[实用新型]一种曝光机的平行光调节装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，具体为一种曝光机的平行光调节装置。

背景技术

一般印刷电路板或半导体芯片在进行曝光显影制程时，先在被加工物表面上涂上一层光阻，再藉由光源的照射将原稿上的电路布线图案映像至被加工物表面的光阻层上，以使光阻层的化学性质因光源的照射而产生变化，然后再利用去光阻剂来将被光源照射过的光阻或未经曝光的光阻自被加工物表面去除，以形成对应于原稿的线路布局，这种设备称为曝光机，以前的爆光机采用卤素灯作为热光源，功率大约20KW，发热量大，光源发射出的入射光经过光积分器后形成均匀的方形光，经过平面镜反射后通过光通狭缝的遮挡形成弧形光，其被遮挡部分的光线会被浪费，从而影响曝光机曝光时的照度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种曝光机的平行光调节装置，具备功率小，发热少，有效提升曝光光源组的功率，降低曝光室的聚热现象的优点，解决了现有技术的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种曝光机的平行光调节装置，包括机壳，所述机壳的顶部侧壁对称安装有气压支撑杆，机壳的上表面通过铰链活动连接有曝光盖板，机壳的内部安装有灯源调节装置和散热机；所述气压支撑杆的一端活动连接有伸缩杆，曝光盖板的两侧面镜像连接有伸缩杆；所述灯源调节装置由支撑架、第一固定板、第二固定板、灯套、转轴和上顶板组成，第一固定板和第二固定板的底部均固定焊接在支撑架，第一固定板和第二固定板沿长度方向均开设有条形槽；所述灯套位于第一固定板和第二固定板之间，灯套的内腔中安装有LED灯管，灯套的两侧面圆心处焊接有转轴，转轴的两端分别穿过条形槽连接有齿轮；所述上顶板对称安装在机壳的内壁上，上顶板的下表面开设有齿槽，齿槽与齿轮啮合；所述散热机的两端安装有排气管，散热机的底部固定在机壳的内部底壁上，散热机的上表面连接支撑架。

优选的，所述转轴的外圆周面上套有转环和限位环，限位环固定在转轴上，转环与转轴活动连接。

优选的，所述转轴垂直焊接于齿轮的圆心，转环位于齿轮和限位环之间。

优选的，所述机壳的内壁两侧镜像安装有气缸，气缸输出端连接有气缸杆，气缸杆与转环的侧壁焊接，气缸、气缸杆和转环均与上顶板平行。

优选的，所述灯源调节装置正上方的机壳内壁安装有曝光面板，曝光盖板覆盖在曝光面板上，曝光面板与LED灯管平形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本曝光机的平行光调节装置，灯套为透明的圆筒状，灯套的内腔中安装有LED灯管，LED灯管发出的光透过灯套直射在曝光面板上，气缸驱动气缸杆进行来回伸缩，转环会发生前后移动，推动转环后，转轴同样会发生旋转，齿轮发生同频率转动，齿轮在齿槽上移动，LED灯管发生移动，同时LED灯管功率小，发热少，缩小了产品的体积，减少了成本，散热机对机壳的内部进行散热，此外本装置可在曝光平台接受平行光源照射时，有效提升曝光光源组的功率，降低曝光室的聚热现象。

附图说明

图1为本实用新型的局部剖视图；

图2为本实用新型的支撑架立体图；

图3为本实用新型的灯源调节装置局部结构图。

图中：1机壳、11气压支撑杆、111伸缩杆、12曝光盖板、2灯源调节装置、21支撑架、22第一固定板、23第二固定板、24灯套、241LED灯管、25转轴、26上顶板、261齿槽、3散热机、31排气管、4齿轮、5条形槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。