[实用新型]一种可用于曝光机的LED列阵排列模块

说明书

本实用新型公开了一种可用于曝光机的LED列阵排列模块，包括电路板，所述电路板平行固定在感光膜载体的下方，所述电路板一端面间隔排列有A组灯和B组灯，所述A组灯和所述B组灯均由若干相同的LED灯珠横向直线排列组成，所述LED灯珠位于其相邻组的两相邻所述LED灯珠的中垂线上，所述B组灯的灯珠数量比所述A组灯的灯珠数量多1个。与现有技术相比，本实用新型通过LED灯珠的掠影角度来构建阵列模块，形成发光均匀的集合光源模块，曝光效果稳定，且该模块化结构，可方便地按照需要曝光的面积尺寸进行组合，使用方便且适用范围较广等有益效果。

技术领域

本发明涉及LED应用技术领域，具体为一种可用于曝光机的LED列阵排列模块。

背景技术

曝光机，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。因此，电子束光源是否均匀稳定直接决定了曝光成像质量的好坏。

现有的曝光机光源一般采用集合型LED光源，即把多颗大功率的LED集中一小块的电路板上，代替旧有的曝光灯。在大面积曝光的应用中，一般是根据曝光面积用多组LED灯简单排列叠加而成，这种叠加结构较难做到曝光均匀，很容易产生不合格产品。

因此，有必要对大面积曝光的光源进行改进，对光源的排列组合进行模块化的设计，使得曝光效果均匀稳定，提升曝光光源工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可用于曝光机的LED列阵排列模块，按LED灯珠的掠影角度，按照一定规律列阵排列并形成模块化结构，以解决背景技术中提到的大面积曝光时，多组LED排列叠加的光源容易产生曝光不均匀的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可用于曝光机的LED列阵排列模块，包括电路板，所述电路板平行固定在感光膜载体的下方，所述电路板一端面间隔排列有A组灯和B组灯，所述A组灯和所述B组灯均由若干相同的LED灯珠横向直线排列组成，所述LED灯珠位于其相邻组的两相邻所述LED灯珠的中垂线上，所述B组灯的灯珠数量比所述A组灯的灯珠数量多1个。

为了确保集合光源的光照均匀，进一步的，所述每组相邻的LED灯珠的横向间距均相等，所述相邻组的LED灯珠的纵向间距均相等，所述每组灯中最边缘的所述LED灯珠距所述电路板边缘的最近距离均相等。

为了确保集合光源的光照均匀，进一步的，所述横向间距为所述纵向间距的两倍。

为了减小电路板的尺寸以降低制造成本，优选的，所述最近距离小于所述纵向间距的一半。

为了确保集合光源的光照强度，优选的，所述电路板与所述感光膜载体的垂直距离介于所述横向间距的一倍与两倍之间。

在实际应用中，可以根据曝光设备规格或所需要曝光区域尺寸的大小，选用若干组本实用新型的列阵排列模块，进行横向或纵向的排列组合，以满足使用需要。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

（1）本实用新型通过采用多颗LED粒按照灯珠的掠影角度构建阵列模块，形成发光均匀的集合光源模块，曝光效果稳定；

（2）本实用新型构建的阵列模式可形成模块化结构，可方便地按照需要曝光的面积尺寸进行组合，使用方便且适用范围较广。

附图说明

图1为本实用新型实施例平面结构示意图；

图2为本实用新型中单个LED灯珠4的映像范围示意图；

图3为本实用新型光照映像范围示意图；

图4为本实用新型工作示意图；