[发明专利]一种抛光液加热装置

权利要求书

1.一种抛光液加热装置，包括抛光液输送管；其特征是：在所述抛光液输送管的末端设置用于对抛光液输送管内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器，所述抛光液温度检测器以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；

抛光环境温度检测器能向加热控制器抛光环境温度，抛光液温度检测器能向加热控制器传输抛光液输送管出口处的抛光液温度，加热控制器将抛光液温度、抛光环境温度与所述加热控制器内的抛光预置温度比较，并控制抛光液加热器的加热状态，直至使得抛光环境温度与抛光预置温度相一致。

2.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液加热器包括两个用于对抛光液进行加热的加热板，所述加热板间具有抛光液流动的加热空隙，所述加热板为半导体加热器、电阻丝加热器或水浴加热器。

3.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液加热器包括呈对称分布的夹板，在所述夹板间设置若干用于对抛光液进行加热的加热柱。

4.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液加热器包括缠绕在抛光液输送管上的加热线圈或允许抛光液输送管缠绕的加热棒。

5.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液加热器包括套在抛光液输送管外的加热介质管，所述加热介质管与抛光液输送管间具有与抛光液进行温度交换的高温加热介质。

6.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液输送管上还设有调整输送管，所述调整输送管与抛光液输送管相连通，抛光液加热器能对抛光液输送管内的抛光液以及调整输送管内的调整液体进行加热。