[发明专利]一种XXY定位平台的增量定位方法有效

专利信息
申请号: 201711395121.0 申请日: 2017-12-21
公开(公告)号: CN108054126B 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 樊坤;尹昊;郭立;陈勇平;陈国钦 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清;廖元宝
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 xxy 定位 平台 增量 方法
【权利要求书】:

1.一种XXY定位平台的增量定位方法,其特征在于,首先寻找上一次工件的原点,作为此次工件定位的基准点,得到XXY定位平台中X1轴方向、X2轴方向和Y轴方向的位移增量,从而对工件进行定位;

其中X1、X2轴的位移增量如下:

δX1=R sin(δθ+θX10)-Rsin(θX10)

δX2=R sin(δθ+θX20)-Rsin(θX20)

其中:R:通过连接各轴上的交叉滚子轴承中心的圆半径;

δX1:X1轴滚珠丝杆的相对进给量,单位mm;

δX2:X2轴滚珠丝杆的相对进给量,单位mm;

θX1:X1轴上的交叉滚子轴承中心连线与X1轴的夹角;

θX2:X2轴上的交叉滚子轴承中心连线与X2轴的夹角;

θ0:XXY平台旋转角度初始值;

δθ:为XXY平台旋转角度。

2.根据权利要求1所述的XXY定位平台的增量定位方法,其特征在于,Y轴的位移增量如下:

δY=Rcos(δθ+θY0)-Rcos(θY0)

其中:R:通过连接各轴上的交叉滚子轴承中心的圆半径;

δY:Y轴滚珠丝杆的相对进给量,单位mm;

θY:Y轴上的交叉滚子轴承中心连线与Y轴的夹角。

3.根据权利要求1所述的XXY定位平台的增量定位方法,其特征在于,X1轴电机带动滚珠丝杆的相对进给量δX1和X2轴电机带动滚珠丝杆的相对进给量δX2,对应转换成电机脉冲数如下:

nX1=δX1·n0/d

nX2=δX2·n0/d

其中:d:丝杆导程,单位mm;

n0:电机旋转一周所需的脉冲数;

nX1:丝杠相对进给量δX1所需的脉冲数;

nX2:丝杠相对进给量δX2所需的脉冲数。

4.根据权利要求2所述的XXY定位平台的增量定位方法,其特征在于,Y轴电机带动滚珠丝杆转动的相对进给量δY,对应的电机脉冲数为:

nY=δY·n0/d

其中d:丝杆导程,单位mm;

n0:电机旋转一周所需的脉冲数;

nY:丝杠相对进给量δY所需的脉冲数。

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