[发明专利]基板夹紧装置

权利要求书

1.一种基板夹紧装置，用于将所述基板固定在溅射机的台车上，其特征在于：

包括夹持臂、托盘和连接于托盘底部的升降驱动装置，所述升降驱动装置用于带动所述托盘相对于所述台车上下运动；

所述夹持臂设于所述台车上并围设成收容空间，所述收容空间用于容置所述基板，所述夹持臂包括支架和夹爪，所述支架通过旋转升降机构连接于所述台车上，用于带动所述夹爪同时做旋转和升降运动；

所述夹爪在旋转下降运动后与所述基板上表面发生接触，用于夹紧放置于所述基板；

所述托盘位于所述台车下方，所述托盘上设有第一顶杆和第二顶杆；

所述第一顶杆与所述夹持臂配合，用于推动所述夹持臂向上运动；

所述第二顶杆用于推动所述基板向上运动。

2.如权利要求1所述基板夹紧装置，其特征在于，所述旋转升降机构为滚珠丝杠，所述支架上设有与所述滚珠丝杠配合的螺纹槽。

3.如权利要求2所述基板夹紧装置，其特征在于，所述夹持臂在所述第一顶杆的推动下旋转运动时，其最大旋转角度为90度。

4.如权利要求3所述基板夹紧装置，其特征在于，所述夹持臂与所述台车之间设置弹簧，用于为所述夹持臂提供向下方向的弹力。

5.如权利要求1所述基板夹紧装置，其特征在于，所述夹持臂为多个，所述第一顶杆数量与所述夹持臂数量相同且一一对应，多个所述夹持臂同时上升或下降，且速度相同。

6.如权利要求5所述基板夹紧装置，其特征在于，所述夹持臂对称设置在所述基板的两侧。

7.如权利要求6所述基板夹紧装置，其特征在于，对称设置的两个所述夹持臂在上升或下降时旋转方向相同。

8.如权利要求7所述基板夹紧装置，其特征在于，所述夹持臂围设的收容空间为长方形，在所述长方形的长边和短边上都对应设置至少一对所述夹持臂，用于夹持所述基板的四周。

9.如权利要求1所述基板夹紧装置，其特征在于，多个所述夹爪与所述基板同时接触或脱开。

10.如权利要求9所述基板夹紧装置，其特征在于，所述夹爪与所述基板的接触面做圆弧处理，以免刮伤所述基板。