[发明专利]一种硅片检测系统

说明书

本发明提供一种硅片检测系统，包括：第一皮带轮和第二皮带轮，第一皮带轮和第二皮带轮间隔开设置形成间隔空间，第一皮带轮上套设有第一皮带，第二皮带轮上套设有第二皮带，第一皮带能够传送硅片至第二皮带上；在第一皮带和第二皮带的下方分别设置至少一个光源；具有反光缝反光罩，反光罩设在光源的下方且间隔空间位于反光罩的上方；相机设在反光罩的下方且相机的镜头朝向反光缝以拍摄经过间隔空间的硅片的表面。将光源设在皮带的下方，避免产生皮带阴影，光源发出的光线经过反光罩的反射后投射向硅片的下表面，能产生均匀亮度，当有硅片的下表面有油污时，便于精确地检测，提高硅片表面油污检测的精确度。

技术领域

本发明涉及硅片领域，具体涉及一种硅片检测系统。

背景技术

金刚线切割的硅片表面呈现金属光泽，对基于光学检测原理的分选机形成较大挑战。金刚线硅片分选机在硅片检测领域市场占有率达90％以上，是目前光伏领域主流的硅片检测手段，但是，金刚线硅片分选机油污检测模组仍存在一系列问题导致无法正常使用。在检测过程中，LED(Light-Emitting Diode，发光二极管)光源的光线经过反光罩反射后投射在硅片的表面，由于皮带遮挡了光源的部分光线，位于皮带下方的光线的亮度弱于其他位置，当光源的光线经过反光罩反射后投射在硅片的表面上时，在硅片表面产生两道暗纹，暗纹经常被误认为是油污，通过调整油污模组参数的对比度无法优化，由于皮带投影和硅片色差、线痕的影响，导致油污检测模组误判率较高，基本无法正常使用。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种硅片检测系统，用以解决由于皮带投影和硅片色差、线痕的影响，导致硅片的表面油污检测误判率较高的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

根据本发明实施例的硅片检测系统，包括：

第一皮带轮和第二皮带轮，所述第一皮带轮和所述第二皮带轮间隔开设置形成间隔空间，所述第一皮带轮上套设有第一皮带，所述第二皮带轮上套设有第二皮带，所述第一皮带能够传送硅片至所述第二皮带上；

多个光源，在所述第一皮带和所述第二皮带的下方分别设置至少一个所述光源；

反光罩，所述反光罩设在所述光源的下方且所述间隔空间位于所述反光罩的上方，所述反光罩上形成有反光缝；

相机，所述相机设在所述反光罩的下方且所述相机的镜头朝向所述反光缝以拍摄经过所述间隔空间的硅片的表面。

其中，所述第一皮带轮和所述第二皮带轮分别包括两组，每组所述第一皮带轮包括两个所述第一皮带轮，每组中的两个所述第一皮带轮沿传输方向间隔开设置，两组所述第一皮带轮沿垂直于所述传输方向的方向间隔开设置；

每组所述第二皮带轮包括两个所述第二皮带轮，每组中的两个所述第二皮带轮沿传输方向间隔开设置，两组所述第二皮带轮沿垂直于所述传输方向的方向间隔开设置。

其中，所述第一皮带和所述第二皮带的下方分别设置一个所述光源，所述第一皮带和所述第二皮带下方的所述光源关于所述间隔空间的在竖直方向的中心线对称。

其中，所述反光罩限定有一侧开口的腔室且所述腔室的开口朝向所述光源。

其中，所述反光罩的中心线与所述间隔空间的在竖直方向的中心线共线。

其中，所述反光缝位于所述反光罩的底部且沿垂直于传输方向的方向延伸。

其中，所述反光缝从所述反光罩的底部延伸至所述反光罩的侧壁。

其中，所述检测系统还包括：

支撑架，所述第一皮带轮和所述第二皮带轮分别设在所述支撑架上，所述光源设在所述支撑架上。

其中，所述相机的镜头的中心线与所述间隔空间的中心线形成有夹角，所述夹角为0-16度。