[发明专利]超声波指纹识别组件电极图案的制备方法在审
| 申请号： | 201710227132.1 | 申请日： | 2017-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN107451520A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 王开安 | 申请（专利权）人： | 王开安 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳市智享知识产权代理有限公司44361 | 代理人： | 蔺显俊 |
| 地址： | 美国加利福*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波 指纹识别 组件 电极 图案 制备 方法 | ||
1.一种超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于包括如下步骤：提供原位极化膜，采用具有设定图案的金属掩模板，在极化膜远离基板一面上形成电极图案层。
2.如权利要求1中所述的超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于：采用具有设定图案的掩模板，在极化膜远离基板一面上形成电极图案层具体为：制作具有一设定图案的金属掩模板，对金属掩模板进行预处理，将处理后的金属掩模板贴合在极化膜上，在极化膜上金属掩模板镂空区域形成所需的电极图案层。
3.如权利要求2中所述的超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于：所述金属掩模板的厚度为0.5-2mm。
4.如权利要求2中所述的超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于：所述金属掩模板相对的两表面经过表面处理，对金属掩模板进行预处理使贴合极化膜一表面镜面光滑，远离极化膜的另一表面粗糙。
5.如权利要求4中所述的超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于：所述金属掩模板远离极化膜的表面粗糙度为50-100μm。
6.如权利要求1中所述的超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于：所述电极图案层的线路宽大于等于100μm。
7.如权利要求1中所述的超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于：所述电极图案层的厚度0.1-0.5μm。
8.如权利要求7中所述的超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于：所述电极图案层的厚度0.25-0.35μm。
9.如权利要求2或3中所述的超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于：所述电极图案层的材料为导电金属及导电金属氮化物。
10.如权利要求6中所述的超声波指纹识别组件电极图案的制备方法，其特征在于：所述金属掩模板为不锈钢，铝，钛或钛合金材质。
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