[实用新型]一种真空镀膜设备

说明书

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜机设备，包含真空镀膜腔室，其特征在于，所述真空镀膜机设备还包含预镀膜基体、除尘防护室、风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置。所述除尘防护室与真空镀膜腔室相连接，所述除尘防护室与真空镀膜腔室之间设有开关隔断装置；所述预镀膜基体包括基体和基体表面的遮盖物；所述除尘防护室包括遮盖物脱除装置和气体喷嘴阵列；所述风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置与除尘防护室相连接。该真空镀膜设备设置除尘防护室，结构简单，能有效避免基体在运输过程或者挂件过程中的带来的二次污染，工序少，保证镀膜涂层的附着力的同时，消除基体表面的缺陷。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备的前处理技术。

背景技术

现有真空镀膜机设备在镀膜前均会设置预处理工序，以保证镀膜工件的清洁以及镀膜的效果，一般采用超声清洗或离子清洗的方式对镀膜工件进行清洁，但是即使采用超声波方式对镀膜工件进行了清洗，在镀膜工件的转运过程中，还是会由于空间环境中灰尘粒子的存在和静电吸附的作用，在镀膜工件上落上一些灰尘粒子，污染镀膜工件。

但是对于一些对镀膜环境要求比较严格的产品，灰尘粒子会影响产品表面镀膜的质量，使产品表面存在缺陷，不满足产品镀膜的品质要求。

因此如何可以高效、便捷地对预镀膜工件进行除尘防护处理，降低真空镀膜产品的缺陷，成为真空镀膜工艺中亟待解决的问题之一。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够对预镀膜工件进行除尘防护处理的真空镀膜设备，设备结构简单，操作便利，除尘防护成本较低，解决了当前镀膜过程中存在少量缺陷的问题，提升了镀膜质量，优化了镀膜设备的功能。

本实用新型提供一种真空镀膜设备，包含真空镀膜腔室，其特征在于，还包含预镀膜基体、除尘防护室、风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置。

进一步地，所述除尘防护室与真空镀膜腔室相连接，所述除尘防护室与真空镀膜腔室之间设有开关隔断装置，可将真空镀膜腔室与除尘防护室进行隔离；

进一步地，所述预镀膜基体包括基体和基体表面的遮盖物，防止已清洗过的基体预镀膜的表面在转移或镀膜环境下被灰尘粒子或金属粒子污染；

进一步地，所述除尘防护室包括遮盖物脱除装置和气体喷嘴阵列；所述遮盖物脱除装置用于脱除所述基体表面的遮盖物，所述气体喷嘴阵列用于向所述除尘防护室鼓入气体；

进一步地，所述风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置与除尘防护室相连接。

进一步地，所述遮盖物脱除装置包括滚筒和带动所述滚筒转动的电机，所述滚筒滚动带动附在基体表面的遮盖物旋转，使遮盖物逐渐脱除。

优选地，所述遮盖物为塑料薄膜、柔性金属。

进一步地，所述风淋装置包括鼓风机，所述鼓风机两端设置有进气通道和排气通道，所述鼓风机可将所述除尘防护室内的气体和灰尘粒子输送至所述排气通道。

进一步地，所述进气通道与排气通道与所述除尘防护室相连接，所述进气通道和排气管道分别设置有第一阀门和第二阀门，所述第一阀门和第二阀门可以通过开启和关闭来控制所述风淋装置的运行。

进一步地，所述鼓风机内部设置有滤尘装置，所述滤尘装置的孔径小于等于PM2.5粒子的直径，用于将大于PM2.5粒子直径的灰尘粒子过滤。

进一步地，所述抽真空装置包括真空泵和连接所述除尘防护室和所述真空泵的气体通道，所述真空泵可将所述除尘防护室抽真空，所述气体通道设置有第三阀门，用于隔断所述真空泵和所述除尘防护室。