[发明专利]真空用直线电动机的动子

说明书

技术领域

本发明涉及真空用直线电动机的动子。

背景技术

一直以来，在真空装置内利用直线电动机的情况下，例如专利文献1所公开那样，通常用金属制的罐(外壳)包围电动机动子和定子(线圈或磁铁)中的任一方，抑制向真空环境中的气体排放。

但是，难以将大气从罐中完全排除，因此，由于真空和罐中的残留大气的差压而引起的应力，罐产生挠曲，动子和定子有时发生接触。

因此，现状是不得不采取如下等对策：扩大动子与定子之间的间隙，或者为了防止罐的变形而增大罐的板厚来提高刚性。

专利文献1：日本特开2005-51906号公报

但是，如果扩大动子与定子之间的间隙，或者增大罐的板厚，则导致电动机推力的下降，需要线圈匝数的增加、驱动用电源容量的增大以及安全对策等，导致成本的上升。

发明内容

本发明解决了上述那样的问题，提供一种即使不增大罐的板厚也能够利用简单的结构抑制变形、能够尽可能地减小动子与定子之间的间隙、且能够在与大气环境相同的系统中使用的划时代的真空用直线电动机的动子。

涉及一种真空用直线电动机的动子，该真空用直线电动机由排列设置磁铁而成的定子、和在所述磁铁的排列设置方向上移动的所述动子构成，所述真空用直线电动机的动子的特征在于，所述动子由收纳线圈并具有开口部的箱状的收纳部和封闭该收纳部的所述开口部的盖部构成，在所述收纳部的与封闭所述开口部的所述盖部面对的底面或所述盖部上设置有加强肋，该加强肋与所述盖部或所述收纳部借助于紧固部件紧固起来。

本发明由于如上述那样构成，因此成为即使不增大罐的板厚也能够利用简单的结构抑制变形、能够尽可能地减小动子与定子之间的间隙的划时代的真空用直线电动机的动子。

附图说明

图1是本实施例的概略说明立体图。

图2是本实施例的收纳部4的概略说明立体图。

图3是本实施例的动子3的概略说明剖视图。

图4是本实施例的盖部5的概略说明俯视图。

图5是本实施例的使用状态说明图。

标号说明

1：磁铁

2：定子

3：动子

4：收纳部

5：盖部

6：加强肋

7：无芯线圈

8：模塑树脂

具体实施方式

基于附图示出本发明的作用，对本发明的优选的实施方式简单进行说明。

使动子3相对于定子2移动，使设置于动子3的工作台19等直线移动。

此时，即使在真空装置内部等真空氛围下使用的情况下，由于收纳部4的底面被加强肋6加强而刚性提高，因此能够在不增厚收纳部4的底面的情况下，良好地抑制由于动子3中的残留大气而产生的变形。

因此，即使是高真空氛围，也能够将定子2与动子3之间的间隙设为所需最小限度，能够实现小型、轻量且可得到良好的推力的真空用直线电动机。

而且，在使用了无芯线圈7的真空用无芯直线电动机中，通过在所述无芯线圈7的中空部配置加强肋6的结构，能够利用无芯线圈7的中空部来提高强度，不需要另外确保加强肋6用的空间，并且，还能够在不减少线圈的数量也不使收纳部4大型化的情况下提高强度。而且，在盖部5设置了冷却机构的情况下，与盖部5紧固的加强肋6也一并被良好地冷却，通过使加强肋6位于无芯线圈7的中空部，能够更有效率地抑制无芯线圈7的发热。

【实施例】

根据附图说明本发明的具体的实施例。

如图1所图示那样，本实施例是真空用直线电动机，由排列设置磁铁1而成的定子2、和在所述磁铁1的排列设置方向上移动的动子3构成。

本实施例的动子3由如下部件构成：图2所图示那样的箱状的收纳部4，其收纳有具有中空部的椭圆形的无芯线圈7，并具有开口部；以及封闭该收纳部4的所述开口部的盖部5，本实施例的动子3是如下结构：在所述收纳部4的与封闭所述开口部的所述盖部5面对的底面，一体成型有加强肋6，该加强肋6和所述盖部5被紧固部件被紧固起来。

此外，加强肋6分别被设置于按照规定的间隔排列设置的多个所述无芯线圈7各自的中空部，所述各加强肋6和所述盖部5分别被所述紧固部件紧固起来。另外，也可以构成为与盖部5一体地设置加强肋6，构成为借助紧固部件将该加强肋6与收纳部4的底面紧固。此外，不限于无芯线圈7，也可以使用带铁芯的线圈。