[实用新型]双面研磨机及研磨系统

权利要求书

1.一种双面研磨机，其特征在于，包括：驱动机构、上研磨盘、下研磨盘、太阳轮、外齿轮和用于装夹工件的游星轮，所述上研磨盘、所述下研磨盘和所述太阳轮均与所述驱动机构连接；

所述太阳轮和所述外齿轮均位于所述上研磨盘与所述下研磨盘之间，所述太阳轮的外周和所述游星轮的外周均设有轮齿，所述外齿轮呈环形且内壁设有轮齿，所述太阳轮位于所述外齿轮的内部区域，研磨过程中，所述游星轮位于所述太阳轮与所述外齿轮之间，且分别与所述太阳轮和所述外齿轮啮合，所述游星轮的端面上设置有多周定位槽。

2.根据权利要求1所述的双面研磨机，其特征在于，所述上研磨盘和所述下研磨盘的平面度均小于0.05mm。

3.根据权利要求1所述的双面研磨机，其特征在于，还包括控制机构，所述上研磨盘上设置有压力感应机构，所述压力感应机构与所述控制机构信号连接，所述控制机构与所述驱动机构信号连接。

4.根据权利要求3所述的双面研磨机，其特征在于，所述外齿轮处设有光栅尺，所述光栅尺与所述控制机构信号连接。

5.根据权利要求3所述的双面研磨机，其特征在于，还包括用于计数所述下研磨盘转动圈数的计数器，所述计数器与所述控制机构信号连接。

6.根据权利要求3所述的双面研磨机，其特征在于，还包括时间继电器，所述时间继电器分别与所述驱动机构和所述控制机构信号连接。

7.根据权利要求1所述的双面研磨机，其特征在于，还包括修正轮，所述修正轮呈圆柱形，所述修正轮的圆周面上设有与所述太阳轮和所述外齿轮啮合的轮齿。

8.根据权利要求1所述的双面研磨机，其特征在于，所述驱动机构包括电机和直线驱动件，所述电机与所述太阳轮连接，所述直线驱动件与所述上研磨盘连接。

9.根据权利要求8所述的双面研磨机，其特征在于，所述直线驱动件包括气缸，所述气缸的活塞杆与所述上研磨盘连接。

10.一种研磨系统，其特征在于，包括多台如权利要求1－9任一项所述的双面研磨机。