[发明专利]用于检测CCD器件漏电流的测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种CCD工艺检测技术，尤其涉及一种用于检测CCD器件漏电流的测试装置。

背景技术

随着CCD技术的发展，各类CCD图像传感器在众多领域中得到了广泛的应用，为满足工程界对CCD图像传感器的大量需求，要求生产厂商能够高效地生产出品质合格的CCD器件。

由于受限于工艺条件，现有技术制作出的CCD器件不可避免地存在管脚漏电流问题，若管脚漏电流过大，将严重影响CCD器件的性能，因此，需要在生产过程中对CCD器件的管脚漏电流进行检测，以筛选出不合格产品；为兼顾生产效率和产品品质，就需要在不损坏CCD器件的条件下，对CCD器件的管脚漏电流进行快速检测。

在实际生产中，由于缺乏专门的测试装置，质检人员只能手动进行管脚漏电流测试操作；目前，产量较大的CCD器件的管脚数量多则3、4百根，少的也有1百来根，为保证生产效率，质检人员不太可能对每根管脚都进行漏电流测试，通常的做法是，质检人员根据经验从大量的管脚中抽选一些管脚进行漏电流测试，若被抽选到的管脚的漏电流指标符合要求，就认为该CCD器件符合要求；这种操作方式效率较低，检测的全面性较差，不合格产品容易被漏检，特别是在进行大批量生产时，被漏检的不合格产品的绝对数量十分惊人。

发明内容

针对背景技术中的问题，本发明提出了一种用于检测CCD器件漏电流的测试装置，其创新在于：所述测试装置由上位机、电流表模块、多个继电器、控制模块、CCD插接模块和可调直流电源模块组成；所述继电器采用单刀双掷开关继电器；

所述CCD插接模块上设置有多个端子和多个插孔，多个端子和多个插孔一一对应地连接；所述插孔用于插接CCD器件的引脚；

所述继电器包含三个接入端，多个继电器的第一接入端与多个端子一一对应地连接；多个继电器的第二接入端均与A接点连接，A接点与可调直流电源模块的接地端连接，电流表模块串接在A接点和可调直流电源模块之间的线路上；多个继电器的第三接入端均与可调直流电源模块的电压输出端连接；多个继电器的控制部均与控制模块连接，电流表模块的检测信号输出端与控制模块连接，控制模块与上位机连接；

所述上位机用于人机对话，操作人员能通过操作上位机向控制模块下达指令；所述控制模块能根据上位机的指令对继电器的动作进行控制；所述继电器能在控制模块的控制下将相应端子选通至A接点或所述电压输出端；所述电流表模块能对相应线路上的电流值进行检测并将检测信号输出至控制模块，控制模块能将收到的检测信号传输至上位机。

本发明的原理是：测试前，先将待测CCD器件插接在CCD插接模块的插孔中，开始测试后，上位机根据预先设定的测试规则向控制模块分步下达指令，控制模块根据指令对各个继电器的动作进行控制；当控制模块收到某一指令后，控制模块根据指令控制各个继电器的动作，使待测CCD器件上的相应管脚分别与电压输出端和接地端选通，然后上位机对控制模块传来的检测信号进行采样和记录，该检测信号即为CCD器件在相应状态下的漏电流数值，然后，上位机又向控制模块下达下一步指令，控制模块根据指令对各个继电器的动作进行调节，从而改变相应管脚与电压输出端和接地端的选通状态，继续对CCD器件的漏电流进行测试；通过前述方式，测试装置就能自动高效全面地对CCD器件进行漏电流测试；

所述测试规则即为调节继电器状态的步骤，以3个继电器为例，将这3个继电器分别记为继电器1、继电器2和继电器3，3个继电器分别对应3个管脚，若要对这3个管脚分别进行漏电流测试，可为其设计如下3个步骤：步骤1)，使继电器1接电压输出端、继电器2接地、继电器3接地；步骤2)，使继电器1接地、继电器2接电压输出端、继电器3接地；步骤3)，使继电器1接地、继电器2接地、继电器3接电压输出端；前述的步骤1)、2)、3)即分别形成3个指令，测试时，控制模块即可根据前述的3个步骤对继电器的动作进行分步控制。

在管脚漏电流检测中，一般有2个测试项目，其一，即对每根管脚的对地漏电流进行检测，这种测试项目，需要将某一根管脚接电压，其余管脚接地(如上文所述的对3根管脚分别进行漏电流测试方式)，其二，即对管脚间漏电流进行检测，这种测试项目，一般需将2根或2根以上的管脚同时接电压，其余管脚接地，这种情况下，只需根据数学中的组合理论计算出相应的组合数即可得到各个测试步骤，比如，若管脚的总数为n，每个测试步骤中需要使2根管脚接电压，测试步骤的数量实质上就是从n个元素中任取2个元素的组合数，单个测试步骤即将被选中的2个继电器接电压，其余继电器接地；