发源蒸发的带电粒子流聚集到所选的电极组，完成一组电极的蒸镀，然后电源分配器把电源分配给另一组电极组，同时更换另一种颜色的蒸镀料的蒸发源，进行蒸镀，直至完成。