[发明专利]一种硅微陀螺仪差分电容检测电路

权利要求书

1.一种硅微陀螺仪差分电容检测电路，其特征在于：包括方波发生器、桥式结构连接的模拟开关、参考电容以及差分运算放大器，方波发生器一端接地，另一端连接待检测硅微陀螺仪差分电容，待检测硅微陀螺仪差分电容连接桥式结构连接的模拟开关，而参考电容以及差分运算放大器均与桥式结构连接的模拟开关相连接；

方波发生器，用于产生方波电压信号；

桥式结构连接的模拟开关，在方波正负半周期切换电路状态，形成相应的充放电回路；

参考电容，用于方波正负半周期充放电过程中电荷的存储及积累，并形成与差分电容变化量相关的电压信号；

差分运算放大器，用于将参考电容上的电压信号做差后输出。

2.根据权利要求1所述的一种硅微陀螺仪差分电容检测电路，其特征在于：其中，方波发生器一端与地相连，另一端与所述硅微陀螺敏感差分电容的公共端相连。

3.根据权利要求1所述的一种硅微陀螺仪差分电容检测电路，其特征在于：其中，桥式结构连接的模拟开关包括第一模拟开关、第二模拟开关、第三模拟开关及第四模拟开关，第一模拟开关一端与第二模拟开关的一端相连，另一端与第四模拟开关的一端相连；第二模拟开关的另一端与第三模拟开关的一端相连；第三模拟开关的另一端与第四模拟开关的另一端相连。

4.根据权利要求3所述的一种硅微陀螺仪差分电容检测电路，其特征在于：其中，硅微陀螺敏感差分电容独立端与第一模拟开关和第二模拟开关的连接端相连，差分电容独立端与第三模拟开关和第四模拟开关的连接端相连。

5.根据权利要求3所述的一种硅微陀螺仪差分电容检测电路，其特征在于：其中，参考电容包括第一参考电容和第二参考电容，第一参考电容的一端与第四模拟开关和第一模拟开关的连接端相连，并与差分放大器的反相输入端相连，第一参考电容的另一端与地相连；第二参考电容的一端与第二模拟开关与第三模拟开关的连接端相连，并与差分放大器的同相输入端相连。