[实用新型]一种硅片放置盒有效
申请号: | 201721106859.6 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN207367938U | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 崔永强;王文丹;邓铭 | 申请(专利权)人: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 放置 | ||
本实用新型涉及太阳能电池领域。种硅片放置盒,包括内盒和外盒,内盒放置在外盒中,内盒的底部和外盒的底部通过可拆卸连接或者固定连接安装在一起,内盒中放置硅片,内盒由内盒底板、内盒后板、内盒侧板三块板组成,内盒后板和内盒侧板上有多个前后联通的小孔,外盒由外盒底板、外盒前后左右四块侧板组成,外盒前后左右四块侧板都为双层,外盒前后左右四块侧板上部有上喷气口下部有下喷气口。本实用新型硅片放置盒在使用过程中,粘结着的硅片在气体侧吹动下会在真空盘上升过程中掉下来,并且掉落的硅片会掉到内盒中,可以下次继续使用。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池领域。
背景技术
太阳电池在生产过程中,硅片要求在多个工序中转移,在自动化生产过程中,一般使用真开盘吸附后进行转移,但是由于硅片非常薄重量也很轻,在真空盘吸附过程中,经常会出现真空盘下的硅片还粘结着另外一张或者两张硅片,在真空盘吸附后的移动过程中,粘结着的硅片往往会掉落下来,造成粘结的硅片摔在地面上,粘结的硅片会被摔碎,造成损失。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是:如何解决背景技术中的问题。
本实用新型所采用的技术方案是:一种硅片放置盒,包括内盒和外盒,内盒放置在外盒中,内盒的底部和外盒的底部通过可拆卸连接或者固定连接安装在一起,内盒中放置硅片,内盒由内盒底板、内盒后板、内盒侧板三块板组成,内盒后板和内盒侧板上有多个前后联通的小孔,外盒由外盒底板、外盒前后左右四块侧板组成,外盒前后左右四块侧板都为双层,外盒前后左右四块侧板上部有上喷气口下部有下喷气口。
作为一种优选方式:外盒的底部内部有与内盒底板大小相同的凹槽,凹槽的深度等于内盒底板厚度,内盒底板放置在凹槽中。
作为一种优选方式:外盒前后左右四块侧板都为双层,双层中间中空并且连接到上喷气口和下喷气口,外盒前后左右四块侧板外侧有气泵接口。
本实用新型的有益效果是:本实用新型硅片放置盒在使用过程中,上喷气口和下喷器口同时向外喷气,喷出的气体吹在真空盘的下部,粘结着的硅片在气体侧吹动下会在真空盘上升过程中掉下来,这样就不会使硅片掉到底板上,并且掉落的硅片会掉到内盒中,可以下次继续使用。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是内盒结构示意图;
图3是外盒前后左右四块侧板中其中一块侧板内部结构示意图;
图4是本实用新型的结构俯视图示意图;
图5是上喷气口和下喷气口结构意图。
其中,1、外盒,2、内盒,3、上喷气口,4、下喷气口,5、外盒前后左右四块侧板的双层中空。
具体实施方式
如图1-图5所示,本实用新型硅片放置盒是为了满足真空吸附盘使用而设计的,一种硅片放置盒,包括内盒和外盒,内盒放置在外盒中,内盒的底部和外盒的底部通过可拆卸连接或者固定连接安装在一起,内盒中放置硅片,内盒由内盒底板、内盒后板、内盒侧板三块板组成,这样设计的内盒,在真空盘吸附或者放置硅片时,使硅片的两条边与内盒后板和内盒侧板分别平齐,能够完成对真空吸附盘的定位,从而把硅片规整地放下或者吸走,内盒后板和内盒侧板上有多个前后联通的小孔,小孔的目的是使的气体能够从小孔中穿过,外盒由外盒底板、外盒前后左右四块侧板组成,外盒前后左右四块侧板都为双层,外盒前后左右四块侧板上部有上喷气口下部有下喷气口,上喷气口向下倾斜30-45度,下喷气孔向上倾斜30-45度,在使用过程中同时喷气,在外盒中形成一个紊乱的气场,紊乱的气场可以把粘结的硅片吹落下来。外盒的底部内部有与内盒底板大小相同的凹槽,凹槽的深度等于内盒底板厚度,内盒底板放置在凹槽中,这样使的内盒放置在外盒中时,内盒不会在紊乱的气场作用下混动,同时方便把内盒从外盒中取出来。外盒前后左右四块侧板都为双层,双层中间中空并且连接到上喷气口和下喷气口,外盒前后左右四块侧板外侧有气泵接口,在使用过程中把气泵连接到气泵接口进行吹起,吹的气体可以是氮气、氩气等不与硅片产生反应的气体,在不使用时,把气泵连接口断开,方便转移本实用新型硅片放置盒。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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