[发明专利]一种多通道阵列传感器

说明书

本发明提供了多通道阵列传感器。该多通道阵列传感器包括：多个电极；和分别与所述多个电极对应的多个敏感材料层，每一所述敏感材料层是由敏感材料施加在对应的电极上形成；其中，每一所述电极的线宽和线距设置成根据施加在该电极上的敏感材料的预设基础电阻来调节。根据本发明的方案，通过将单一传感器升级到多通道阵列传感器，并通过多通道的阵列组合电极器件的方式提高传感器对待测物的高度识别以及高精确检测。此外，发明人经过多次试验和深入的总结分析创造性发现，通过控制每一个电极的间距及电极宽度来调节每种敏感材料的最佳基础电阻，以使每种敏感材料可以达到最佳的敏感性能。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，特别是涉及一种多通道阵列传感器。

背景技术

随着气体传感器技术的不断发展，人们对传感器的小型化及智能化的要求越来越高，并且，在传感器芯片本身的尺寸减小的同时，对传感器的精确识别的要求也是越来越高。市面上大多数的传感器都是单一器件及单一敏感材料的传感器，对气体的有效识别存在很大的弊端，而且也很难满足高度精确检测的行业要求。对于阵列传感器来说，其可以通过多种材料组合来提升传感器对气体的识别作用，因此越来越受到关注。

发明内容

本申请的发明人发现，阵列传感器中敏感材料的敏感性能与其基础电极有非常密切的关系，例如，对于阵列气体传感器来说，每种气敏材料在不同的基础电阻下的气敏性能都会有所不同。因此，基于该发现，申请人设计了以下技术方案。

本发明的一个目的是要提供一种多通道阵列传感器，以提高传感器对待测物的敏感性能、识别性能以及选择性能。

本发明提供的一个目的是要提供一种多通道阵列传感器，以使每种气敏材料处于最优的基础电阻，以达到阵列传感器对待测物的最优的敏感性能、最佳识别及选择性能。

本发明提供的一种多通道阵列传感器，包括：

多个电极；和

分别与所述多个电极对应的多个敏感材料层，每一所述敏感材料层是由敏感材料施加在对应的电极上形成；

其中，每一所述电极的线宽和线距设置成根据施加在该电极上的敏感材料的预设基础电阻来调节。

可选地，所述预设基础电阻为所述敏感材料的最佳基础电阻，以使得所述敏感材料达到最佳敏感性能。

可选地，所述多个敏感材料层上的敏感材料选择为完全相同、部分相同或完全不同。

可选地，所述多个电极之间的线宽和线距设置成在所述多个敏感材料层上的敏感材料完全不同时完全相同、部分相同或者均不相同。

所述多个电极之间的线宽和线距设置成在所述多个敏感材料层上的敏感材料部分相同时选择完全相同、部分相同或者均不相同。

可选地，每一敏感材料对应的电极的最佳线宽和最佳线距通过以下方法来确定：

在线宽和线距均不相同的多个电极上施加相同的敏感材料，以获取不同电极上的敏感材料的基础电阻；

比较不同电极上的敏感材料的基础电阻，以获取最佳基础电阻；

根据最佳基础电阻确定对应的电极，以获得该电极对应的线宽和线距，并将该电极对应的线宽和线距作为该敏感材料的最佳线宽和最佳线距。

可选地，所述电极为交叉齿状电极。

可选地，所述多通道阵列传感器还包括：

基底，用于在所述基底上进行刻蚀，以形成所述多个电极；

其中，所述基底的材料选自表面覆盖绝缘层的硅片、石英、陶瓷和塑料中的一种。

可选地，所述基底的形状为正方形或长方形。