[发明专利]一种调整装置及清洗机

说明书

本发明提供一种用于调整硅片之间的间隙的调整装置，以及具有该调整装置的用于清洗硅片的清洗机。所述调整装置包括至少两个承载台以及一旋转件，每个所述承载台用于承载单个硅片，所有的承载台沿着所述旋转件的轴向分布，且所述旋转件用于驱动所有所述承载台沿所述旋转件的轴向移动。所述调整装置实现了硅片与硅片之间的间隙的大小的调节。

技术领域

本发明涉及硅片制造技术领域，特别涉及一种用于调整硅片之间的间隙的调整装置，以及具有该调整装置的用于清洗硅片的清洗机。

背景技术

为了便于硅片在各生产工序间流通以及成品运输，硅片多存储在前开式晶圆盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)或者前开式晶圆运输盒(Front Opening ShippingBox，FOSB)中。硅片放置在前述的两种盒子中时，硅片与硅片之间的间隙是固定的，例如行业内均将该间歇设置为10mm。与之对应的，在一些同时对一组硅片进行加工的工序中，例如硅片清洗工序或者硅片烘干工序中，为了提高硅片从FOUP或者FOSB到相应工序，再到FOUP或者FOSB中的传输效率，以及在相应工序的各加工位之间的传输效率，硅片与硅片之间的间隙始终是固定的。然而硅片与硅片之间的间隙始终固定，对于一些工序会造成不良影响，特别在清洗工序中，硅片与硅片之间的这一固定的间隙的大小会对清洗造成影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种调整装置和清洗机，以解决现有的硅片之间的间隙始终固定的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种调整装置，用于调整硅片之间的间隙，包括：多个承载台，每个所述承载台用于承载单个硅片；以及旋转件，所有的所述承载台沿着所述旋转件的轴向分布，且所述旋转件用于驱动所有所述承载台沿所述旋转件的轴向移动。

可选的，还包括一第一导向件，所述第一导向件用于引导每个所述承载台沿所述旋转件的轴向移动；每个所述承载台具有一滑块，所述旋转件的外周面上开设有至少两条螺旋滑槽，每条螺旋滑槽与每个所述滑块滑动连接。

可选的，每条所述螺旋滑槽的旋向均相同，且相邻的所述螺旋滑槽的螺距依次增大或者减小。

可选的，一部分的所述螺旋滑槽的旋向为左旋，另一部分的所述螺旋滑槽的旋向为右旋，且旋向为左旋的所述螺旋滑槽相互邻近，旋向为右旋的所述螺旋滑槽相互邻近。

可选的，相邻的旋向为左旋的所述螺旋滑槽的螺距依次增大或者减小，且所有的旋向为左旋的所述螺旋滑槽与所有的旋向为右旋的所述螺旋滑槽相互对称。

可选的，所述旋转件的外周面上具有至少两条螺纹，每条螺纹与每个所述承载台螺纹连接。

可选的，每条所述螺纹的旋向均相同，且相邻的所述螺纹的螺距依次增大或者减小。

可选的，一部分的所述螺纹的旋向为左旋，另一部分的所述螺纹的旋向为右旋，且旋向为左旋的所述螺纹相互邻近，旋向为右旋的所螺纹相互邻近。

可选的，相邻的旋向为左旋的所述螺纹的螺距依次增大或者减小，且所有的旋向为左旋的所述螺纹与所有的旋向为右旋的所述螺纹相互对称。

可选的，还包括一第二导向件，所述第二导向件用于引导每个所述承载台沿所述旋转件的轴向移动。

可选的，所述旋转件用于驱动每个所述承载台沿同一直线等间距散开或者聚拢。

可选的，还包括驱动件，所述驱动件用于驱动所述旋转件转动。

本发明还提供一种清洗机，用于清洗硅片，所述清洗机包括上述的调整装置。

可选的，所述清洗机包括用于调整硅片放置方向的翻转装置，所述调整装置固定设置在所述翻转装置上。