[实用新型]一种多晶硅生产线尾气回收系统

说明书

本实用新型公开一种多晶硅生产线尾气回收系统，包括：汽提塔，所述汽提塔底部设有进气口，顶部设有出气口和进液口；所述进气口连接有第一冷凝器；所述出气口连接有冷却系统；所述冷却系统的液相出口与所述汽提塔的进液口连接。通过在尾气管路上设置汽提塔，将待冷却的尾气的部分热量传递给需要加热解析的氯硅烷液相。尾气在汽提塔中被氯硅烷液相降温，可以减少冷却系统在冷却尾气时的功率消耗；同时，氯硅烷在汽提塔中获得了热量，温度升高，从而降低精馏塔在分馏时的功率消耗，最终实现尾气回收处理的能耗成本的降低。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，具体涉及一种多晶硅生产线尾气回收系统。

背景技术

工业生产中往往伴随着含有原料成分的尾气的产生。如果能对尾气进行处理回收，既能够有效地减少污染排放，同时又能实现资源的高效率利用，降低加工生产对环境的影响。

多晶硅生产线所产生的尾气中主要成分有氢气、氯化氢和氯硅烷。因为氯硅烷的挥发度相对较高，易冷凝为液相，同时氢气和氯化氢在氯硅烷中的溶解度差别较大——氢气几乎不溶于氯硅烷，氯化氢能够大量溶解与氯硅烷中。所以现有技术往往对尾气进行降温冷凝，并将溶解有氯化氢的氯硅烷与氢气进行气液分离，从而实现分离提纯氢气和氯化氢的效果。

问题在于，在对尾气进行回收分离过程中，为了使氯化氢尽可能地溶解到氯硅烷中，需要将氯硅烷降温到-40℃(该温度为氯化氢在氯硅烷中的最佳溶解温度)。对尾气进行大幅度的降温需要消耗大量的能源，提高了尾气回收处理的能耗成本。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供一种多晶硅生产线尾气回收系统，通过在尾气管路上设置汽提塔，将待冷却的尾气的部分热量传递给需要加热解析的氯硅烷液相。尾气在汽提塔中被氯硅烷液相降温，可以减少冷却系统在冷却尾气时的功率消耗；同时，氯硅烷在汽提塔中获得了热量，温度升高，从而降低精馏塔在分馏时的功率消耗，最终实现尾气回收处理的能耗成本的降低。

为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是一种多晶硅生产线尾气回收系统，包括：

汽提塔，所述汽提塔底部设有进气口，顶部设有出气口和进液口；

所述进气口连接有第一冷凝器；所述出气口连接有冷却系统；

所述冷却系统的液相出口与所述汽提塔的进液口连接。

优选的，所述汽提塔内水平设置有至少两个隔板，所述隔板上具有通孔；相邻所述隔板上的通孔错位设置。

优选的，所述相邻隔板之间设有纱网。

优选的，所述冷却系统包括依次连接的热交换器和冷凝器；

所述热交换器的气相入口与所述汽提塔的出气口连接；所述热交换器的气相出口与所述冷凝器的气相入口连接；

所述热交换器和所述冷凝器并联有液相出口，所述液相出口与所述汽提塔的进液口连接。

优选的，所述热交换器包括由内至外相互独立的管程和壳程，所述管程连接所述汽提塔的出气口；所述壳程连接所述冷凝器的气相出口。

优选的，所述冷凝器包括依次连接的第二冷凝器和第三冷凝器；

所述第二冷凝器的气相入口与所述热交换器的出气口连接，所述第二冷凝器的气相出口与第三冷凝器的气相入口连接；

所述第二冷凝器和第三冷凝器的液相出口均与所述汽提塔的进液口连接。

优选的，所述汽提塔底部连接有精馏塔。

优选的，所述在汽提塔和精馏塔之间的管路上还设有压力缓冲罐。

本申请与现有技术相比，其有益效果为：