[发明专利]一种坩埚盖及其盖合方法和坩埚

说明书

本发明提供一种坩埚盖及其盖合方法和坩埚。该坩埚盖用于盖合在坩埚开口端，包括盖体，盖体在对应坩埚开口端的端面壁的区域设置有吸合结构，吸合结构与坩埚开口端的端面壁相接触，吸合结构能使盖体与坩埚开口端吸合，以使盖体对坩埚开口端密封盖合。该坩埚盖通过在盖体的对应坩埚开口端端面壁的区域设置吸合结构，能使盖体与坩埚开口端吸合，以对坩埚开口端进行密封盖合，从而实现了对坩埚内蒸镀材料的密封；进而在蒸镀材料放入坩埚内之后以及蒸镀前将盛有蒸镀材料的坩埚放入蒸镀腔室的过程中，避免蒸镀材料与外界大气环境中的气体相接触，继而避免蒸镀材料被大气环境中的气体氧化，确保了蒸镀形成的器件的性能。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，具体地，涉及一种坩埚盖及其盖合方法和坩埚。

背景技术

有源矩阵有机发光二极管显示产品(AMOLED)由于可实现较高的色域，超薄，柔性化的显示，逐渐受到了广泛的关注。尤其是曲面和柔性OLED，由于独特的功能和良好的用户体验受到了众多青睐。

目前，OLED发光层的主要制作工艺是蒸镀，即将有机材料在真空条件下加热至一定温度，使有机材料蒸发后飞升至基板表面，形成薄膜。在蒸镀过程中，经常在有机材料中添加一些活性金属材料(如锂(Li)、钙(Ca)等)形成器件结构中的掺杂结构。在蒸镀过程中，通常需要将蒸镀材料先放入坩埚中，然后再将坩埚放入蒸镀腔室中，在蒸镀腔室中对坩埚进行加热才能进行蒸镀。

如图1所示，传统的坩埚包括坩埚本体6和坩埚盖5，坩埚盖5盖合在坩埚本体6的开口端，坩埚盖5上通常会开设一个较小的开口51，以便将坩埚放入蒸镀腔室中进行加热蒸镀时，蒸镀材料能从坩埚盖5上的开口51中蒸发出来镀到基板表面。由于有机蒸镀材料中的活性金属材料极易在大气环境中反应氧化，所以采用传统的坩埚，将蒸镀材料放入坩埚的过程中和将坩埚放入蒸镀腔室的过程中均不可避免地会使蒸镀材料与大气环境中的气体相接触，这很容易使蒸镀材料中的活性金属材料受到氧化。被氧化的活性金属材料通过蒸镀工艺制备到器件功能层中后，将影响器件的性能。

因此，如何在蒸镀前使蒸镀材料在装入坩埚的过程中以及将坩埚放入蒸镀腔室的过程中不被氧化已成为目前亟待解决的问题。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种坩埚盖及其盖合方法和坩埚。该坩埚盖通过在盖体的对应坩埚开口端端面壁的区域设置吸合结构，能使盖体与坩埚开口端吸合，以对坩埚开口端进行密封盖合，从而实现了对坩埚内蒸镀材料的密封；进而在蒸镀材料放入坩埚内之后以及蒸镀前将盛有蒸镀材料的坩埚放入蒸镀腔室的过程中，避免蒸镀材料与外界大气环境中的气体相接触，继而避免蒸镀材料被大气环境中的气体氧化，确保了蒸镀形成的器件的性能。

本发明提供一种坩埚盖，用于盖合在坩埚开口端，包括盖体，所述盖体在对应所述坩埚开口端的端面壁的区域设置有吸合结构，所述吸合结构与所述坩埚开口端的所述端面壁相接触，所述吸合结构能使所述盖体与所述坩埚开口端吸合，以使所述盖体对所述坩埚开口端密封盖合。

优选地，所述吸合结构包括开设在所述盖体内的第一空腔，所述第一空腔贯通所述盖体的厚度，所述第一空腔包括面对所述坩埚开口端的所述端面壁的第一开口和背对所述端面壁的第二开口。

优选地，所述吸合结构还包括弹性密封圈，所述弹性密封圈套设在所述第一开口上，所述弹性密封圈用于与所述坩埚开口端的所述端面壁相贴合，以对所述第一空腔与所述端面壁的接触位置进行密封。

优选地，所述吸合结构还包括弹性塞子，所述弹性塞子盖合在所述第二开口上，用于对所述第二开口进行密封；所述弹性塞子上开设有弹性孔，所述弹性孔能在外部挤压力作用下开启。

优选地，所述第一空腔包括至少两个，所述第一空腔在所述盖体上等间隔分布。

优选地，还包括设置在所述盖体的背对所述坩埚开口端一侧的连接件，所述连接件用于与蒸镀腔室内的活动杆连接，所述连接件能在所述活动杆的带动下与所述坩埚开口端脱离。