[发明专利]电感器及其形成方法

说明书

一种电感器及其形成方法，电感器包括：基底，所述基底上具有介电层；呈条形状的铁磁芯，位于所述介电层内；呈螺线管状的金属层，位于所述介电层内，所述金属层沿所述铁磁芯的延伸方向环绕所述铁磁芯，且所述金属层和所述铁磁芯之间具有所述介电层。本发明所述电感器包括呈条形状的铁磁芯、以及呈螺线管状的金属层，所述金属层沿所述铁磁芯的延伸方向环绕所述铁磁芯；在所述铁磁芯的作用下，使得电感器的导磁率得到提高，且将所述电感器的磁场集中于中心处，从而提高电感器的电感，进而提高电感器的品质因子，提高电感器的效率。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种电感器及其形成方法。

背景技术

电感器的主要作用是对交流信号进行隔离、滤波，或与电容器、电阻器等组成谐振电路。由于电感器发挥着重要的作用，例如可用于便携式电子产品，无线和射频应用，因此在芯片制造中电感器应用变得越来越普遍。

目前，普遍采用的是螺旋电感器，即利用金属线形成螺旋状的电感器，所述电感器的螺旋状结构就可以产生电感。但是，随着半导体技术的不断发展，器件的尺寸也在不断减小，电感器的电感的增加也相应受到了限制。

因此，亟需提供一种电感器，以增加电感器的电感。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种电感器及其形成方法，增加电感器的电感。

为解决上述问题，本发明提供一种电感器，包括：基底，所述基底上具有介电层；呈条形状的铁磁芯，位于所述介电层内；呈螺线管状的金属层，位于所述介电层内，所述金属层沿所述铁磁芯的延伸方向环绕所述铁磁芯，且所述金属层和所述铁磁芯之间具有所述介电层。

相应的，本发明还提供一种电感器的形成方法，包括：提供基底，所述基底上形成有第一底层介电层；刻蚀部分厚度的所述第一底层介电层，在所述第一底层介电层内形成第一凹槽；在所述第一凹槽的底部和侧壁形成多个分立的底层金属条，沿所述第一凹槽延伸方向上，所述多个底层金属条平行排列，且每一个所述底层金属条具有第一端部和第二端部；形成所述底层金属条后，形成填充满所述第一凹槽的第一介电材料层；刻蚀部分厚度的所述第一介电材料层，在所述第一介电材料层内形成第二凹槽，且剩余所述第一介电材料层作为第二底层介电层；在所述第二凹槽中形成铁磁芯，所述铁磁芯凸出于所述第二凹槽；形成保形覆盖所述铁磁芯的第一顶层介电层，所述第一顶层介电层与所述第二底层介电层相连接；形成保形覆盖所述第一顶层介电层的多个分立的顶层金属条，沿所述铁磁芯延伸方向上，所述多个顶层金属条平行排列，每一个所述顶层金属条具有两端，且每一个顶层金属条的一端与相邻一个底层金属条的第一端部相连接，另一端与另一个相邻底层金属条的第二端部相连接；其中，所述顶层金属条和底层金属条构成金属层，且所述金属层呈螺线管状，所述金属层沿所述铁磁芯的延伸方向环绕所述铁磁芯；形成覆盖所述顶层金属条、第一顶层介电层和第一底层介电层的第二顶层介电层；其中，所述第二顶层介电层与所述第一顶层介电层、中心介电层、第二底层介电层、以及第一底层介电层构成介电层。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明提供一种电感器，所述电感器包括呈条形状的铁磁芯、以及呈螺线管状的金属层，所述金属层沿所述铁磁芯的延伸方向环绕所述铁磁芯；在所述铁磁芯的作用下，使得电感器的导磁率得到提高，且将所述电感器的磁场集中于中心处，从而提高电感器的电感，进而提高电感器的品质因子，提高电感器的效率。

本发明提供一种电感器的形成方法，形成了金属层环绕铁磁芯的电感器结构，在所述铁磁芯的作用下，使得电感器的导磁率得到提高，且将所述电感器的磁场集中于中心处，从而提高电感器的电感，进而提高电感器的品质因子，提高电感器的效率；此外，本发明所述技术方案与半导体制造工艺的兼容性较高，具有工艺可实现性。

附图说明

图1是本发明电感器一实施例的立体图；