[实用新型]一种有效解决碳化硅抛光液堵塞的抛光垫有效
| 申请号： | 201920291759.8 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN209615157U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 元利勇;曾昊;王玉茹;张珂 | 申请（专利权）人： | 同辉电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20 |
| 代理公司： | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人： | 张建茹 |
| 地址： | 050200 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光液 回流孔 底盘 喷出孔 碳化硅 回收装置 喷涂装置 有效解决 抛光 抛光垫 堵塞 碳化硅粉末 穿插设置 过滤装置 加工设备 抛光过程 抛光效率 抛光盘 绒毛层 有效地 | ||
【权利要求书】：
1.一种有效解决碳化硅抛光液堵塞的抛光垫，包括与抛光盘连接的底盘(1)、设置于底盘(1)上的绒毛层(2)，其特征在于：该抛光垫还包括设置在底盘(1)上的一组抛光液喷出孔(3)及一组抛光液回流孔(4)，所述的抛光液喷出孔(3)与抛光液喷涂装置连接，所述的抛光液回流孔(4)与回收装置连接，抛光液回流孔(4)的直径大于碳化硅粉末的直径。
2.根据权利要求1所述的一种有效解决碳化硅抛光液堵塞的抛光垫，其特征在于：所述的抛光液喷出孔(3)、抛光液回流孔(4)在底盘(1)上穿插设置。
3.根据权利要求1所述的一种有效解决碳化硅抛光液堵塞的抛光垫，其特征在于：所述的回收装置借助过滤装置与抛光液喷涂装置连接。
4.根据权利要求1所述的一种有效解决碳化硅抛光液堵塞的抛光垫，其特征在于：所述的绒毛层(2)上设置有位于相邻抛光液喷出孔(3)、抛光液回流孔(4)之间的回流通道(5)。
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