[发明专利]一种DES线显影喷嘴装置及显影方法在审
申请号: | 201711105301.0 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN107976874A | 公开(公告)日: | 2018-05-01 |
发明(设计)人: | 胡荫敏;姜雪飞;陈波;刘东 | 申请(专利权)人: | 江门崇达电路技术有限公司;深圳崇达多层线路板有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人: | 冯筠 |
地址: | 529000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 des 显影 喷嘴 装置 方法 | ||
技术领域
本发明涉及印刷电路板领域,尤其涉及一种DES线显影喷嘴装置及显影方法。
背景技术
DES线是印刷电路板的生产线,用于完成内层或者是外层酸性蚀刻的显影、蚀刻、去膜的连续生产,是电路板线路成型的关键工序。
在DES生产线中,显影是一个很重要的制作工序,显影的工作原理如下:显影时采用显影液,显影液为弱碱性溶液(浓度为1%的Na2CO3溶液),利用弱碱性溶液与未曝光之干膜反应,生成可溶性的物质溶于药水,而曝光部分的干膜或油墨则不会发生溶解。将未曝光之干膜或油墨冲掉,已曝光部分保留下来,初步形成内层线路图形。
显影时通常采用喷淋的方式,显示时采用的显影装置,设置有喷管和若干个喷嘴,一般采用1根喷管上设计8个喷嘴,喷嘴直接垂直设置在喷管上,喷嘴间距12cm,喷嘴到板面距离14cm,喷淋方式采用垂直喷淋的方式。这种装置在生产过程中暴露出来一些问题,如喷嘴离板面太远,造成显影效率低;但是如果降低喷管高度又会导致显影槽空间变小,不方便保养、清洁;不仅如此,喷嘴降低后,由于喷洒距离变短,液体没有足够的距离打开分散为均匀的小液珠,使得喷洒到基板的显影液不够均匀,导致喷到基板上的实际有效区域是变小的,由此出现了显影不净问题。
发明内容
本发明针对上述问题,提供一种在减小喷嘴到板面距离的情况下既能提升显影效率又能保证显影效果的DES线显影喷嘴装置及显影方法。
为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种DES线显影喷嘴装置,包括喷管、喷嘴座和若干喷嘴,所述喷嘴座设置在喷管上,各所述喷嘴均倾斜设置在喷嘴座上。
进一步,所述喷嘴与垂直方向的倾斜角度为20~30度。
进一步,所述喷嘴座设有若干均匀设置的斜面,各所述喷嘴均匀地安装在对应的斜面上。
进一步,各所述喷嘴垂直于斜面设置在喷嘴座上。
还提供一种DES线的显影方法,包括将DES线显影喷嘴装置的若干喷嘴倾斜设置使显影液喷洒在基板上的步骤。
进一步,各所述喷嘴均匀排布,相邻所述喷嘴将显影液喷洒在基板上的喷洒区域相互交叠,且仅与相邻喷嘴的喷洒区域相交叠。
进一步,相邻两个喷嘴的喷洒区域交叠的面积为单个喷嘴的喷洒区域的一半。
进一步,所述DES线显影喷嘴装置的喷嘴数量为15个,各喷嘴间距为5cm,喷嘴到板面的距离为3cm。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明将喷嘴倾斜设置,使得在喷管降低的情况下,还能够保证喷嘴喷洒的距离,使得喷嘴喷洒的显影液有足够的距离打开变成均匀的小液珠,提高了显影液喷洒到基板上的均匀度,进而保证了显影液喷洒到基板的实际有效区域,杜绝了显影不净的问题,提升显影效率,保证显影效果。本发明不需要改变现有设备的整体结构,不改变设备的操作方式,即可将显影效率提升30%,具有极高的市场应用价值。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明:
图1是实施例中所述DES线显影喷嘴装置的结构示意图。
具体实施方式
为了更充分的理解本发明的技术内容,下面结合具体实施例对本发明的技术方案作进一步介绍和说明。
实施例
参照图1,本发明提供一种DES线显影喷嘴1装置,包括喷管2、喷嘴座3和若干喷嘴1,所述喷嘴座3设置在喷管2上,所述喷嘴座3设有若干均匀设置的斜面,各斜面组合后使喷嘴座3外形类似锯条状,各所述喷嘴1垂直于斜面设置在喷嘴座3上。各所述喷嘴1均匀地安装在对应的斜面上,以使得各所述喷嘴1均倾斜设置,所述喷嘴1与垂直方向的倾斜角度为20~30度。本实施例中DES线显影喷嘴装置的喷嘴1数量为15个,各喷嘴1间距为5cm,喷嘴1到板面的距离为3cm。
还提供一种DES线的显影方法,具体包括以下步骤:
S1、降低喷管2高度,使DES线显影喷嘴装置的各喷嘴1与基板4的距离减小,具体地,将各喷嘴1到板面的距离调整为3cm;
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