[发明专利]一种XXY定位平台的增量定位方法有效
申请号: | 201711395121.0 | 申请日: | 2017-12-21 |
公开(公告)号: | CN108054126B | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 樊坤;尹昊;郭立;陈勇平;陈国钦 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清;廖元宝 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 xxy 定位 平台 增量 方法 | ||
本发明公开了一种XXY定位平台的增量定位方法,首先寻找上一次工件的原点,作为此次工件定位的基准点,得到XXY定位平台中X1轴方向、X2轴方向和Y轴方向的位移增量,从而对工件进行定位。本发明的XXY定位平台的增量定位方法具有定位精准快速等优点。
技术领域
本发明主要涉及工件定位技术领域,特指一种XXY定位平台的增量定位方法。
背景技术
由于市场经济的快速发展,各行各业对产品的质量和产能要求越来越高,尤其是一些定位精度要求高的设备应用领域,例如贴片、光伏、医疗、精密仪表仪器等,定位平台传统的控制算法自适应学习能力较差、调试定位难度大、回原点响应时间长、定位精度低等原因,影响了整个行业的快速发展。
发明内容
本发明要解决的技术问题就在于:针对现有技术存在的技术问题,本发明提供一种定位快速精准的XXY定位平台的增量定位方法。
为解决上述技术问题,本发明提出的技术方案为:
一种XXY定位平台的增量定位方法,其特征在于,首先寻找上一次工件的原点,作为此次工件定位的基准点,得到XXY定位平台中X1轴方向、X2轴方向和Y轴方向的位移增量,从而对工件进行定位。
优选地,其中X1、X2轴的位移增量如下:
δX1=Rsin(δθ+θX1+θ0)-Rsin(θX1+θ0)
δX2=Rsin(δθ+θX2+θ0)-Rsin(θX2+θ0)
其中:R:通过连接各轴上的交叉滚子轴承中心的圆半径;
δX1:X1轴滚珠丝杆的相对进给量,单位mm;
δX2:X2轴滚珠丝杆的相对进给量,单位mm;
θX1:X1轴上的交叉滚子轴承中心连线与X1轴的夹角;
θX2:X2轴上的交叉滚子轴承中心连线与X2轴的夹角;
θ0:XXY平台旋转角度初始值;
δθ:为XXY平台旋转角度。
优选地,Y轴的位移增量如下:
δY=Rcos(δθ+θY+θ0)-Rcos(θY+θ0)
其中:R:通过连接各轴上的交叉滚子轴承中心的圆半径;
δY:Y轴滚珠丝杆的相对进给量,单位mm;
θY:Y轴上的交叉滚子轴承中心连线与Y轴的夹角。
优选地,X1轴电机带动滚珠丝杆的相对进给量δX1和X2轴电机带动滚珠丝杆的相对进给量δX2,对应转换成电机脉冲数如下:
nX1=δX1·n0/d
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造