[发明专利]一种硅片检测系统

权利要求书

1.一种硅片检测系统，其特征在于，包括：

第一皮带轮(10)和第二皮带轮(20)，所述第一皮带轮(10)和所述第二皮带轮(20)间隔开设置形成间隔空间，所述第一皮带轮(10)上套设有第一皮带(11)，所述第二皮带轮(20)上套设有第二皮带(21)，所述第一皮带(11)能够传送硅片至所述第二皮带(21)上；

多个光源(30)，在所述第一皮带(11)和所述第二皮带(21)的下方分别设置至少一个所述光源(30)；

反光罩(40)，所述反光罩(40)设在所述光源(30)的下方且所述间隔空间位于所述反光罩(40)的上方，所述反光罩(40)上形成有反光缝(41)；

相机(50)，所述相机(50)设在所述反光罩(40)的下方且所述相机(50)的镜头朝向所述反光缝(41)以拍摄经过所述间隔空间的硅片的表面。

2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第一皮带轮(10)和所述第二皮带轮(20)分别包括两组，每组所述第一皮带轮(10)包括两个所述第一皮带轮(10)，每组中的两个所述第一皮带轮(10)沿传输方向间隔开设置，两组所述第一皮带轮(10)沿垂直于所述传输方向的方向间隔开设置；

每组所述第二皮带轮(20)包括两个所述第二皮带轮(20)，每组中的两个所述第二皮带轮(20)沿传输方向间隔开设置，两组所述第二皮带轮(20)沿垂直于所述传输方向的方向间隔开设置。

3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第一皮带(11)和所述第二皮带(21)的下方分别设置一个所述光源(30)，所述第一皮带(11)和所述第二皮带(21)下方的所述光源(30)关于所述间隔空间的在竖直方向的中心线对称。

4.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述反光罩(40)限定有一侧开口的腔室且所述腔室的开口朝向所述光源(30)。

5.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述反光罩(40)的中心线与所述间隔空间的在竖直方向的中心线共线。

6.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述反光缝(41)位于所述反光罩(40)的底部且沿垂直于传输方向的方向延伸。

7.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述反光缝(41)从所述反光罩(40)的底部延伸至所述反光罩(40)的侧壁。

8.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，还包括：

支撑架(60)，所述第一皮带轮(10)和所述第二皮带轮(20)分别设在所述支撑架(60)上，所述光源(30)设在所述支撑架(60)上。

9.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述相机(50)的镜头的中心线与所述间隔空间的中心线形成有夹角，所述夹角为0-16度。

10.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述光源(30)为黄色光源。